專(zhuān)利名稱：:移動(dòng)的pvd/cvd涂裝中心的制作方法移動(dòng)的PVD/CVD涂裝中心
背景技術(shù)：
本實(shí)用新型涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求9的PVD/CVD涂裝中心以及一種根據(jù)權(quán)利要求14的從工業(yè)模塊建立涂裝中心的方法。如今，對(duì)每位投資者而言，建立用于PVD或CVD涂裝作業(yè)的生產(chǎn)中心都是一項(xiàng)非常昂貴和耗時(shí)的工作。對(duì)于具有單套PVD/CVD設(shè)備和最少外圍設(shè)備的小型企業(yè)而言，僅建立配有一臺(tái)PVD/CVD設(shè)備的中心(包括建筑物和標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)設(shè)備在內(nèi))需要至少1.3至2百萬(wàn)歐元。這種高額投資源于以下事實(shí)在很多情況下，建立新的涂裝中心需要將工作流、基礎(chǔ)設(shè)施(有時(shí)甚至是涂裝設(shè)備)調(diào)整到適應(yīng)當(dāng)?shù)丶軜?gòu)，尤其當(dāng)將涂裝中心與現(xiàn)有建筑物進(jìn)行整合時(shí)更是如此。而且，規(guī)劃和完成涂裝中心(直到"投產(chǎn)"為止)通常需要至少四個(gè)月到一年甚至更多的時(shí)間，這更多地取決于當(dāng)?shù)氐囊蠛蜆?biāo)準(zhǔn)化需求。由于對(duì)涂裝作業(yè)而言交貨時(shí)間非常重要，因此涂裝中心必須位于其最重要的客戶周?chē)?，以確保能提供有竟?fàn)幜Φ姆?wù)和價(jià)格。因此，不能滿意地為許多對(duì)涂裝服務(wù)具有明確需求的較小(次要)市場(chǎng)提供服務(wù)，因?yàn)槠涫袌?chǎng)潛力達(dá)不到安裝新涂裝中心的經(jīng)濟(jì)可行底線，而現(xiàn)有的涂裝中心又通常距離太遠(yuǎn)，因而不能以成本低廉的方式供應(yīng)經(jīng)過(guò)涂裝的標(biāo)準(zhǔn)器具或部件。
實(shí)用新型內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的目標(biāo)是提供一種"移動(dòng)的"、緊湊的且成本低廉的PVD/CVD涂裝中心，可以在很短的時(shí)間內(nèi)將該中心從運(yùn)輸模式組裝成生產(chǎn)模式，相反的，如果由于經(jīng)濟(jì)原因等需要改變位置時(shí)，可以迅速拆卸該中心?？梢詫⑦@種涂裝中心置于至少一個(gè)可運(yùn)輸?shù)墓I(yè)模塊中，其中，預(yù)組裝和用運(yùn)輸鎖提供了至少部分生產(chǎn)設(shè)備(包括PVD/CVD設(shè)備、清潔、鼓風(fēng)(blasting)和去涂裝設(shè)施)和基本的技術(shù)基礎(chǔ)設(shè)施(如水準(zhǔn)備與循環(huán)、壓縮空氣源、氣體源、配電、空調(diào)，等等)。也可以為其他生產(chǎn)必需品(如發(fā)貨/收貨、存儲(chǔ)擱板、休息室/接待處等)提供相同的設(shè)施。而且，可以將工業(yè)模塊的一部分(如運(yùn)輸壁)設(shè)計(jì)成在從運(yùn)輸模式變?yōu)樯a(chǎn)模式時(shí)為PVD設(shè)備提供附加的空間和/或更高的屋頂。取決于預(yù)組裝組件的規(guī)模，只需去掉運(yùn)輸鎖，在中心內(nèi)插入某些氣體、壓縮空氣、水和電力線以及將中心連接到公共電源和水源，便可在一天或幾天之內(nèi)將上述涂裝中心切換到生產(chǎn)模式。與傳統(tǒng)的中心相比，由于這種高度標(biāo)準(zhǔn)化的組件，因而可以降低投資成本，對(duì)于具有單個(gè)PVD/CVD設(shè)備的中心來(lái)說(shuō)，這意味著大約0.5至1百萬(wàn)歐元的投資成本。因此，本實(shí)用新型涉及一種PVD/CVD涂裝中心，該中心包括至少一個(gè)PVD和/或CVD系統(tǒng)和另外的設(shè)備以及供應(yīng)所述涂裝系統(tǒng)和另外的設(shè)備的設(shè)施，其中，以預(yù)組裝方式將上述涂裝系統(tǒng)、另外的設(shè)備和/或設(shè)施安裝在至少一個(gè)工業(yè)模塊和/或工業(yè)平臺(tái)中，并提供了將上述涂裝中心在運(yùn)輸模式與生產(chǎn)模式之間進(jìn)行雙向切換的裝置。根據(jù)本實(shí)用新型的模塊或者工業(yè)模塊是以預(yù)組裝方式攜帶PVD/CVD涂裝中心的至少部分技術(shù)設(shè)備和/或設(shè)施的容器，該模塊可用于運(yùn)輸，并在切換到生產(chǎn)模式之后操作上述預(yù)組裝的設(shè)備和/或設(shè)施?？梢栽谏a(chǎn)模式中訪問(wèn)該模塊，以允許訪問(wèn)所述設(shè)備和/或設(shè)施，并將該模塊作為涂裝中心或涂裝中心的一部分進(jìn)行操作。根據(jù)本實(shí)用新型的模塊化平臺(tái)是以預(yù)組裝方式攜帶PVD/CVD涂裝中心的至少部分技術(shù)設(shè)備和/或設(shè)施的平臺(tái)，該平臺(tái)可用于運(yùn)輸，并在切換到生產(chǎn)模式之后操作上述預(yù)組裝的設(shè)備和/或設(shè)施?？梢栽谏a(chǎn)模式中訪問(wèn)該平臺(tái)，以允許訪問(wèn)所漆設(shè)備和/或設(shè)施。可以安裝運(yùn)輸壁、屋頂和帆布蓋等部分，以在運(yùn)輸中保護(hù)所述技術(shù)設(shè)備和/或設(shè)施。模塊化平臺(tái)可以是工業(yè)模塊的基礎(chǔ)。在生產(chǎn)模式中，可以訪問(wèn)該平臺(tái)，以允許訪問(wèn)上述設(shè)備和/或設(shè)施，并將該模塊作為涂裝中心的一部分進(jìn)行操作。涂裝中心的其他設(shè)備可包括用于預(yù)處理和后處理的設(shè)備(如用于機(jī)械加工的刷光、鼓風(fēng)或者微鼓風(fēng)單元，用于化學(xué)處理的清潔和/或去涂裝單元，用于熱處理的除氣爐，熔爐等等，以及質(zhì)量控制、分析設(shè)備和收貨/發(fā)貨設(shè)施，等等)。作為操作所述設(shè)備的基礎(chǔ)設(shè)施，通常將下列設(shè)施或外圍部件的至少其中之一集成在模塊化的涂裝中心內(nèi)a)加工氣體源，用于提供氬或其他惰性氣體、氫、氮、曱烷、乙烷、乙烯、乙炔、硅烷等氣體。"b)電源，如主電源機(jī)架、模塊化電網(wǎng)之類(lèi)的配電網(wǎng)和其他電氣設(shè)施(如變壓器或穩(wěn)壓器)。c)壓縮空氣源，用于鼓風(fēng)、清潔、閥門(mén)控制等等。d)水分配和/或準(zhǔn)備單元，用于涂裝系統(tǒng)或設(shè)備的溫度控制以及為清潔和/或去涂裝單元供水。e)其他設(shè)施，如監(jiān)視架、電話系統(tǒng)和線路等等。另外，對(duì)于a)至c)，優(yōu)選的，將快速釋放的緊固件系統(tǒng)用于電力線、空氣壓縮和/或氣體管道，以提供模塊或平臺(tái)之間的快速的互相連接。將涂裝中心從運(yùn)輸模式切換為生產(chǎn)模式的裝置可包括可拆卸壁、運(yùn)輸蓋、屋頂、帆布蓋、密封、蓋(hood)、防護(hù)罩、定中心構(gòu)件、安裝設(shè)備、運(yùn)輸鎖等等之中的至少其中之一。在其最小的版本中，涂裝中心可以僅包括一個(gè)模塊，但是，根據(jù)各個(gè)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的需要，涂裝中心一般包括兩個(gè)或更多個(gè)模塊。如果需要小的獨(dú)立解決方案中的所有設(shè)備，則稍后詳細(xì)描述的四模塊中心是一種良好的折中方案。當(dāng)可以在其他生產(chǎn)場(chǎng)所進(jìn)行清潔、鼓風(fēng)或去涂裝操作之類(lèi)的預(yù)處理和/或后處理時(shí)，較小的中心比較方便。應(yīng)當(dāng)注意，由于這種模塊化建設(shè)的緣故P因而，可以根據(jù)不斷增長(zhǎng)的業(yè)務(wù)和轉(zhuǎn)變(turnover)快速擴(kuò)充涂裝中心。通過(guò)電源線路、空氣壓縮和/或氣體管道的用于提供互相連接的快速釋放的緊固件系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有中心的快速建立和擴(kuò)充。在需要時(shí)，可以設(shè)置可拆卸壁，以便提供另外的房間。如果是本地的生產(chǎn)廠房，則可以用工業(yè)平臺(tái)代替工業(yè)模塊，或是將兩者一起使用，因?yàn)椴辉傩枰峁んw來(lái)保護(hù)涂裝中心不受環(huán)境影響。然而，與工業(yè)模塊類(lèi)似，在需要時(shí)，可以提供運(yùn)輸壁或可拆卸運(yùn)輸蓋，以便提供另外的房間。具有至少部分上述特征的涂裝中心的一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是，可以以這樣的方式分離由至少一個(gè)元件(但在大多數(shù)情況下由若干個(gè)可分離元件)構(gòu)成的預(yù)組裝模塊或平臺(tái)(其中設(shè)置了用于進(jìn)行部分或全部維護(hù)-生產(chǎn)所需的所有設(shè)備和相關(guān)的基礎(chǔ)設(shè)施(如上述的設(shè)施或外圍設(shè)備))，使得它們可以作為集裝箱通過(guò)卡車(chē)、海運(yùn)或空運(yùn)等方式運(yùn)輸。由于這種模塊化概念的緣故，因而可以在幾天之內(nèi)在任何生產(chǎn)場(chǎng)所建立用于PVD/CVD涂裝的全包建中心。大多數(shù)中心被至少分為兩個(gè)主要區(qū)域在其中處理各種部件的生產(chǎn)區(qū)域和在其中設(shè)有對(duì)設(shè)備進(jìn)行操作所需的各種設(shè)施的設(shè)施區(qū)域。由于操作員安全、廢熱、噪聲和清潔等原因，因而，通常通過(guò)壁將這些區(qū)域分隔開(kāi)來(lái)。操作人員大部分時(shí)間在生產(chǎn)區(qū)域中工作，而維護(hù)人員將主要因維護(hù)的目的而獲準(zhǔn)進(jìn)入設(shè)施區(qū)域。如果以將設(shè)施集成在設(shè)備之中的方式來(lái)構(gòu)建設(shè)備或設(shè)備的一部分，則應(yīng)當(dāng)對(duì)區(qū)域的分隔方式和大小進(jìn)行調(diào)整。這通常意味著中心中的某些設(shè)施是冗余的-如用于涂裝系統(tǒng)、清潔單元和去涂裝單元的水源-這些舉措一方面使得設(shè)施區(qū)域所需的空間最小化，但另一方面也增加了設(shè)備的生產(chǎn)成本。本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)所需的設(shè)備類(lèi)型和需要遵守的安全規(guī)定來(lái)在設(shè)備集成和設(shè)施區(qū)域的空間需求之間作出適當(dāng)?shù)恼壑小Ｆ渌膮^(qū)域可以是其中儲(chǔ)存消耗品與備件的存儲(chǔ)區(qū)域、貨物的輸入/輸出區(qū)域和休息室，等等。這些區(qū)域可以由預(yù)組裝的模塊組建，或者，在不需要預(yù)組裝的情況下，這些區(qū)域可以由可拆卸壁或在組裝所述模塊之后不再需要的運(yùn)輸壁組建:'運(yùn)輸壁可減小運(yùn)輸體積和中心的成本，而不會(huì)導(dǎo)致安裝時(shí)間的任何實(shí)際延遲。如果對(duì)建設(shè)材料有其他要求，則可在運(yùn)輸期間在模塊中存儲(chǔ)另外的墻壁、底板或者屋頂元件，以供稍后在生產(chǎn)場(chǎng)所進(jìn)行組裝。建設(shè)上述全部包建的pvd涂裝中心僅需本地提供很少供應(yīng)，包括支持該模塊化中心的地基、自來(lái)水管道、廢水管道、電力線和電話線。根據(jù)本地需求，可能還需要額外的柴油發(fā)電機(jī)和水箱。對(duì)于所述地基，具有良好的停車(chē)場(chǎng)強(qiáng)度的地表(例如，具有用混凝土制成的底板)應(yīng)能承受重量可能為10至30噸的模塊。附困說(shuō)明下面，結(jié)合附圖描述了本實(shí)用新型的某些具體實(shí)施例，其中:圖1一個(gè)模塊化涂裝中心的示意圖；圖2具有蓋的模塊；圖3預(yù)組裝的設(shè)備的截面圖；圖4處于運(yùn)輸模式的四個(gè)模塊的平面圖；圖5處于生產(chǎn)模式的四個(gè)模塊的平面圖；圖6四模塊中心內(nèi)的區(qū)域重新分配；圖7安裝后的運(yùn)輸壁；圖8固定系統(tǒng)的實(shí)例；圖9拆卸運(yùn)輸壁后的模塊；圖10:具有定中心構(gòu)件的模塊；圖11:具有安裝設(shè)備的模塊；圖12:模塊化的室內(nèi)涂裝中心。具體實(shí)施方式取決于涂裝中心的設(shè)備需求，建立一個(gè)涂裝中心可能需要1至n個(gè)模塊。圖1示出了處于生產(chǎn)狀態(tài)的小型中心的平面圖，該中心僅包括一個(gè)模塊1和生產(chǎn)所需的相關(guān)基礎(chǔ)設(shè)施。如下所述，為運(yùn)輸?shù)哪康模赏ㄟ^(guò)可拆卸壁或防護(hù)罩25'關(guān)閉門(mén)24和窗25的開(kāi)口。該模塊被劃分為兩個(gè)區(qū)域-生產(chǎn)區(qū)域7，其中配備了涂裝中心12、加載/卸栽站20和用于存儲(chǔ)輸入/輸出貨物的擱板22，以及用于待涂裝部件的夾具；-設(shè)施室8，包括涂裝系統(tǒng)設(shè)施26,如泵單元、系統(tǒng)電源機(jī)架和圖中未詳細(xì)示出的類(lèi)似設(shè)施，以及通用設(shè)施，如加工氣體源16、為整個(gè)模塊1供電的主電源機(jī)架17、壓縮空氣源18和水分配/準(zhǔn)備單元19。對(duì)于工業(yè)模塊1的尺寸，必須考慮其內(nèi)部高度應(yīng)符合生產(chǎn)需求和當(dāng)?shù)匾?guī)定，以允許中心作為標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)設(shè)施工作。因此，這種模塊的典型內(nèi)部高度處于2.5至2.9m之間，當(dāng)對(duì)設(shè)施模塊或其他元件的訪問(wèn)限于維護(hù)的需要時(shí)，可以為設(shè)施模塊或其他元件使用更小的尺寸。同時(shí)，由于可運(yùn)輸性的需要，外^尺寸應(yīng)限于通常為12.2m的最大長(zhǎng)度和最大高度和/或3m的寬度或(40'xl0'xl0')，這是陸地、海洋和空中貨運(yùn)的運(yùn)輸集裝箱的ISO標(biāo)準(zhǔn)尺寸。這意味著這類(lèi)模塊的典型面積為約36m2。重量限制也是應(yīng)當(dāng)考慮的問(wèn)題，但是通常尺寸過(guò)大是導(dǎo)致運(yùn)輸困難和成本較高的主要因素。一般來(lái)說(shuō)，保持標(biāo)準(zhǔn)集裝箱尺寸較有意義，并且，因?yàn)樾枰谏a(chǎn)中或?yàn)榱司S護(hù)的目的而訪問(wèn)該模塊和平臺(tái)，因而，它們最小的外部尺寸不應(yīng)當(dāng)遠(yuǎn)低于規(guī)格為3mx2.4mx2.4m(或10'x8'x8')的ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝箱或3mx2.4m(或者10'x8')。由于上述的尺寸限制，因而至少應(yīng)將設(shè)備的運(yùn)輸尺寸調(diào)整為集裝箱的內(nèi)部尺寸。對(duì)于PVD/CVD涂裝中心來(lái)iJL,涂裝系統(tǒng)12通常是具有最高垂直尺寸的設(shè)備，因此，選擇相對(duì)較小而具有高生產(chǎn)率的涂裝系統(tǒng)對(duì)于滿足模塊化中心的需要很重要。滿足要求的涂裝系統(tǒng)可以是可以買(mǎi)到的RCS、BAI830或者BAI730系統(tǒng)。然而，可能需要在安裝后擴(kuò)展模塊的至少某些部件的高度。這樣可以為檢修/維護(hù)目的而更好地訪問(wèn)涂裝系統(tǒng)的上部部件、安裝滑車(chē)或滿足任何其他生產(chǎn)需求。圖2示出了如何用蓋27來(lái)擴(kuò)展模塊的高度尺寸的實(shí)例。為運(yùn)輸?shù)哪康?，可以將蓋27存儲(chǔ)在模塊1至6內(nèi)，同時(shí)用運(yùn)輸蓋28封閉開(kāi)口?；蛘?，當(dāng)建立用于生產(chǎn)的涂裝中心時(shí)，還可以通過(guò)不再需要的可拆卸運(yùn)輸壁來(lái)提供這種擴(kuò)展。類(lèi)似于結(jié)合圖6/7所述的內(nèi)容，在運(yùn)輸過(guò)程中可以固定該運(yùn)輸蓋。為滿足運(yùn)輸?shù)男枰?如防水外殼、穩(wěn)定性等)和工作的需要(如門(mén)窗的開(kāi)口、電話分機(jī)(extension)、靜止結(jié)構(gòu)、預(yù)組裝的生產(chǎn)設(shè)施(如電力線、壓縮空氣管道、氣體管道以及用于外部源的預(yù)定義連接))，并且，如果對(duì)于其他模塊存在同樣的要求，可以對(duì)上述模塊進(jìn)行若干調(diào)整。圖3示出了用于在模塊1的底板48上固定設(shè)備46的示范構(gòu)造。在集裝箱/模塊i的下框架結(jié)構(gòu)53上固定了鋼結(jié)構(gòu)49(鋼結(jié)構(gòu)49設(shè)有螺紋孔、網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)或其他裝置，以允許與底板安裝設(shè)備46進(jìn)行穩(wěn)定連接)，可以通過(guò)可逆裝置(如螺釘和螺母)或不可逆裝置(如焊接連接或鉚釘)等來(lái)實(shí)現(xiàn)這種固定。然后，可以用底板螺釘47或等效裝置來(lái)固定底板安裝設(shè)備46。此外，可以調(diào)節(jié)其他底板、墻壁或屋頂結(jié)構(gòu)，以永久固定設(shè)備、僅提供運(yùn)輸鎖或確保以穩(wěn)定和安全的方式在生產(chǎn)期間設(shè)置設(shè)備。對(duì)以較高的重心集成預(yù)組裝的重型設(shè)備和/或涂裝設(shè)備而言，這類(lèi)設(shè)置是特別重要的。圖4示出了處于運(yùn)輸模式的四個(gè)不同模塊1至4的平面圖，可以在現(xiàn)場(chǎng)將這些模塊組裝在一起，以構(gòu)成圖5所示的四模塊中心。在生產(chǎn)中，可以用蓋27代替運(yùn)輸蓋28來(lái)擴(kuò)展中心的高度，以方便對(duì)涂裝系統(tǒng)12的頂部和涂裝系統(tǒng)設(shè)施26的部件進(jìn)行訪問(wèn)。在運(yùn)輸過(guò)程中，以可拆卸方式安裝防護(hù)罩25'，以保護(hù)窗25。除圖1所示的設(shè)備之外，在預(yù)安裝的四模塊中心的設(shè)計(jì)中還提供了兩個(gè)鼓風(fēng)單元13、去涂裝單元14、清潔單元15、陳設(shè)21和其他的存儲(chǔ)擱板22、衛(wèi)生設(shè)備23和座位、PC設(shè)備。可以快速地從模塊1至4拆除運(yùn)輸壁29至34,以擴(kuò)展四模塊中心的覆蓋區(qū)。參考圖5中的具體實(shí)例，使用運(yùn)輸壁29至31和門(mén)24以及預(yù)制的屋頂和底板部件-在圖中未示出后者-來(lái)建造倉(cāng)庫(kù)9，同時(shí)用包括雙道門(mén)24'的運(yùn)輸壁32至34來(lái)建立接待處10。如果需要另外的壁，則可以象任何預(yù)制元件一樣將它們?cè)谶\(yùn)輸中存儲(chǔ)在模塊中，然后在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)組裝這些壁。圖6示出了具有生產(chǎn)區(qū)域7、設(shè)施室8、倉(cāng)庫(kù)9、接待處10和休息室11的四模塊中心的區(qū)域重新分配。為保持高的機(jī)動(dòng)性和實(shí)現(xiàn)中心的快速組裝/拆卸，建議在必要時(shí)為運(yùn)輸模塊1至4內(nèi)用于生產(chǎn)的預(yù)組裝的涂裝中心所需的大部分或所有必要部件提供運(yùn)輸鎖。一旦制造好模塊，便可將設(shè)備的所有部分獨(dú)立地集成和固定在這些模塊中。然而，如果基本設(shè)施(如陳設(shè)、清潔或鼓風(fēng)設(shè)備等)由當(dāng)?shù)毓?yīng)，則使用部分安裝的模塊可以減少稅款或因生產(chǎn)場(chǎng)所的較低價(jià)格而獲利。此外，為限制電源、氣體源接口和減少線路或管道長(zhǎng)度，設(shè)備的各個(gè)部件應(yīng)當(dāng)僅屬于一個(gè)模塊，且加工氣體源16與壓縮空氣源18之類(lèi)的設(shè)施和主電源機(jī)架16以及系統(tǒng)電源機(jī)架(在該實(shí)例中集成在涂裝系統(tǒng)設(shè)施26中)應(yīng)當(dāng)置于模塊內(nèi)對(duì)氣體、壓縮氣體、高的電功率需求最高的位置或隨需要自然增加。這就是在所示實(shí)例中加工氣體源16、主電源機(jī)架17和涂裝系統(tǒng)設(shè)施26安裝在模塊1中來(lái)供應(yīng)涂裝系統(tǒng)12而壓縮氣體源18、鼓風(fēng)和/或微鼓風(fēng)單元13安裝在模塊2中的原因。為實(shí)現(xiàn)快速而簡(jiǎn)便的處理，將模塊之間的設(shè)施線路和管道連接最小化，并通過(guò)快速拆卸的連接(在附圖中未進(jìn)一步示出)來(lái)安裝這些線路和連接。例如，對(duì)電源而言，主電源機(jī)架17位于模塊1中，而在各個(gè)模塊2至4中均提供了附圖中未示出的第二配電架。這樣，在組裝中心期間，可通過(guò)為每個(gè)模塊連接一個(gè)插頭來(lái)為模塊2至4進(jìn)行便捷的供電?？梢詫㈩?lèi)似設(shè)置應(yīng)用于水源、氣體和壓縮空氣，因?yàn)楫?dāng)前可以方便地得到用于任何類(lèi)型的建設(shè)線路和管道的可快速拆卸的連接。對(duì)涂裝系統(tǒng)12的自動(dòng)執(zhí)行至關(guān)重要的真空管、加工氣體管道、母線系統(tǒng)等關(guān)鍵部件而言，必須盡可能避免模塊1至6之間的類(lèi)似接口，以便使現(xiàn)場(chǎng)組裝時(shí)間最小化。通過(guò)圖1、圖4和圖5所示的涂裝中心的實(shí)例，本領(lǐng)域技術(shù)人員可根據(jù)當(dāng)?shù)匦枨蠛涂蛻舻那闆r設(shè)計(jì)不同尺寸的工業(yè)模塊和設(shè)備來(lái)規(guī)劃移動(dòng)的涂裝中心。然而，實(shí)現(xiàn)任何成本低廉的移動(dòng)涂裝中心的關(guān)鍵點(diǎn)在于，設(shè)備和設(shè)施的預(yù)安裝方式能使得模塊之間的連接和接口的數(shù)量以及模塊內(nèi)的管道和走線長(zhǎng)度實(shí)現(xiàn)最小化。如上所述，必須將模塊構(gòu)建成與任何運(yùn)輸方式兼容并滿足集裝箱的通常靜態(tài)要求和強(qiáng)度。這也意味著運(yùn)輸蓋28、可拆卸運(yùn)輸壁29至34以及防護(hù)罩25'必須具有與之相當(dāng)?shù)膹?qiáng)度，并可以以防水的方式進(jìn)行密閉。圖7示出了處于運(yùn)輸狀態(tài)的安裝的運(yùn)輸壁，而圖8示出了快速固定系統(tǒng)的實(shí)例。優(yōu)選的，用固定裝置51(可以是螺釘、可插的釋放手柄等)將運(yùn)輸壁50安裝在集裝箱模塊5的上和下框架結(jié)構(gòu)52、53上。在運(yùn)輸壁50和框結(jié)構(gòu)52、53與集裝箱模塊5之間設(shè)置了密封。可將密封35設(shè)計(jì)成由單一部分或多個(gè)部分組成的密封，且可以用彈性體、氯丁橡膠之類(lèi)的適當(dāng)組織和類(lèi)似材料來(lái)制成該密封。圖9至圖11給出了如何組合兩個(gè)模塊(即模塊5和模塊6)以及將它們從運(yùn)輸模式變?yōu)樯a(chǎn)模式的實(shí)例。對(duì)于具有n個(gè)模塊的中心，這種操作必須重復(fù)n-l次。當(dāng)將模塊5和6排齊之后，圖9所示的首先的組裝步驟包括拆去運(yùn)輸壁50和在模塊5的連接側(cè)壁的外直徑附近設(shè)置密封38。應(yīng)當(dāng)參考運(yùn)輸密封35來(lái)確定密封38的設(shè)計(jì)和材料。此后，在將模塊5和模塊6以確定方式連接在一起之前，必須用起重機(jī)將這些模塊推動(dòng)最小距離(這實(shí)現(xiàn)了使用定中心構(gòu)件39和40的精確定位)，以將它們的中心設(shè)定在彼此相關(guān)的位置。根據(jù)圖10所示的實(shí)例，通過(guò)螺紋桿50與具有相反螺紋的可安裝在模塊5和6上的孔眼39(或使用另外的螺母而非相反的螺紋)的配合，完成了精確定位。在將模塊5、6準(zhǔn)確定位之后，可以拆除定中心構(gòu)件39和40。在圖11中，示出了安裝兩個(gè)模塊5、6之間的確定連接來(lái)保持這些模塊之間的相互位置以及向密封38施加足夠的壓力來(lái)形成防水連接的方式。其中示出了不同安裝設(shè)備的兩個(gè)實(shí)例，可以根據(jù)實(shí)際需要單獨(dú)或混合使用這些設(shè)備。平坦型安裝設(shè)備包括模塊5、6的下(或者上)框架結(jié)構(gòu)53(52)中的螺紋孔41、安裝板42和安裝螺釘43。由于其平坦型設(shè)計(jì)的原因，可將該安裝設(shè)備用作內(nèi)部連接，或者，也可將其用作處于頂部的外部連接。頂部安裝設(shè)備包括安裝在上框架結(jié)構(gòu)52上的或安裝在模塊5、6側(cè)向的外壁上的、通過(guò)至少一個(gè)連接螺釘45連接的連接板44。由于其垂直設(shè)計(jì)的緣故，頂部安裝設(shè)備更適于外部應(yīng)用而非內(nèi)部應(yīng)用。在多模塊中心中，組裝了所有模塊，并通過(guò)螺釘將它們緊固在一起，根據(jù)上述的預(yù)組裝結(jié)構(gòu)，可以用快速連接來(lái)連接電源、氣體和/或壓縮空氣接口。四模塊中心的所有設(shè)施的消耗值如下表所示。<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>圖13示出了出于成本方面的考慮(由于大減價(jià)等原因)而租賃或購(gòu)買(mǎi)當(dāng)?shù)亟ㄖ?1的模塊化的室內(nèi)涂裝中心的實(shí)例。與上述涂裝中心類(lèi)似，在運(yùn)輸前，將設(shè)備與設(shè)施的線路與管道集成和預(yù)組裝在模塊中或者平臺(tái)上，以縮短建設(shè)時(shí)間。然而，在這種情況下，不再需要運(yùn)輸模塊54至58來(lái)為涂裝中心構(gòu)建整個(gè)殼體，而僅在需要時(shí)用這些模塊將生產(chǎn)區(qū)域互相分隔開(kāi)來(lái)。例如，現(xiàn)在可將所有設(shè)施(如加工氣體源16、主電源機(jī)架18、水分配/準(zhǔn)備19、監(jiān)視架19')和其他設(shè)施62(如空調(diào)等)置于一個(gè)模塊54內(nèi)。因?yàn)樵肼?、散熱、安全等原因，?yīng)將該模塊與建筑物61的其余部分隔離?；蛘?，可以將該模塊設(shè)置在建筑物61之外。由于鼓風(fēng)室56產(chǎn)生塵土和噪聲的緣故，因而可以以類(lèi)似的方式來(lái)設(shè)置該室。根據(jù)涂裝中心的通常工藝步驟(即模塊58中的清潔、模塊55中的涂裝、模塊57中的去涂裝和模塊56中的鼓風(fēng))預(yù)組裝了該實(shí)例的其他模塊?？梢栽诮ㄖ?1內(nèi)和上述模塊之外設(shè)置收貨/發(fā)貨設(shè)施。根據(jù)實(shí)際的媒介需求，預(yù)制的媒介管道60通過(guò)由快速連接構(gòu)成的連接設(shè)備59將所有所需的媒介(當(dāng)需要時(shí)，水、電功率、氣體、壓縮空氣等)從設(shè)施容器54引至安裝在模塊55至58中的設(shè)備。為了運(yùn)輸，可以拆除媒介管道60,并且，在運(yùn)輸期間，可以將這些管道存儲(chǔ)在一個(gè)或若干個(gè)集裝箱中。如果某些設(shè)施僅用于一件設(shè)備，則可在該設(shè)備所在的模塊內(nèi)集成適當(dāng)?shù)脑O(shè)施。例如，對(duì)加工氣體源16而言，僅在用于供應(yīng)涂裝系統(tǒng)12的模塊55內(nèi)集成該氣體源。對(duì)壓縮空氣源18和水源分S己/準(zhǔn)備19而言，也存在類(lèi)似的考慮。由于模塊54、55、56、57、58的底板高度高于建筑物61的底板高度，因而，可提供斜坡63和使用輥道(rollingtable)將部件(特別是將進(jìn)行表面處理的部件)從一個(gè)模塊移動(dòng)到另一個(gè)模塊。與前述實(shí)例相反，在這種情況下，可以將具有預(yù)組裝的生產(chǎn)設(shè)備的模塊化平臺(tái)用于生產(chǎn)步驟或不需要封閉殼體的區(qū)域，對(duì)設(shè)施模塊58或者鼓風(fēng)模塊而言，由于上述的原因，該封閉殼體是非常有用的。在這種情況下，可以拆除屋頂和墻壁元件，以將中心從運(yùn)輸模式切換到生產(chǎn)模式，這有助于從側(cè)面訪問(wèn)設(shè)備。例如，將這類(lèi)平臺(tái)用于模塊55、57和58是有利的。為完整起見(jiàn)，應(yīng)當(dāng)指出，在某些情況下，以下做法可能比較有利以封閉和/或開(kāi)放的模塊化形式構(gòu)建涂裝中心的一部分，并在本地供應(yīng)商處購(gòu)買(mǎi)設(shè)備的其余部件，以直接在建筑物處進(jìn)行安裝。附圖標(biāo)記1容器/模塊12容器/模塊23容器/模塊34容器/模塊45.容器/模塊n6容器/模塊n+l7生產(chǎn)區(qū)域8設(shè)施室9倉(cāng)庫(kù)10接待處11休息室12涂裝系統(tǒng)13^f敬鼓風(fēng)/鼓風(fēng)單元14去涂裝單元15清潔單元16加工氣體源17主電源機(jī)架18壓縮空氣源19水分配/準(zhǔn)備單元19'監(jiān)視架(可選)20加載/卸載站21陳設(shè)22擱板23基石出設(shè)施24門(mén)24'雙道門(mén)25窗25'防護(hù)罩26系統(tǒng)設(shè)施27蓋28運(yùn)輸蓋29運(yùn)輸壁30運(yùn)輸壁31運(yùn)輸壁32運(yùn)輸壁33運(yùn)輸壁34運(yùn)輸壁35運(yùn)輸密封36運(yùn)輸狀態(tài)37固定器38密封39孔眼40螺紋桿41螺紋孔42安裝板43安裝螺釘44連接板45連接螺釘46底板安裝設(shè)備47底板螺釘48底板494岡結(jié)構(gòu)50運(yùn)輸壁51固定裝置52上框架結(jié)構(gòu)53下框架結(jié)構(gòu)54設(shè)施模塊/平臺(tái)55涂裝模塊/平臺(tái)56鼓風(fēng)模塊/平臺(tái)57去涂裝模塊/平臺(tái)58清潔模塊/平臺(tái)59連接設(shè)備60管道61建筑物62其他設(shè)施63斜坡權(quán)利要求1.一種PVD/CVD涂裝中心，包括至少一個(gè)PVD和/或CVD系統(tǒng)(12)與另外的裝備以及供應(yīng)所述系統(tǒng)和另外的裝備的設(shè)施，其特征在于，所述涂裝系統(tǒng)(12)和另外的設(shè)備(13，14，15)和/或設(shè)施(16，17，18，19)以預(yù)組裝方式安裝在至少一個(gè)工業(yè)模塊(1，2，3，4，5，6)中，并提供了將所述涂裝中心在運(yùn)輸模式與生產(chǎn)模式之間進(jìn)行雙向切換的裝置(27，29，30，31，32，33，34，38，39，40，41，42，43，44，45，60)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂裝中心，其特征在于，所述另外的設(shè)備包括以下設(shè)備的至少其中之一清潔單元(15)、鼓風(fēng)單元(13)、微鼓風(fēng)單元(13)、去涂裝單元(14)、刷光單元、熔爐。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂裝中心，其特征在于，所述設(shè)施包括以下物件的至少其中之一加工氣體源(16)、電源(17)、壓縮空氣源(18)、水分配和/或準(zhǔn)備單元(19)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂裝中心，其特征在于，所述裝置包括以下裝置的至少其中之一可拆卸壁(29，30，31,32，33，34，50)、運(yùn)輸蓋(28)、密封(35，38)、蓋(27)、防護(hù)罩(25')、定中心構(gòu)件(39，40)、安裝設(shè)備(41,42,43，44，45)、運(yùn)輸鎖。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂裝中心，其特征在于，所述涂裝中心為單模塊(l)中心。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂裝中心.，其特征在于，所述涂裝中心包括至少兩個(gè)模塊(l,2，3，4，5,6)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂裝中心，其特征在于，所述模塊(l,2，3,4，5，6)包括用于電力線、空氣壓縮和/或氣體管道的至少一個(gè)提供互相連接的快速釋放的緊固件系統(tǒng)。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂裝中心，其特征在于，所述涂裝中心包括四個(gè)模塊(l，2，3，4)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂裝中心，其特征在于，可以設(shè)置可拆卸壁(29，30,31，32，33，34)和/或送輸蓋(28)，以提供另外的房間(9，10)。10.—種PVD/CVD涂裝中心，包括至少一個(gè)PVD和/或CVD系統(tǒng)(12)與另外的設(shè)備以及供應(yīng)所述系統(tǒng)和另外的設(shè)備的設(shè)施，其特征在于，所述涂裝系統(tǒng)(12)和另外的設(shè)備(13，14,15)和/或設(shè)施(16，17，18,19)以預(yù)組裝方式安裝在至少一個(gè)工業(yè)平臺(tái)(54,55，56，57,58)上，并提供了將所述涂裝中心在運(yùn)輸模式與生產(chǎn)模式之間進(jìn)行雙向切換的裝置。11.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的涂裝中心，其特征在于，所述另外的設(shè)備包括以下設(shè)備的至少其中之一清潔單元(15)、去涂裝單元(14)、鼓風(fēng)單元(13)、微鼓風(fēng)單元(13)、刷光單元、熔爐。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂裝中'心，其特征在于，所述設(shè)施包括以下物件的至少其中之一加工氣體源(16);電源(17)，該電源指主電源機(jī)架而不僅僅指電源；壓縮空氣源(18);水分配和/或準(zhǔn)備單元(19)。13.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的涂裝中心，其特征在于，所述裝置包括以下裝置的至少其中之一可拆卸運(yùn)輸壁(29,30,31,32，33，34，50)、可拆卸運(yùn)輸屋頂(使用了運(yùn)輸蓋而非可拆卸運(yùn)輸屋頂28)、密封(38)、帆布蓋、運(yùn)輸鎖。14.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的涂裝中心，其特征在于，可設(shè)置運(yùn)輸壁(29，30,31，32，33，34，50)或可拆卸運(yùn)輸蓋(28)，以提供另外的房間。專(zhuān)利摘要一種PVD和/或CVD涂裝中心，包括至少一個(gè)PVD和/或CVD系統(tǒng)與另外的設(shè)備以及供應(yīng)該系統(tǒng)與設(shè)備的設(shè)施，由此將該涂裝系統(tǒng)與另外的設(shè)備和/或設(shè)施以預(yù)組裝方式安裝在至少一個(gè)工業(yè)模塊和/或工業(yè)平臺(tái)內(nèi)，并提供了將涂裝中心在運(yùn)輸模式和生產(chǎn)模式之間進(jìn)行雙向切換的裝置。文檔編號(hào)C23C16/00GKCN201080493SQ200590000066公開(kāi)日2008年7月2日申請(qǐng)日期2005年3月24日發(fā)明者C·比肖夫,D·弗蘭茨,F·基亞尼,H·埃根伯格,H·舒爾茨,U·勞赫,V·比勒申請(qǐng)人:Oc歐瑞康巴爾斯公司導(dǎo)出引文BiBTeX,EndNote,RefMan