本技術(shù)涉及金剛石制備，特別是涉及了一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、多晶金剛石能夠利用獨(dú)特的定向爆破法由石墨制得，但是爆破法方法古老，因此現(xiàn)多通過化學(xué)氣相沉積法制得多晶金剛石，在諸多領(lǐng)域作為精密磨料、鍍膜添加劑，還能制作刀具，應(yīng)用十分廣泛；多晶金剛石晶圓片在生長時(shí)需要利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備(mpcvd設(shè)備)。

2、如中國實(shí)用新型專利(cn219301102u)公開了一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備用冷卻系統(tǒng)，其中記載了：“所述冷卻塔和工業(yè)純水機(jī)之間也通過水泵連接，用于將冷卻塔中的水抽到工業(yè)純水機(jī)中，工業(yè)純水機(jī)與mpcvd設(shè)備通過冷卻水管道聯(lián)通。本申請能夠提升冷卻系統(tǒng)的維護(hù)周期，降低維護(hù)成本，同時(shí)提高冷卻效率。”，還記載了：“現(xiàn)有冷卻系統(tǒng)存在冷卻系統(tǒng)管道損耗較大、容易產(chǎn)生水垢等問題，而且在極端天氣環(huán)境下，例如某些地區(qū)夏季室外溫度長期保持在45度左右，導(dǎo)致室外冷卻塔水溫長期居高不下，冷卻水不能夠有效降低至所需要的水溫，對于mpcvd設(shè)備的生長會(huì)產(chǎn)生較大影響?！钡募夹g(shù)問題。

3、綜合上述，可知現(xiàn)有技術(shù)中利用增設(shè)制冷機(jī)提高裝置的水冷效果，但是，這種方式存在以下技術(shù)問題：在實(shí)際使用的過程中微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對降溫的要求會(huì)隨著不同的沉積工藝、材料、沉積薄膜的性質(zhì)以及設(shè)備性能的變化而變化，而該裝置中并未涉及對降溫程度改變的結(jié)構(gòu)，進(jìn)而適用性較低，為此，本申請?zhí)岢鲆环N微波等離子體氣相沉積設(shè)備，為解決上述專利中提到的技術(shù)問題，提供一種新的技術(shù)方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對上述技術(shù)問題，提供一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備，通過轉(zhuǎn)動(dòng)固定把手，使得第一活塞沿著固定筒下降，對調(diào)節(jié)氣囊的內(nèi)部氣體含量進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)整調(diào)節(jié)氣囊的膨脹程度，使得對流經(jīng)輸水管內(nèi)部的水的流速進(jìn)行調(diào)整，而水的流速的快慢對裝置降溫強(qiáng)度的高低產(chǎn)生影響，使得進(jìn)而可根據(jù)生產(chǎn)所需隨之進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高了裝置使用的靈活性，根據(jù)需求調(diào)整裝置沉積的溫度提高了裝置的沉積效果。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了如下所述的技術(shù)方案：

3、一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其應(yīng)用于調(diào)整裝置沉積的溫度進(jìn)而提升裝置沉積效果的微波等離子體氣相沉積設(shè)備。

4、所述微波等離子體氣相沉積設(shè)備具體包括：

5、包括裝置底座、冷卻水箱、補(bǔ)水管、出水管、水泵、輸水管、mpcvd設(shè)備、回流管，還包括調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)，所述冷卻水箱固定連接在裝置底座的頂部，所述補(bǔ)水管固定安裝在冷卻水箱的內(nèi)壁，所述出水管固定安裝在冷卻水箱的內(nèi)壁，所述出水管遠(yuǎn)離冷卻水箱的一端固定安裝在水泵的進(jìn)水端，所述輸水管固定安裝在水泵的出水端，所述mpcvd設(shè)備固定連接在裝置底座的上表面，所述輸水管固定連接在mpcvd設(shè)備的內(nèi)壁，所述輸水管遠(yuǎn)離水泵的一端固定連接在回流管的一端，所述回流管固定連接在mpcvd設(shè)備的內(nèi)壁，所述回流管遠(yuǎn)離mpcvd設(shè)備的一端固定連接在冷卻水箱的內(nèi)壁，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在輸水管上，所述補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)設(shè)置在輸水管的外部；

6、所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括支撐殼、固定筒、限制組件、調(diào)整組件，所述支撐殼固定連接在輸水管的外壁，所述支撐殼遠(yuǎn)離輸水管的一端固定連接在固定筒的底部。

7、作為本實(shí)用新型提供的所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述限制組件包括固定連接在支撐殼內(nèi)壁的調(diào)節(jié)氣囊，所述調(diào)節(jié)氣囊固定連接在輸水管的內(nèi)壁，所述固定筒的內(nèi)壁且位于調(diào)節(jié)氣囊的內(nèi)部固定連接有出氣管。

8、作為本實(shí)用新型提供的所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備的一種優(yōu)選實(shí)施方式，調(diào)整組件包括滑動(dòng)連接在固定筒內(nèi)壁的第一活塞，所述第一活塞遠(yuǎn)離調(diào)節(jié)氣囊的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋管，所述第一活塞遠(yuǎn)離調(diào)節(jié)氣囊的一側(cè)固定連接有限制桿，所述螺紋管螺紋連接在固定筒的內(nèi)壁，所述限制桿滑動(dòng)連接在固定筒的內(nèi)壁，所述螺紋管遠(yuǎn)離第一活塞的一端固定連接有固定把手。

9、作為本實(shí)用新型提供的所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)包括安裝塊、補(bǔ)氣桶、加氣組件、穩(wěn)定組件，所述安裝塊固定連接在輸水管的外壁，所述安裝塊遠(yuǎn)離輸水管的一側(cè)與補(bǔ)氣桶的外壁固定連接，所述補(bǔ)氣桶的固定連接在固定筒的內(nèi)壁。

10、作為本實(shí)用新型提供的所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述加氣組件包括固定連接在補(bǔ)氣桶內(nèi)壁的固定板，所述固定板的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿遠(yuǎn)離固定板的一端固定連接有與補(bǔ)氣桶相適配的按壓塊，所述按壓塊活動(dòng)連接在補(bǔ)氣桶的內(nèi)壁，所述滑動(dòng)桿的外部套設(shè)有復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的兩端分別固定連接在按壓塊與固定板相互靠近的一側(cè)。

11、作為本實(shí)用新型提供的所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述穩(wěn)定組件包括固定連接在補(bǔ)氣桶內(nèi)壁的濾板，所述濾板的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有連接桿，所述連接桿遠(yuǎn)離濾板的一端固定連接有與固定板相適配的活動(dòng)塞，所述連接桿的外部套設(shè)有固定彈簧，所述固定彈簧的兩端分別固定連接在活動(dòng)塞與濾板相互靠近的一側(cè)。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型有以下有益效果：

13、本實(shí)用新型提供的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，通過轉(zhuǎn)動(dòng)固定把手，使得第一活塞沿著固定筒下降，對調(diào)節(jié)氣囊的內(nèi)部氣體含量進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)整調(diào)節(jié)氣囊的膨脹程度，使得對流經(jīng)輸水管內(nèi)部的水的流速進(jìn)行調(diào)整，而水的流速的快慢對裝置降溫強(qiáng)度的高低產(chǎn)生影響，使得進(jìn)而可根據(jù)生產(chǎn)所需隨之進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高了裝置使用的靈活性，根據(jù)需求調(diào)整裝置沉積的溫度提高了裝置的沉積效果。

14、本實(shí)用新型提供的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，通過按壓按壓塊，使得按壓塊進(jìn)入補(bǔ)氣桶的內(nèi)部，進(jìn)而對補(bǔ)氣桶的內(nèi)部且位于按壓塊與固定板之間的氣體進(jìn)行壓縮，被壓縮的氣體頂開活動(dòng)塞后進(jìn)入至固定筒的內(nèi)部，對固定筒的內(nèi)部的氣體進(jìn)行補(bǔ)充，避免長時(shí)間的使用導(dǎo)致固定筒與調(diào)節(jié)氣囊內(nèi)部的氣體含量不足導(dǎo)致對輸水管內(nèi)部的水的流速調(diào)節(jié)效果降低的情況，進(jìn)而提高了裝置的穩(wěn)定性，方便了對裝置進(jìn)行后期的維護(hù)。

技術(shù)特征：

1.一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備，包括裝置底座(1)、冷卻水箱(2)、補(bǔ)水管(3)、出水管(4)、水泵(5)、輸水管(6)、mpcvd設(shè)備(7)、回流管(8)，其特征在于：還包括調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(9)和補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)(10)，所述冷卻水箱(2)固定連接在裝置底座(1)的頂部，所述補(bǔ)水管(3)固定安裝在冷卻水箱(2)的內(nèi)壁，所述出水管(4)固定安裝在冷卻水箱(2)的內(nèi)壁，所述出水管(4)遠(yuǎn)離冷卻水箱(2)的一端固定安裝在水泵(5)的進(jìn)水端，所述輸水管(6)固定安裝在水泵(5)的出水端，所述mpcvd設(shè)備(7)固定連接在裝置底座(1)的上表面，所述輸水管(6)固定連接在mpcvd設(shè)備(7)的內(nèi)壁，所述輸水管(6)遠(yuǎn)離水泵(5)的一端固定連接在回流管(8)的一端，所述回流管(8)固定連接在mpcvd設(shè)備(7)的內(nèi)壁，所述回流管(8)遠(yuǎn)離mpcvd設(shè)備(7)的一端固定連接在冷卻水箱(2)的內(nèi)壁，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(9)設(shè)置在輸水管(6)上，所述補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)(10)設(shè)置在輸水管(6)的外部；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述限制組件包括固定連接在支撐殼(11)內(nèi)壁的調(diào)節(jié)氣囊(14)，所述調(diào)節(jié)氣囊(14)固定連接在輸水管(6)的內(nèi)壁，所述固定筒(12)的內(nèi)壁且位于調(diào)節(jié)氣囊(14)的內(nèi)部固定連接有出氣管(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，調(diào)整組件包括滑動(dòng)連接在固定筒(12)內(nèi)壁的第一活塞(15)，所述第一活塞(15)遠(yuǎn)離調(diào)節(jié)氣囊(14)的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋管(16)，所述第一活塞(15)遠(yuǎn)離調(diào)節(jié)氣囊(14)的一側(cè)固定連接有限制桿(17)，所述螺紋管(16)螺紋連接在固定筒(12)的內(nèi)壁，所述限制桿(17)滑動(dòng)連接在固定筒(12)的內(nèi)壁，所述螺紋管(16)遠(yuǎn)離第一活塞(15)的一端固定連接有固定把手(18)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)(10)包括安裝塊(19)、補(bǔ)氣桶(20)、加氣組件、穩(wěn)定組件，所述安裝塊(19)固定連接在輸水管(6)的外壁，所述安裝塊(19)遠(yuǎn)離輸水管(6)的一側(cè)與補(bǔ)氣桶(20)的外壁固定連接，所述補(bǔ)氣桶(20)的固定連接在固定筒(12)的內(nèi)壁。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述加氣組件包括固定連接在補(bǔ)氣桶(20)內(nèi)壁的固定板(21)，所述固定板(21)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有滑動(dòng)桿(22)，所述滑動(dòng)桿(22)遠(yuǎn)離固定板(21)的一端固定連接有與補(bǔ)氣桶(20)相適配的按壓塊(24)，所述按壓塊(24)活動(dòng)連接在補(bǔ)氣桶(20)的內(nèi)壁，所述滑動(dòng)桿(22)的外部套設(shè)有復(fù)位彈簧(23)，所述復(fù)位彈簧(23)的兩端分別固定連接在按壓塊(24)與固定板(21)相互靠近的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微波等離子體氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述穩(wěn)定組件包括固定連接在補(bǔ)氣桶(20)內(nèi)壁的濾板(25)，所述濾板(25)的內(nèi)壁滑動(dòng)連接有連接桿(26)，所述連接桿(26)遠(yuǎn)離濾板(25)的一端固定連接有與固定板(21)相適配的活動(dòng)塞(28)，所述連接桿(26)的外部套設(shè)有固定彈簧(27)，所述固定彈簧(27)的兩端分別固定連接在活動(dòng)塞(28)與濾板(25)相互靠近的一側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備，包括裝置底座、冷卻水箱、補(bǔ)水管、出水管、水泵、輸水管、MPCVD設(shè)備、回流管，還包括調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和補(bǔ)氣機(jī)構(gòu)，所述冷卻水箱固定連接在裝置底座的頂部，所述補(bǔ)水管固定安裝在冷卻水箱的內(nèi)壁。本技術(shù)提供的一種微波等離子體氣相沉積設(shè)備，通過轉(zhuǎn)動(dòng)固定把手，使得第一活塞沿著固定筒下降，對調(diào)節(jié)氣囊的內(nèi)部氣體含量進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)整調(diào)節(jié)氣囊的膨脹程度，使得對流經(jīng)輸水管內(nèi)部的水的流速進(jìn)行調(diào)整，而水的流速的快慢對裝置降溫強(qiáng)度的高低產(chǎn)生影響，使得進(jìn)而可根據(jù)生產(chǎn)所需隨之進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高了裝置使用的靈活性，根據(jù)需求調(diào)整裝置沉積的溫度提高了裝置的沉積效果。

技術(shù)研發(fā)人員：田志強(qiáng),顧慧杰,張鵬飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：嘉興頂石新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240528
技術(shù)公布日：2025/1/6