本技術(shù)涉及退火爐，具體是單向退火爐。

背景技術(shù)：

1、退火是在高溫加熱狀態(tài)下，通過(guò)高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時(shí)消除一些晶格內(nèi)部缺陷，從而釋放內(nèi)部應(yīng)力，為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。晶棒經(jīng)退火后切割得到的晶片性能得到極大提升，同時(shí)晶片成品率也有提高。其中，現(xiàn)有技術(shù)一般通過(guò)退火爐進(jìn)行退火處理。

2、目前的退火爐多利用輸送機(jī)構(gòu)向爐體內(nèi)輸送工件，因此工件置于爐體內(nèi)的位置一般是與輸送機(jī)構(gòu)平齊的，而退火爐體內(nèi)的加熱組件并不完全與輸送機(jī)構(gòu)位置對(duì)應(yīng)，因此會(huì)存在待退火處理的工件與加熱組件距離較遠(yuǎn)的問(wèn)題，導(dǎo)致退火爐的加熱效果不佳，影響退火效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、實(shí)用新型目的：本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種單向退火爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、技術(shù)方案：本實(shí)用新型的單向退火爐，包括爐體，設(shè)于爐體兩端用于傳送的第一輸送架和第二輸送架，位于該第一輸送架和第二輸送架之間的頂升傳輸機(jī)構(gòu)；

3、其中，所述頂升傳輸機(jī)構(gòu)包括固定板，固定板的底部分別設(shè)置有第一電機(jī)和腔塊，所述腔塊的內(nèi)腔中設(shè)置有槽齒桿，第一電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端貫穿腔塊的外壁并連接有與所述槽齒桿嚙合的齒桿，所述槽齒桿的頂部固定連接有底塊，該底塊的頂部連接設(shè)有撐板；

4、所述撐板的上表面連接設(shè)有兩相對(duì)設(shè)置的豎板，該豎板上設(shè)有用于工件傳遞的傳送機(jī)構(gòu)；所述傳送機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在板體內(nèi)腔兩側(cè)的從動(dòng)齒輪、嚙合設(shè)置在從動(dòng)齒輪外壁的主動(dòng)齒輪、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在豎板之間用于驅(qū)動(dòng)主動(dòng)齒輪的傳動(dòng)軸、以及傳送連接在兩側(cè)從動(dòng)齒輪之間的傳動(dòng)鏈。

5、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的爐體頂部、且位于頂升傳輸機(jī)構(gòu)的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有用于退火處理的加熱箱。

6、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的加熱箱的底部設(shè)有與頂升傳輸機(jī)構(gòu)相匹配的開口。

7、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的頂升傳輸機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置在爐體內(nèi)腔的支撐腿，所述固定板設(shè)于該支撐腿的頂部。

8、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的傳動(dòng)軸的外壁安裝有鏈輪，固定板的上表面安裝有第二電機(jī)，該第二電機(jī)通過(guò)鏈條與鏈輪傳動(dòng)相連。

9、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的固定板的支撐端四周部位均安裝有套筒，套筒的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有位移柱，所述撐板與位移柱的頂部固定連接。

10、進(jìn)一步說(shuō)，該退火爐的爐體側(cè)壁還設(shè)有檢修窗。

11、有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)為：該退火爐通過(guò)將工件放置到第二輸送架上進(jìn)行傳送，控制第一電機(jī)進(jìn)行運(yùn)作，連接在槽齒桿頂部的底塊受到槽齒桿推動(dòng)力后，將會(huì)驅(qū)動(dòng)撐板豎向位移，從而將頂升傳輸機(jī)構(gòu)移動(dòng)至與第一輸送架和第二輸送架相匹配的高度，以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的承接，隨后可將工件頂入到退火爐內(nèi)與爐內(nèi)加熱機(jī)組件位置對(duì)應(yīng)處，用于退火處理；同時(shí)，連接在固定板上表面四周的套筒配合上位移柱用于撐板向上頂起時(shí)的輔助協(xié)助效果，在撐板向上頂起后，其所連接的位移柱將會(huì)在套筒的內(nèi)腔中進(jìn)行位移，以提高撐板移動(dòng)的穩(wěn)定性，因此結(jié)構(gòu)更加優(yōu)化、設(shè)計(jì)更加合理。

技術(shù)特征：

1.一種單向退火爐，其特征在于，該單向退火爐包括爐體(1)，設(shè)于爐體(1)兩端用于傳送的第一輸送架(2)和第二輸送架(5)，位于該第一輸送架(2)和第二輸送架(5)之間的頂升傳輸機(jī)構(gòu)(6)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單向退火爐，其特征在于，所述爐體(1)頂部、且位于頂升傳輸機(jī)構(gòu)(6)的對(duì)應(yīng)位置處設(shè)有用于退火處理的加熱箱(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單向退火爐，其特征在于，所述加熱箱(4)的底部設(shè)有與頂升傳輸機(jī)構(gòu)(6)相匹配的開口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單向退火爐，其特征在于，所述頂升傳輸機(jī)構(gòu)(6)還包括設(shè)置在爐體(1)內(nèi)腔的支撐腿(8)，所述固定板(7)設(shè)于該支撐腿(8)的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單向退火爐，其特征在于，所述傳動(dòng)軸(15)的外壁安裝有鏈輪(16)，固定板(7)的上表面安裝有第二電機(jī)(14)，該第二電機(jī)(14)通過(guò)鏈條與鏈輪(16)傳動(dòng)相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單向退火爐，其特征在于，所述固定板(7)的支撐端四周部位均安裝有套筒(9)，套筒(9)的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有位移柱(10)，所述撐板(18)與位移柱(10)的頂部固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單向退火爐，其特征在于，所述爐體(1)側(cè)壁還設(shè)有檢修窗(3)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，具體的公開了一種單向退火爐，包括爐體，設(shè)于爐體兩端用于傳送的第一輸送架和第二輸送架，位于該第一輸送架和第二輸送架之間的頂升傳輸機(jī)構(gòu)。本技術(shù)可通過(guò)頂升傳輸機(jī)構(gòu)將撐板及其上的傳送機(jī)構(gòu)升降至與輸送架相匹配的高度，從而便于單向?qū)⒐ぜ七M(jìn)或移出退火爐，同時(shí)頂升傳輸機(jī)構(gòu)可驅(qū)動(dòng)傳送機(jī)構(gòu)上的工件移動(dòng)至與退火爐內(nèi)加熱組件位置對(duì)應(yīng)處，從而提高退火爐的加熱效果。

技術(shù)研發(fā)人員：戴生伢,張引
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京理工宇龍新材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240528
技術(shù)公布日：2025/1/9