專利名稱:兩面拋光操作中使用的夾頭組件的制作方法
本發(fā)明涉及一種在拋光、研磨或碾磨操作中夾持工件的夾頭組件，特別適用于兩面加工的操作。更具體地講，本發(fā)明涉及一種由上面裝有一個(gè)或數(shù)個(gè)工件夾頭的傳動(dòng)環(huán)組成的夾頭組件，其中，工件夾頭由一種比傳動(dòng)環(huán)軟的材料制成，以減少在拋光、研磨或碾磨中工件缺陷的產(chǎn)生。
本發(fā)明主要可用于兩面加工的操作，即一襯底的兩面同時(shí)得到拋光、研磨或碾磨，以形成平整、一致的表面。除非另有說(shuō)明，為了方便起見(jiàn)，此地將用較廣義的術(shù)語(yǔ)“拋光”指各種不同類型的拋光、研磨或碾磨加工，因?yàn)楸景l(fā)明可用于上述的一種或所有的加工。
典型的兩面拋光機(jī)采用鐵板或鋼板，以及/或者各種人造或天然拋光墊以對(duì)工件表面進(jìn)行拋光。在典型的拋光機(jī)中，夾持工件的各夾頭組件由一傳動(dòng)裝置傳動(dòng)，該傳動(dòng)裝置，由一個(gè)內(nèi)圓周帶齒的固定外圓構(gòu)件組成。與該固定構(gòu)件同心并置于其中心的還有一個(gè)旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)構(gòu)件，其外圓周亦帶齒。帶有齒形圓周的夾頭組件即被置于固定構(gòu)件和旋轉(zhuǎn)構(gòu)件之間，并與該二構(gòu)件嚙合。夾頭組件為圓盤(pán)，上有可放置工件如半導(dǎo)體大圓片或鋁片的圓孔。
制造在兩面拋光操作中使用的堅(jiān)固、耐用的夾頭組件的典型材料為鋼和其他金屬制的合金，諸如國(guó)際鎳公司生產(chǎn)的商標(biāo)為“英康耐爾”(INCONEL)和“莫耐爾”(MONEL)合金的鎳合金。要制造可以承受住固定構(gòu)件、旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和夾頭組件的傳動(dòng)和被傳動(dòng)齒在拋光過(guò)程中產(chǎn)生的很大的力的外齒，這些材料的高強(qiáng)度及硬度是重要的因素。然而，這種可使齒具有長(zhǎng)使用壽命優(yōu)點(diǎn)的強(qiáng)度和耐損性同時(shí)也帶耒了一些有待克服的缺點(diǎn)。
當(dāng)拋光較軟的或脆性材料，例如諸如硅、鎵釓金剛砂(GGG)、砷化鎵等電子襯底時(shí)，做成夾頭組件內(nèi)圓孔的鋼或其他硬金屬的硬邊，以及夾頭迅速運(yùn)動(dòng)和/或圓孔內(nèi)的襯底的運(yùn)動(dòng)，可能會(huì)使襯底邊緣碎裂以及/或者產(chǎn)生裂縫。這種互相作用可使襯底產(chǎn)生肉眼察覺(jué)不出的變形，這種變形在日后進(jìn)一步的加工中會(huì)使襯底部分或全部報(bào)廢。
人們?cè)噲D全部用較軟的材料，如聚脂、聚乙烯、聚碳酸酯、尼龍、聚氯乙烯、丙烯酸鹽、聚氨基甲酸乙酯、環(huán)氧物，乙縮醇[如杜邦公司(E.I.du Pont de Nemours & Company)的“達(dá)爾蘭”(D E L R I N)牌產(chǎn)品]包括用各種纖維加強(qiáng)的和不加強(qiáng)的，耒制造夾頭組件。使用較軟的材料有助于防止拋光工件產(chǎn)生缺陷，但是會(huì)過(guò)度過(guò)早磨損夾頭組件的齒，從而導(dǎo)致夾頭組件使用壽命的縮短和整個(gè)加工成本的增加。
把上述的兩種材料，即一種較硬的金屬和一種較軟的材料結(jié)合起耒使用，做成一個(gè)夾頭，在較硬的核心材料上涂一層較軟的材料，這種方案在夾頭較厚或拋光的襯底相應(yīng)較厚時(shí)使用比較有效。不過(guò)，對(duì)于較薄的襯底，因?yàn)楹诵牟牧媳仨氉龅煤鼙?，所以制成的夾頭很脆，實(shí)際上無(wú)法使用。
本發(fā)明克服了已有技術(shù)中的一些問(wèn)題，其措施是用一種硬性、耐用材料作外傳動(dòng)圓環(huán)，用較軟的材料作夾持和保護(hù)拋光工件的工件夾。
本發(fā)明包括一個(gè)在拋光、研磨、碾磨操作中使用的夾頭組件，該夾頭組件由一適宜于旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)環(huán)組成，該傳動(dòng)環(huán)包括一傳動(dòng)連接裝置，傳動(dòng)連接傳動(dòng)環(huán)與驅(qū)動(dòng)源，該傳動(dòng)圓環(huán)至少有一個(gè)固定工件夾的孔，工件夾固定在孔內(nèi)，工件夾適宜于將工件夾持在工件夾內(nèi)的一凹坑內(nèi)，傳動(dòng)環(huán)由一種相對(duì)耒說(shuō)比較硬的材料制成，這種材料比制作工件夾的較軟的材料硬，這種較硬的材料比較軟的材料更能承受傳動(dòng)環(huán)傳動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的力，而較軟的材料則比較硬的材料更能保護(hù)和墊襯工件夾內(nèi)夾持的任何工件，防止其碎裂和產(chǎn)生裂縫。
這樣，本發(fā)明即將已有技術(shù)中原先效率不高的單個(gè)兩面夾頭的兩個(gè)功能分離開(kāi)了，并使之能分別作有效操作。這兩個(gè)功能是(1)將動(dòng)作轉(zhuǎn)送給拋光工件，以及(2)，在該工件拋光時(shí)對(duì)之加以保護(hù)。
可以而且最好在一個(gè)夾頭組件上使用幾個(gè)工件夾。工件夾可包括形狀各異的中央凹坑，以放置各種不同形狀的待拋工件。本發(fā)明的工件夾最好是可拆卸的、可調(diào)換的或可在一個(gè)夾頭組件中互換的。
可以根據(jù)具體工件的需要用最適宜的材料，以最佳形狀或尺寸制造每個(gè)工件夾。根據(jù)本發(fā)明，可以使用一組較貴的傳動(dòng)環(huán)以及一些適合不同工件的較便宜的工件夾。
為了說(shuō)明本發(fā)明，附圖中顯示了一種目前認(rèn)為比較好的方案。然而，應(yīng)該理解，本發(fā)明并不僅僅限于附圖所示的準(zhǔn)確布局和手段。
圖1為根據(jù)本發(fā)明的一夾頭組件的一個(gè)實(shí)施方案的平面圖。
圖2為沿圖1中的夾頭組件2-2線的垂直剖面圖，其中，拋光壓磨板為部分剖視示意圖。
圖3為根據(jù)本發(fā)明的夾頭組件的第二個(gè)實(shí)施方案的平面圖。
圖4為沿圖3中的夾頭組件4-4線的垂直剖面圖，其中，拋光壓磨板為部分剖視示意圖。
圖5為根據(jù)本發(fā)明的夾頭組件的第三個(gè)實(shí)施方案的垂直剖面圖。
下面詳述各附圖，在各圖中，同樣的組件標(biāo)有同樣的號(hào)碼。在圖1中，10為夾頭組件。夾頭組件10由一外圓周有齒14的傳動(dòng)環(huán)12組成。齒14被繪成齒輪齒，可以是任何一種已知的齒形，例如，漸開(kāi)的。如需要，也可使用針狀齒的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的夾頭組件10可以而且最好在兩面拋光機(jī)中取代目前所用的單個(gè)夾頭組件。
在傳動(dòng)圓環(huán)12中做出一個(gè)或幾個(gè)孔16，每一個(gè)孔要適合固定一個(gè)工件夾。如下所述，參閱附圖3，最好在傳動(dòng)環(huán)中只做出一個(gè)孔。最好用銑或切削，而不是用壓制的方法在傳動(dòng)環(huán)中加出孔16。銑或切削可使孔緣平整，從而提高工件夾的壽命。
工件夾16的位置及相互間距可以是任意的，只要各孔與傳動(dòng)環(huán)之間有足夠的距離且各相鄰孔之間有足夠的間距，不致過(guò)度磨損傳動(dòng)環(huán)或在各種拋光加工中在對(duì)準(zhǔn)各孔時(shí)產(chǎn)生互相干擾。目前認(rèn)為如圖所示的那樣，沿傳動(dòng)環(huán)的中心向四周圓形散開(kāi)、等距離排布這些孔比較好。最好將各孔16排成一個(gè)圓，該圓的圓周通過(guò)每個(gè)孔的中心，這樣，自傳動(dòng)環(huán)12的中心至任何一有孔16的中心的距離的二倍的長(zhǎng)度即限定出了一尺寸，該尺寸可以稱為工件夾圓的直徑。
將工件夾18、20、22、24和26塞入孔16，并由之固定。工件夾可以較松地固定在孔16中，這樣，這些工件夾及各工件夾中夾持的工件一般可由如圖2中38處所示的下拋光墊或研磨板支撐。在有些情況下，拋光加工中所用的水力及其他力可能會(huì)使工件和工件夾的位置略高于下拋光或研磨板。
與任何一種具體的傳動(dòng)環(huán)一起使用的工件夾最好有統(tǒng)一的外直徑，這樣，可以拆卸并由其他工件夾替換。工件夾內(nèi)加工出了一凹坑，工件或襯底28、30、32、34和36即置于其中。
工件或襯底可以是兩主要表面都要拋光的單片襯底，也可以是背對(duì)背放置在凹坑內(nèi)，中間隔有或不隔有聚合薄膜或纖維紙分隔物的兩片襯底。在后一種情況下使用兩面拋光機(jī)，各襯底只有一個(gè)主要表面可得到有效的拋光。
工件夾的凹坑的形狀和尺寸可相同，如圖中工件夾18，20，22和24所示，也可以各具不同的形狀和尺寸，如圖中工件夾26所示，因此，襯底28，30，32和34的水平橫截面都是圓的，而工件36的水平橫截面則是方的。圖1中所示的各種形狀只是為了說(shuō)明問(wèn)題的，因?yàn)槿魏我粋€(gè)工件夾的凹坑都可定制成與工件相同的形狀。而且，盡管工件36有不同形狀以及工件夾26的凹坑也有各種不同的相應(yīng)形狀，工件夾26可以跟圖1中所示其他任何一個(gè)工件夾互換。
圖1中所示的工件夾有一圓周，以對(duì)應(yīng)于拋光的許多襯底的一般形狀，然而，孔16、工件夾18，20，22，24和26以及工件28，30，32，34和36也可采用其他形狀，這些形狀不必與任何給定傳動(dòng)環(huán)中的形狀一致或類同。
如圖2所示，傳動(dòng)環(huán)12一般是與夾頭組件有關(guān)的組件中最薄的組件。例如圖2中18所示的這些工件夾，一般比傳動(dòng)環(huán)12厚，以保護(hù)在圖2中28所示的工件。一般講，工件，例如工件28，比夾頭組件中的所有其他組件厚，這樣，它們可由部分剖視圖中的上、下拋光墊或研磨板拋光，上、下拋光板或研磨板分別由號(hào)碼40和38表示。
圖3說(shuō)明了根據(jù)本發(fā)明的夾頭組件110的另一個(gè)實(shí)施方案。夾頭組件110包括其圓周上有齒114的傳動(dòng)環(huán)112。在傳動(dòng)環(huán)112上加工了一個(gè)中心孔116。工件118即置于并固定在孔116之內(nèi)。
在許多情況下，需要防止工件夾在傳動(dòng)環(huán)中旋轉(zhuǎn)。防止這種旋轉(zhuǎn)的一個(gè)措施是將孔加工成非圓形的，對(duì)應(yīng)的工件夾的外圓周也做成非圓形的。另一種防止旋轉(zhuǎn)的方式如圖3所示，在孔116上加工出一些突起物117，這些突起物與工件118上加工的凹口119嚙合很明顯，這些突起物和凹口也可以互換位置。
在工件夾118內(nèi)加工了兩個(gè)凹坑。圖3中所示的兩個(gè)凹坑只是為了說(shuō)明工件夾118內(nèi)可以加工出不同尺寸和不同形狀的凹坑。工件128被固定在一個(gè)凹坑內(nèi)，工件130被固定在另一個(gè)凹坑內(nèi)。
圖4為沿圖3中所示的夾頭組件的4-4線的垂直剖面圖。根據(jù)對(duì)圖2和圖3的說(shuō)明，該圖本身即很說(shuō)明問(wèn)題。它說(shuō)明了各組件與上、下拋光墊或研磨板相比的相對(duì)厚度，上下拋光墊或研磨板在部分剖視示意圖中分別以號(hào)碼134和132表示。
圖5為本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案的垂直剖面圖，其中，各組件的相對(duì)厚度與以前描述的各實(shí)施方案中各組件的厚度不同，但在平面圖中看上去與圖3一樣，此地畫(huà)成剖面圖是為了說(shuō)明問(wèn)題。在這個(gè)實(shí)施方案中，工件夾218比傳動(dòng)圓環(huán)212以及工件228和230薄。圖5中的夾頭組件可能特別適用于不同于研磨或碾磨操作的拋光操作。在拋光時(shí)，拋光墊(圖中未表示)上可形成一拋光涂層或廢砂漿以及分離的細(xì)砂和其他廢物層。把工件夾做得比傳動(dòng)環(huán)和工件薄，孔216的邊緣即可刮平或磨光拋光墊，以幫助去除多余的拋光涂層或廢砂漿層。
從絕對(duì)意義上講，盡管制造傳動(dòng)環(huán)和制造工件夾的材料不是關(guān)鍵性的，但根據(jù)本發(fā)明，這些材料必須具備下列重要特性。
傳動(dòng)環(huán)12，112應(yīng)由一堅(jiān)硬、耐用的材料制成，這種材料通常為金屬，例如鋼，不銹鋼，以及任何一種型號(hào)的金屬合金，比如英康耐爾牌和莫耐爾牌的產(chǎn)品。所用的材料應(yīng)足夠牢固和堅(jiān)硬，以承受拋光操作中傳動(dòng)環(huán)傳動(dòng)時(shí)附帶的力，并在任何情況下，比制成工件夾的較軟的材料更能承受這種力，傳動(dòng)環(huán)是由比制作工件夾的材料堅(jiān)硬的材料制成的。典型的傳動(dòng)環(huán)可由布氏硬度至少為75的一種金屬，例如鋼制成。傳動(dòng)環(huán)不應(yīng)過(guò)早磨損或在拋光操作中變脆。
工件夾應(yīng)由一種比制成傳動(dòng)環(huán)的材料軟的材料制成。制成工件夾的材料還應(yīng)比拋光的襯底軟，這樣才不會(huì)使襯底碎裂，出現(xiàn)裂縫，表面劃傷或以其他方式使之遭到損壞。目前用于制造工件夾的較好的材料為合成聚合樹(shù)脂?？梢允褂玫臉?shù)脂(但并非沒(méi)有限制)包括聚氨基甲酸乙酯、聚脂、聚乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、尼龍、環(huán)氧物、苯酚、密胺、丙烯酸鹽以及乙縮醇聚合物(例如杜邦公司的“達(dá)爾蘭”牌產(chǎn)品)。根據(jù)待墊光襯底的情況，如有需要，可用各種纖維，包括例如玻璃纖維和碳纖維加強(qiáng)選用的聚合物。
用于制成工件夾的材料可以非常軟和有彈性，以吸收拋光加工中由襯底邊緣傳送主孔的振動(dòng)。該材料可以軟到在工作現(xiàn)場(chǎng)可用諸如剪切刀之類的基本工具剪切成合適的形狀和尺寸。這并不是說(shuō)工件夾必須是有彈性的，盡管在一些給某些襯底拋光的加工中最好是這樣的。工件夾可以相當(dāng)堅(jiān)硬，以牢牢地支撐住工件，當(dāng)然，這也取決于任一特定拋光加工中可能出現(xiàn)的各種情況。
對(duì)制成傳動(dòng)環(huán)以及工件夾的材料的選擇取決于好幾個(gè)因素，包括待拋光襯底的類型，襯底的厚度，襯底的尺寸及其水平和截面形狀，欲安裝夾頭組件的機(jī)器的類型，使用的拋光介質(zhì)的類型，拋光中產(chǎn)生的濕度的高低，以及其他一些該行業(yè)中具有普通技藝的人所了解的因素。
本發(fā)明的夾頭組件可使使用者享有很大的靈活性。傳動(dòng)環(huán)是堅(jiān)硬、耐用的，可以承受拋光研磨及碾磨操作中產(chǎn)生的各種力。任何已知夾頭組件中的工件夾最好是可拆卸的，可調(diào)換的或可互換的。這樣，可以對(duì)最少的物品加以最大限度的利用，并且可以在操作現(xiàn)場(chǎng)制作合適的工件夾耒夾持待拋光的具體的襯底。
現(xiàn)在參照下列特定的未耒可以實(shí)現(xiàn)的非限定性例子進(jìn)一步對(duì)本發(fā)明加以說(shuō)明。
例1本例描述了一種可在精拋光加工中固定五塊5.08厘米(2英寸)半導(dǎo)體圓襯底的夾頭組件。各襯底分別由其置于傳動(dòng)環(huán)內(nèi)各自分開(kāi)的孔內(nèi)的工件夾固定。夾頭組件(包括齒)的直徑為22.38厘米(8.81英寸)。加工成的孔內(nèi)可放置圓直徑為17.68厘米(6.96英寸)的工件夾。孔的直徑為6.439厘米(2.535英寸)，工件夾的外直徑為6.414厘米(2.525英寸)。凹坑的直徑為5.144+/-0.013厘米(2.025+/-0.005英寸)。外圓周與各工件夾凹坑之間的距離約為0.64厘米(0.25英寸)。一般的排布在圖1中已有說(shuō)明，盡管工件夾26應(yīng)有一圓形凹坑，而不是方形凹坑。圖中的工件夾和凹坑均用銑削方法制成。這樣，其邊緣才會(huì)平整。然而，工件夾的凹坑也可以一個(gè)一個(gè)地分別銑削而成，以安放無(wú)數(shù)種實(shí)際直徑各異的襯底。
傳動(dòng)環(huán)由28號(hào)(最大厚度為0.038厘米(0.015英寸)的304型不銹鋼制成，其傳動(dòng)齒與一帶動(dòng)銷傳動(dòng)兩面拋光機(jī)連接，傳動(dòng)環(huán)共有43個(gè)齒，其節(jié)圓直徑為21.8厘米(8.6英寸)。
工件夾由G-10級(jí)的0.038厘米(0.015英寸)厚的玻璃纖維加固氧樹(shù)脂板制成，這種材料可自數(shù)個(gè)貨源處購(gòu)得。
例2本例說(shuō)明了如何使用那種可以放入多邊形或不規(guī)則形狀的工件夾，例如，可放入工件夾內(nèi)5.00厘米(2英寸)凹坑的砷化鎵半導(dǎo)體襯底。
傳動(dòng)環(huán)由例1中列出的材料制成，其尺寸亦如例1所示，工件夾可由鑄模高密度聚氨基甲酸乙酯樹(shù)脂經(jīng)剪切刀的恒定壓力切成。把不規(guī)則形狀的襯底放在原先沒(méi)有用銑床或其他機(jī)床加工出的凹坑的工件夾上部，然后把襯底的形狀描下耒，用剪切刀在工件夾上開(kāi)出相應(yīng)的凹坑。把描畫(huà)和切下的部分從工件夾上除去，即在工件夾上開(kāi)出了與待拋光的襯底完全吻合的工件夾凹坑。這種匹配的操作可以在工件夾生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)或?qū)嶋H拋光現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行。
例3本例說(shuō)明了一種用于研磨半導(dǎo)體襯底的夾頭組件。該夾頭組件的直徑為31.45厘米(12.38英寸)。傳動(dòng)環(huán)有60個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的漸開(kāi)齒其節(jié)圓直徑為30.48厘米(12.00英寸)，徑節(jié)為5.傳動(dòng)環(huán)由最大厚度為0.0531厘米(0.0209英寸)的25號(hào)冷軋薄鋼板制成。
在傳動(dòng)環(huán)內(nèi)加工一個(gè)孔以固定一個(gè)圖3中一般說(shuō)明的工件夾。圖3中所示的互相聯(lián)鎖的凹槽和突起可防止工件夾相對(duì)傳動(dòng)環(huán)旋轉(zhuǎn)。這樣，可以防止那種可能把工件或工件夾甩出，或抵銷傳動(dòng)環(huán)的旋轉(zhuǎn)傳送到工件夾的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。工件夾由厚度為0.053厘米(0.021英寸)的G-10級(jí)玻璃纖維加強(qiáng)的環(huán)氧復(fù)合薄片制成。
傳動(dòng)環(huán)孔的直徑(不包括突起物)為26.759cm(10.535英寸)。工件夾外直徑為26.734厘米(10.525英寸)。與圖3中所示的工件夾不同的是，在本例所用工件夾的凹坑內(nèi)固定并得到研磨的有6片7.62厘米(3英寸)圓形襯底。工件夾的凹坑的直徑約為7.684+/-0.013厘米(3.025+/-0.005英寸)。6個(gè)凹坑的中心沿直徑為17.40厘米(6.85英寸)的工件夾圓鋪開(kāi)。這樣，各凹坑互相均有間距(約1.02厘米;0.4英寸)，且與工件夾的外圓周也有充足的間距(約為0.826厘米;0.325英寸)，因此，有足夠的材料夾持、支撐和固定工件、并使每一工件的研磨得以進(jìn)行。
本例說(shuō)明了使用那種大大簡(jiǎn)化了大圓片的裝載的單個(gè)工件夾的有效性。這在那種典型的如研磨之類的操作中尤為重要，在此類操作中，因?yàn)橐r底尚未經(jīng)過(guò)許多加工，價(jià)值較低，所以不必太仔細(xì)。目前，在研磨加工中幾乎全部使用鋼夾頭，使用一種較軟的工件夾可以大大減少半導(dǎo)體襯底缺陷的形成。
例4本例說(shuō)明了那種也可用于拋光操作的只有一個(gè)工件夾的夾頭組件。
加工一個(gè)其最大厚度為0.0452厘米(0.0178英寸)的304型26號(hào)不銹鋼傳動(dòng)環(huán)，其夾頭組件的直徑為31.29厘米(12.32英寸)。傳動(dòng)環(huán)包括61個(gè)漸開(kāi)齒，其徑節(jié)為5。在傳動(dòng)圓環(huán)內(nèi)加工一個(gè)直徑為27.521厘米(10.835英寸)的與圖3中所示的工件夾相類似的工件夾。在孔內(nèi)固定了一個(gè)G-10級(jí)玻璃纖維環(huán)氧復(fù)合薄片加工成的厚度為0.46厘米(0.18英寸)、直徑為27-496厘米(10.825英寸)的工件夾。
工件夾內(nèi)銑出了兩個(gè)直徑各為12.637厘米(4.975英寸)的凹坑，兩個(gè)凹坑的間距為13.34厘米(5.25英寸)。各工件夾之間的最短距離為0.699厘米(0.275英寸)。
工件夾可有助于不銹鋼傳動(dòng)環(huán)在拋光中保持平整的形狀。而且，當(dāng)傳動(dòng)環(huán)為超環(huán)面形時(shí)，因其雖然堅(jiān)固但仍可活動(dòng)，所以如放置和處理時(shí)不小心，傳動(dòng)環(huán)可能變形，不再平整地壓在下拋光墊上，這時(shí)，可將傳動(dòng)環(huán)矯直，修正任何不平整的變形。
本發(fā)明還可以其他不背離其精神或主要特征的具體方式實(shí)施，由此，在確定本發(fā)明的范圍時(shí)，應(yīng)該參照后附的各條權(quán)項(xiàng)，而不是前述的說(shuō)明書(shū)。
權(quán)利要求
1.一種用于拋光、研磨或碾磨操作的夾頭組件，由一適合于安裝后旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)環(huán)組成，該傳動(dòng)環(huán)包括將傳動(dòng)環(huán)與傳動(dòng)源作傳動(dòng)連接的傳動(dòng)連接裝置，傳動(dòng)環(huán)上至少有一個(gè)固定一工件夾的孔，孔中固定有一個(gè)工件夾，工件夾適宜于件夾中加工成的凹坑內(nèi)固定一工件，傳動(dòng)環(huán)由比制成的工件夾的較軟的材料硬的材料制作，該相對(duì)較硬的材料可以比較軟的材料更好地承受傳動(dòng)環(huán)傳動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的力，較軟的材料能比較硬的材料更好地保護(hù)和墊襯工件夾內(nèi)夾持的任何工件，防止其碎裂和產(chǎn)生裂縫。
2.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中工件夾以可拆卸的方式固定在孔內(nèi)。
3.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)2的夾頭組件，其中傳動(dòng)環(huán)上有數(shù)個(gè)孔，每個(gè)孔內(nèi)固定有一個(gè)工件夾。
4.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)2的夾頭組件，其中第一個(gè)工件夾具有與孔的形狀對(duì)應(yīng)的圓周的形狀，以及一個(gè)形狀對(duì)應(yīng)于第一個(gè)工件的形狀的凹坑，第一個(gè)工件夾可以被其圓周形狀對(duì)應(yīng)于孔的形狀，其凹坑形狀不同于第一個(gè)工件夾的凹坑形狀以對(duì)應(yīng)于第二個(gè)工件的形狀的第二個(gè)工件夾調(diào)換。
5.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)4的夾頭組件，其中傳動(dòng)環(huán)由金屬制成，工件夾由合成聚合樹(shù)脂制成。
6.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)5的夾頭組件，其中傳動(dòng)環(huán)由包括鋼、不銹鋼和鎳合金在內(nèi)的一組材料中選出的一種金屬制成，而工件夾則包括聚氨基甲酸乙酯、聚脂、聚乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、乙縮醇、尼龍、環(huán)氧物、苯酚、密胺、丙烯酸鹽聚合物的一組材料中選出的一種合成聚合樹(shù)脂制成。
7.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)6的夾頭組件，其中合成聚合樹(shù)脂是用纖維加強(qiáng)的。
8.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中傳動(dòng)環(huán)由金屬制成，工件夾則由合成聚合樹(shù)脂制成。
9.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中傳動(dòng)環(huán)由包括鋼、不銹鋼和鎳合金在內(nèi)的一組材料中選出的一種金屬制成，而工件則由包括聚氨基甲酸乙酯、聚脂、聚乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、乙縮醇、尼龍、環(huán)氧物、苯酚、密胺、丙烯酸鹽聚合物的一組材料中選出的一種合成聚合樹(shù)脂制成。
10.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)9的夾頭組件，其中，合成聚合樹(shù)脂經(jīng)纖維加強(qiáng)。
11.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中，孔與工件夾的外圓周的形狀互為補(bǔ)充，以防止工件夾在孔內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
12.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)11的夾頭組件，其中，傳動(dòng)環(huán)由金屬制成，工件夾由合成聚合樹(shù)脂制成。
13.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)12的夾頭組件，其中，傳動(dòng)環(huán)由包括鋼、不銹鋼和鎳合金在內(nèi)的一組材料中選出的一種金屬制成，而工件則由包括聚氨基甲酸乙酯、聚脂、聚乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、乙縮醇、尼龍、環(huán)氧物、苯酚、密胺、丙烯酸鹽聚合物的一組材料中選出的一種合成聚合樹(shù)脂制成。
14.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)13的夾頭組件，其中，合成聚合樹(shù)脂經(jīng)纖維加強(qiáng)。
15.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中，傳動(dòng)環(huán)連接裝置由沿傳動(dòng)環(huán)外圓周加工成的傳動(dòng)齒組成。
16.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中，工件夾比工件薄，比傳動(dòng)環(huán)厚。
17.一種根據(jù)權(quán)項(xiàng)1的夾頭組件，其中，工件夾比工件和傳動(dòng)環(huán)都薄。
專利摘要
本發(fā)明涉及一種由一用硬材料組成的傳動(dòng)環(huán)的夾頭組件，該傳動(dòng)環(huán)上至少加工了一個(gè)用于固定最好是可拆卸的用比制作傳動(dòng)環(huán)的材料軟的材料制成的工件夾的孔。工件夾上有一個(gè)夾持和固定工件的凹坑。工件夾的較軟的材料保護(hù)和墊襯工件，而用硬材料制成的傳動(dòng)環(huán)則可承受拋光、研磨和碾磨操作中產(chǎn)生的力。
文檔編號(hào)B24B7/17GK85105523SQ85105523
公開(kāi)日1986年7月2日 申請(qǐng)日期1985年7月10日
發(fā)明者威廉·D·巴丁格, 米歇爾·D·卡貝利 申請(qǐng)人:羅德?tīng)柟煞萦邢薰緦?dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan