本技術(shù)涉及鍍膜設(shè)備，特別涉及一種爐管結(jié)構(gòu)以及鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著光伏技術(shù)的發(fā)展，采用硅片生產(chǎn)太陽(yáng)能電池具有較高的光電轉(zhuǎn)換效率和較低的成本，受到了廣泛的關(guān)注。其中，硅片在制作過(guò)程中會(huì)經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相沉積工序。化學(xué)氣相沉積工序在太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。通過(guò)化學(xué)氣相沉積，在硅片上沉積薄膜。

2、在該工序中，將硅片放置在爐管內(nèi)，通過(guò)進(jìn)氣管向爐管內(nèi)通入攜源氣體以進(jìn)行沉積。現(xiàn)有的硅片鍍膜設(shè)備中，使用進(jìn)氣管向爐管內(nèi)通入攜源氣體。然而，在長(zhǎng)時(shí)間生產(chǎn)后硅粉會(huì)造成進(jìn)氣管堵塞，影響硅片上膜厚的均勻性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實(shí)用新型提出一種爐管結(jié)構(gòu)以及鍍膜設(shè)備，旨在部分或全部解決現(xiàn)有的硅片在爐管內(nèi)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積時(shí)，由于進(jìn)氣管堵塞，影響硅片上膜厚均勻性的技術(shù)問(wèn)題。

2、為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種爐管結(jié)構(gòu)，所述爐管結(jié)構(gòu)包括爐體、蓋板組件、氧氣進(jìn)氣管、監(jiān)測(cè)元件、尾排管和環(huán)形補(bǔ)氣管；所述爐體具有爐口部和爐尾部，所述爐口部與所述蓋板組件連接并圍設(shè)成爐體空腔，所述爐尾部設(shè)置進(jìn)氣孔和尾排孔；所述氧氣進(jìn)氣管由所述爐口部插設(shè)在所述爐體空腔內(nèi)，以用于將氧氣從所述爐管結(jié)構(gòu)外部輸送至所述爐體空腔內(nèi)；所述尾排管的一端通過(guò)所述尾排孔貫穿所述爐尾部插入到所述爐體空腔內(nèi)；所述監(jiān)測(cè)元件設(shè)置在所述爐體空腔內(nèi)，用于監(jiān)測(cè)所述爐體空腔的溫度；所述環(huán)形補(bǔ)氣管設(shè)置在所述爐口部，所述環(huán)形補(bǔ)氣管具有與所述爐體空腔連通的補(bǔ)氣孔，所述環(huán)形補(bǔ)氣管用于將攜源氣體從所述爐管結(jié)構(gòu)外部輸送至所述爐體空腔內(nèi)。

4、可選的，所述蓋板組件包括蓋板、冷卻組件和法蘭，所述蓋板分別與所述冷卻組件和所述法蘭連接；所述法蘭與所述爐口部連接。

5、可選的，所述爐管結(jié)構(gòu)還包括進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的一端通過(guò)所述進(jìn)氣孔貫穿所述爐尾部插入到所述爐體空腔內(nèi)。

6、可選的，所述進(jìn)氣管位于所述爐體空腔內(nèi)的長(zhǎng)度為l7，所述爐體長(zhǎng)度為l8，l7與l8的比值范圍是7/12-9/12。

7、可選的，所述進(jìn)氣管包括第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管，所述第一進(jìn)氣管和所述第二進(jìn)氣管位于所述爐體空腔內(nèi)的長(zhǎng)度不同。

8、可選的，所述進(jìn)氣孔具有多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)氣孔分成第一組進(jìn)氣孔和第二組進(jìn)氣孔，所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔沿第一方向相間隔設(shè)置，第一組進(jìn)氣孔和第二組進(jìn)氣孔分別包括至少兩個(gè)所述進(jìn)氣孔。

9、可選的，所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔分別間隔設(shè)置于與所述第一方向垂直的第二方向上，且沿所述第一方向，所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔之間的距離為l4，所述爐體的半徑為l1，l4與l1的比值范圍是1/5-2/5，所述第一組進(jìn)氣孔具有兩個(gè)所述進(jìn)氣孔，兩個(gè)所述進(jìn)氣孔的中心與所述尾排孔的中心位于同一連線上；所述第一組進(jìn)氣孔中每個(gè)所述進(jìn)氣孔的中心到所述尾排孔的中心的距離為l3，l3與l1的比值范圍是3/4-15/16；所述第二組進(jìn)氣孔具有兩個(gè)所述進(jìn)氣孔；沿所述第二方向，所述第二組進(jìn)氣孔中每個(gè)所述進(jìn)氣孔的中心到所述尾排孔的中心的距離為l9，l9與l1的比值范圍是3/4-7/8。

10、可選的，沿所述第一方向，所述第一組進(jìn)氣孔和第二組進(jìn)氣孔分別設(shè)置在所述尾排孔的兩側(cè)，且所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔的中心均與所述尾排孔的中心位于同一連線上；所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔中最靠近所述尾排孔的中心的所述進(jìn)氣孔與所述尾排孔的中心的距離為l6，所述爐體的直徑為l2，l6與l2的比值范圍是1/8-1/4；所述第一組進(jìn)氣孔和所述第二組進(jìn)氣孔中相鄰兩個(gè)所述進(jìn)氣孔之間的距離為l5，l5與l2的比值范圍是1/8-3/8。

11、第二方面，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種鍍膜設(shè)備，鍍膜設(shè)備包括鍍膜室和設(shè)置在鍍膜室內(nèi)的如上述的爐管結(jié)構(gòu)。

12、可選的，所述鍍膜設(shè)備還包括脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)，所述脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)的出氣端與所述爐管結(jié)構(gòu)的進(jìn)氣孔連接，所述脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)用于通過(guò)所述進(jìn)氣孔內(nèi)向爐管結(jié)構(gòu)內(nèi)通入攜源氣體。

13、本實(shí)用新型公開(kāi)了一種爐管結(jié)構(gòu)，由爐體的進(jìn)氣孔直接向爐體空腔內(nèi)通入攜源氣體，可以有效避免使用進(jìn)氣管向爐體空腔內(nèi)通入攜源氣體而產(chǎn)生的堵塞問(wèn)題，以改善鍍膜膜厚均勻性，保證不同硅片之間，以及單個(gè)硅片的不同部位出現(xiàn)片間和片內(nèi)膜厚均勻性，避免因進(jìn)氣管堵塞造成的返工以及生產(chǎn)效率波動(dòng)。

14、上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

技術(shù)特征：

1.一種爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述爐管結(jié)構(gòu)包括爐體（10）、蓋板組件（30）、氧氣進(jìn)氣管（20）、監(jiān)測(cè)元件（60）、尾排管（15）和環(huán)形補(bǔ)氣管（12）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板組件（30）包括蓋板（80）、冷卻組件（50）和法蘭（40），所述蓋板（80）分別與所述冷卻組件（50）和所述法蘭（40）連接；所述法蘭（40）與所述爐口部連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述爐管結(jié)構(gòu)還包括進(jìn)氣管（11），所述進(jìn)氣管（11）的一端通過(guò)所述進(jìn)氣孔（14）貫穿所述爐尾部插入到所述爐體空腔（13）內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣管（11）位于所述爐體空腔（13）內(nèi)的長(zhǎng)度為l7，所述爐體（10）長(zhǎng)度為l8，l7與l8的比值范圍是7/12-9/12。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣管（11）包括第一進(jìn)氣管（111）和第二進(jìn)氣管（112），所述第一進(jìn)氣管（111）和所述第二進(jìn)氣管（112）位于所述爐體空腔（13）內(nèi)的長(zhǎng)度不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣孔（14）具有多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)氣孔（14）分成第一組進(jìn)氣孔（141）和第二組進(jìn)氣孔（142），所述第一組進(jìn)氣孔（141）和所述第二組進(jìn)氣孔（142）沿第一方向相間隔設(shè)置，所述第一組進(jìn)氣孔（141）和所述第二組進(jìn)氣孔（142）分別包括至少兩個(gè)所述進(jìn)氣孔（14）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一組進(jìn)氣孔（141）和所述第二組進(jìn)氣孔（142）分別間隔設(shè)置于與所述第一方向垂直的第二方向上，且沿所述第一方向，所述第一組進(jìn)氣孔（141）和所述第二組進(jìn)氣孔（142）之間的距離為l4，所述爐體（10）的半徑為l1，l4與l1的比值范圍是1/5-2/5；

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐管結(jié)構(gòu)，其特征在于，沿所述第一方向，所述第一組進(jìn)氣孔（141）和第二組進(jìn)氣孔（142）分別設(shè)置在所述尾排孔（16）的兩側(cè)，且所述第一組進(jìn)氣孔（141）和所述第二組進(jìn)氣孔（142）的中心均與所述尾排孔（16）的中心位于同一連線上；

9.一種鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括鍍膜室和設(shè)置在鍍膜室內(nèi)的如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的爐管結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述鍍膜設(shè)備還包括脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)（70），所述脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)（70）的出氣端與所述爐管結(jié)構(gòu)的進(jìn)氣孔（14）連接，所述脈沖進(jìn)氣機(jī)構(gòu)（70）用于通過(guò)所述進(jìn)氣孔（14）內(nèi)向爐管結(jié)構(gòu)內(nèi)通入攜源氣體。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種爐管結(jié)構(gòu)以及鍍膜設(shè)備。爐管結(jié)構(gòu)中的爐體具有爐口部和爐尾部，爐口部與蓋板組件連接并圍設(shè)成爐體空腔，爐尾部設(shè)置進(jìn)氣孔和尾排孔；氧氣進(jìn)氣管由爐口部插設(shè)在爐體空腔內(nèi)，以用于將氧氣從爐管結(jié)構(gòu)外部輸送至爐體空腔內(nèi)；尾排管的一端通過(guò)尾排孔貫穿爐尾部插入到爐體空腔內(nèi)；監(jiān)測(cè)元件設(shè)置在爐體空腔內(nèi)，用于監(jiān)測(cè)爐體空腔的溫度；環(huán)形補(bǔ)氣管設(shè)置在爐口部，環(huán)形補(bǔ)氣管具有與爐體空腔連通的補(bǔ)氣孔，環(huán)形補(bǔ)氣管用于將攜源氣體從爐管結(jié)構(gòu)外部輸送至爐體空腔內(nèi)。爐管結(jié)構(gòu)由爐體的進(jìn)氣孔直接向爐體空腔內(nèi)通入攜源氣體，可以改善鍍膜膜厚均勻性，保證不同硅片之間，以及單個(gè)硅片的不同部位出現(xiàn)片間和片內(nèi)膜厚均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：趙淼,張凱,姚建利,高蓉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鄂爾多斯市隆基光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20241021
技術(shù)公布日：2025/1/2