專利名稱：化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及用于拋光的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體襯底的化學(xué)機(jī)械拋光，特別涉及把拋光液輸送給拋光機(jī)的方法。
化學(xué)機(jī)械拋光常常用于半導(dǎo)體的平面化制作、接觸或通路塞柱的制作，或者內(nèi)嵌互連線的制作。拋光工藝中，可使用有顆粒的拋光漿。該拋光漿可以以機(jī)械的方式和化學(xué)的方式腐蝕襯底或敷層表面。雖然可將拋光漿配制成待用形態(tài)，但多數(shù)拋光漿是被制成濃縮形態(tài)以保持各組份為分隔狀態(tài)的。待用形態(tài)的拋光漿含有大量水。由于水的密度而使用于水的裝運(yùn)價(jià)格很高。
有些拋光漿中，拋光微粒能夠改變稀漿PH值。例如，鎢拋光漿可以是包含氧化鋁微粒和酸的水溶液。氧化鋁微粒具有一個(gè)等電離點(diǎn)，這是在受酸作用期間，使該拋光漿更中性的基礎(chǔ)。鎢拋光漿15日后的拋光速率約為剛混合組份時(shí)的最初拋光速率的四分之一。用包括氧化物微粒的水溶液的拋光漿，由于氧化物微粒具有一種酸性的等電離點(diǎn)，所以都有相同的效果。
為克服這些問題，可在使用之前成批混合或者在拋光機(jī)的壓拋板上混合各種組份來制成拋光漿。就成批混合來說，可以在一個(gè)大容器中混合拋光漿。這些容器約為300—340升(80—90加侖)，不過也可具有幾百升的容積。對(duì)一種用于從半導(dǎo)體襯底上除去氧化物的特定工藝，約200升(55加侖)的拋光漿可拋光大約400個(gè)圓片。這種成批混合仍存在PH值不穩(wěn)定的問題，而不穩(wěn)定的PH值又轉(zhuǎn)換成可變的拋光速率。
剛混合后，含氧化鋁微粒和酸的水溶液的鎢拋光漿的拋光速率約為每分鐘3100埃，混合約一天后變成每分鐘約2000埃，而從開始混合約過了15天后則趨近于每分鐘約900埃。若一次拋光過程一小時(shí)能拋光大約10個(gè)圓片，完成400個(gè)圓片的拋光則約需1天半。如果將拋光漿混合后再對(duì)400個(gè)圓片進(jìn)行拋光，則第1批圓片將以每分鐘約3100埃進(jìn)行拋光，而最后一批圓片將以每分鐘約1600埃的速度進(jìn)行拋光。這樣強(qiáng)烈改變的拋光速率使工藝過程控制很困難。雖然在拋光速率最后穩(wěn)定在約為每分鐘500埃，但對(duì)生產(chǎn)來說，這種速率太低。
成批混合還有其它問題。每次更換溶液時(shí)都必須清洗混合容器。還有，由于各組份的密度而難以提升和輸送漿液的各組份。另外，必須保持容器內(nèi)的漿液以使其維持混合且防止形成凝膠體。加入附加成份時(shí)，必須能與容器內(nèi)已有的拋光液完全混合。即使混合后，該拋光速率也可能有明顯區(qū)別，因?yàn)樵撊萜魅缃癜环N新老拋光漿的混合物。
多條供給管可對(duì)準(zhǔn)直接分送到化學(xué)拋光機(jī)內(nèi)的壓拋板上。這種方法的一個(gè)問題是，各組份可能不宜混合，因而形成其一種組份比另一種組成更濃的局部區(qū)域。
本發(fā)明包括一種拋光半導(dǎo)體襯底用的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，它備有具有一個(gè)出口的第1供給管、具有一個(gè)出口的第2供給管、具有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口的混合部件，以及一個(gè)能接受來自混合部件出口的流出液的槽。該第1和第2供給管的出口都與混合部件的進(jìn)口連接。
本發(fā)明還包括一種拋光半導(dǎo)體襯底的方法，它包括下列各步驟把半導(dǎo)體襯底安放在化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)上；以及用拋光液拋光半導(dǎo)體襯底。該拋光步驟包括一個(gè)把拋光液提供給襯底的步驟，此步驟進(jìn)一步包括下列步驟通過具有一個(gè)出口的第1供給管流出第2流體；通過具有一個(gè)出口的第2供給管流出第2流體；在混合部件內(nèi)混合第1和第2流體以形成拋光液；以及通過混合部件的出口流出該拋光液，把此拋光液提供給半導(dǎo)體襯底。該混合部件有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口，并且第1和第2供給管的出口與混合部件的進(jìn)口相連接。
從附圖和下述的詳細(xì)說明可清楚了解本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)。
借助于實(shí)施例來說明本發(fā)明，但不限于附面內(nèi)容，相同的標(biāo)號(hào)是指相同的構(gòu)件，其中

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的示意圖；圖2為一個(gè)軸向式混合器的剖視圖的說明；圖3為圖2螺旋板透視圖的說明，示出流體如何圍繞該板流動(dòng)。
圖4是對(duì)根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例的軸向式混合器的剖視圖說明；以及圖5為含有用于混合拋光液各組份的漏斗的另一個(gè)實(shí)施例的示意圖。
化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)包括一個(gè)混合器部件，此部件在把拋光液引入拋光機(jī)的拋光部件之前對(duì)拋光液的組份進(jìn)行混合。由于混合發(fā)生在使用時(shí)點(diǎn)附近，所以拋光液的拋光速率相對(duì)地高。還由于在到達(dá)襯底之前才混合成拋光液，襯底附近的拋光液各組份局部濃度應(yīng)相當(dāng)均勻。看了下述各節(jié)之后，就能更好地了解本發(fā)明。
圖1為一部分化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)10的示意圖。該化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)10有三個(gè)部件，即一個(gè)供給部件11、一個(gè)混合部件12和一個(gè)拋光部件13。供給部件11包含兩個(gè)容器111和112。兩個(gè)容器111和112盛裝拋光液組份。例如，容器111可盛裝濃縮的拋光液，容器112則可盛裝一種稀釋劑，諸如水、乙醇、乙二醇等等。同樣，當(dāng)互相存在影響整個(gè)時(shí)間內(nèi)的拋光速度時(shí)，容器111和112可分裝各組份。容器111和112的組份則分別經(jīng)供給管113和114流到導(dǎo)管121。泵115和116分別調(diào)節(jié)流過供給管115和116的液流量。
混合部件12包括用于合并兩個(gè)各有一個(gè)出口的供給管113和114的導(dǎo)管121。導(dǎo)管121的進(jìn)入口就是到混合部件12的進(jìn)入口。從供給管113和114來的組份在導(dǎo)管121中合并后，該組份通過管道122流到一靜態(tài)軸向式混合器123。從容器111和112來的組份在靜態(tài)軸向式混合器123內(nèi)進(jìn)行渦流混合，形成拋光液。該拋光液通常是一種液體或稀漿。然后，此拋光液通過一段管子124，亦即混合部件12的出口流出。拋光液是從混合部件12來的流出液。從各供給管來的各組份最初在混合部件內(nèi)彼此開始接觸。
拋光液流入化學(xué)機(jī)械拋光部件13。該拋光部件13包括一個(gè)槽131、一個(gè)壓拋板132和一層拋光氈墊。為簡(jiǎn)明起見，把壓拋板和拋光氈墊總示為壓拋板132。在該壓拋板132之上是一個(gè)襯底夾盤133和一個(gè)半導(dǎo)體襯底134。在拋光過程中，槽131逐漸地收集拋光液，這時(shí)，可使拋光液再循環(huán)或?qū)⑵渑懦觥?br> 靜壓軸向式混合器123徹底地混合流經(jīng)供給管113和114的各組份，因此，在拋光液達(dá)到拋光部件前的時(shí)間內(nèi)完成混合成為拋光液。所以，由供給管113和114來的組份應(yīng)有渦流穿過軸向式混合器123?；旌掀鲬?yīng)這樣設(shè)計(jì)，按設(shè)定的流量實(shí)現(xiàn)渦流。例如，設(shè)待輸送的拋光液的流量為100—200毫升/分，則應(yīng)把混合器設(shè)計(jì)成即使拋光液流量低到100毫升/分，也應(yīng)實(shí)現(xiàn)渦流。通常，拋光液流量不高于500毫升/分。
圖2為一種靜壓軸向式混合器123的剖視圖說明。該混合器123的管殼1232內(nèi)有螺旋面板1231。在第1板1231處，液流被切開并旋轉(zhuǎn)。在第2板處，第1板每一側(cè)的液流的大約各一半將沿第2板的每一側(cè)再進(jìn)行合并旋轉(zhuǎn)。此種混合器是“靜壓”的，因?yàn)闆]有移動(dòng)部件。
圖3為幾個(gè)板1231的透視圖。圖3示出各板的相互配置關(guān)系，并用箭頭說明液體如何繞板流動(dòng)。在該特定的實(shí)施例中，這樣配置螺旋面板1231，使液體的旋轉(zhuǎn)方向與前一個(gè)板相比是反向的。換句話說，液體在第1板中沿某一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)而在第2板則沿相反方向旋轉(zhuǎn)。如圖2所示的混合器123有六個(gè)螺旋面板。此種軸向式混合器可以有任意有限數(shù)目的板。例如，混合器在另一個(gè)實(shí)施例中全長(zhǎng)可約為35CM(14英寸)，包括27個(gè)板?；旌掀鲬?yīng)含有耐被混合組份侵蝕的材料。如果組份形成一種酸性或堿性液，則軸向式混合器可由不透鋼、蒙乃爾(一種含鎳、銅、鐵及錳的合金)構(gòu)成。
如圖1所示的設(shè)備可用于拋光半導(dǎo)體襯底。在可實(shí)現(xiàn)相當(dāng)恒定的拋光速率之外，各拋光參數(shù)與原有的拋光方法很相近。平均拋光速率要高于用成批混合法典型達(dá)到的速率。這就不必經(jīng)常校準(zhǔn)拋光時(shí)間。另外，當(dāng)把拋光液輸送到拋光部件13時(shí)，拋光液不會(huì)有個(gè)別組份改變濃度的局部區(qū)域。
可使用任意個(gè)數(shù)的容器來供給系統(tǒng)，雖然圖1中僅示出兩個(gè)容器。這些容器可盛裝不同種類的待混合的微粒。容器可設(shè)在拋光機(jī)內(nèi)或外部。同樣，可使用任意數(shù)目的供給管。容器的個(gè)數(shù)可以小于供給管的數(shù)目。例如，第1供給管可與一個(gè)容器相連接，而第2供給管可供給稀釋劑，如去離子水。導(dǎo)管應(yīng)設(shè)計(jì)成可接納實(shí)際所用的供給管的數(shù)目。
通常所用的泵的數(shù)量等于或少于供給管的數(shù)量。在一個(gè)實(shí)施例中，某一供給管可以是來自內(nèi)部去離子水系統(tǒng)的一個(gè)支管。在該支管與導(dǎo)管121之間就不需要有一個(gè)泵?？赡苄枰粋€(gè)流量調(diào)節(jié)器，以便調(diào)節(jié)去離子水系統(tǒng)內(nèi)的壓力變化。可以彼此相關(guān)地或獨(dú)立地控制各個(gè)泵?？捎扇斯ぁ⒂?jì)算機(jī)或(機(jī)械)仿效的關(guān)系進(jìn)行各泵的控制。要是用仿效的關(guān)系來控制各個(gè)泵，那么這些泵的頭部可與同一泵馬達(dá)連接。若是這樣，對(duì)于給定的流量?jī)蓚€(gè)泵的抽速應(yīng)以固定的比率抽運(yùn)?？梢园惭b測(cè)量裝置(未表示)，以便監(jiān)測(cè)流量。流量可以被顯示出來，或者可以是一個(gè)進(jìn)到控制泵的計(jì)算機(jī)中的電信號(hào)。
在替代的實(shí)施例中，可由如圖4所示的折流板42代替螺旋面板。對(duì)本軸向式混合器123而言，折流板42一般在與混合器長(zhǎng)度垂直的方向上延伸從管壁41到對(duì)壁距離約3/4。多個(gè)折流板42間隔放置，使組份沿蜿蜒路徑流過軸向式混合器123。用于液流的蜿蜒流動(dòng)路徑在組份離開混合器123前應(yīng)混合好各組份。在另一個(gè)實(shí)施例中，可用一個(gè)或更多的文氏管或有孔板(即，節(jié)流孔板)來代替折流板。在再一個(gè)實(shí)施例中，如果在導(dǎo)管121內(nèi)可以有效地混合各組份，就不需要軸向式混合器123。
在另外一個(gè)實(shí)施例中，如果混合器123能夠接受多條供給管，就不需要導(dǎo)管121和管道122。
在一個(gè)實(shí)施例中，可使等容積的液體流過每條供給管，以便更有效地在軸向式混合器123內(nèi)混合各組份。如果使用高度濃縮的拋光液，就需要修改供給和混合部件的設(shè)計(jì)。例如，假定濃縮的拋光溶液是打算被稀釋的，則把該濃縮的拋光溶液制成為輸送到拋光部件的拋光液體積的1/4。這種情況下，將具有等體積的濃縮拋光溶液和稀釋劑的兩條供給管經(jīng)過第1導(dǎo)管送出，在第1軸向式混合器中進(jìn)行混合。再把來自第1軸向式混合器的流出物與等體積的稀釋劑在第2導(dǎo)管內(nèi)合并，而后又在第2軸向式混合器進(jìn)行混合。從第2軸向式混合器來的流出物就是拋光液。該濃縮的拋光溶液配制成拋光液體積的1/4。
軸向式混合器的設(shè)計(jì)可以用于提供幾乎任意的組份濃度。每個(gè)混合器可構(gòu)成一級(jí)。前述實(shí)施例為二級(jí)混合器。如要稀釋濃縮的拋光溶液，而它制成為拋光液的1/8體積，則可用三級(jí)混合器。至于1比16稀釋，可用四級(jí)?？刹捎萌魏斡邢藜?jí)數(shù)。還有，在將有效組份按1∶1以外的比率混合時(shí)，也可以用類似的設(shè)計(jì)。所以，稀釋比率不必是2的倍數(shù)。實(shí)際上，可以實(shí)現(xiàn)任意的稀釋比。
上述各實(shí)施例包括一種密封的軸向式混合器。用密封，意味著當(dāng)組份暴露于空氣時(shí)不進(jìn)行混合。該混合器不需要被密封。在一個(gè)實(shí)施例中，可利用漏斗22進(jìn)行混合，如圖5所示。兩條供給管113和114注入漏斗進(jìn)口23，它是漏斗的錐形部分。在各組份通過漏斗22橫向移動(dòng)的過程中，各組份會(huì)環(huán)繞著打旋進(jìn)行混合。一混合就形成拋光液，也就是經(jīng)過出口24流到壓拋板132的流出物。在漏斗22之內(nèi)可采取不同的液流流型。如圖4所示的那樣，是將兩條供給管直接朝下指向漏斗。在再一個(gè)實(shí)施例中，各組份的方向可指向沿漏斗內(nèi)側(cè)的方向，而各組份流向相同或方向相反?？傊?，通過漏斗22的組份流應(yīng)如此，隨之拋光液流出出口24，它應(yīng)完全被混合。
雖未示出，拋光機(jī)還可包括輔助的閥門和管路，用以清潔或中洗導(dǎo)管121和混合器123或者漏斗22?？砂炊〞r(shí)為原則(即，日、周等或按襯底頻數(shù)為原則(即，每50片襯底、每500片襯底、每比襯底、每10比襯底等)進(jìn)行清洗或中滌。
拋光液可以包括只有液體或包括至少一種液體和多種微粒。眾多的化學(xué)機(jī)械拋光中，都用拋光漿。拋光漿是一類至少包括一種液體和多種微粒的拋光液。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)包括較好地控制全拋光過程。在使用時(shí)點(diǎn)附近進(jìn)行混合，使拋光速率比成批混合要相對(duì)地高且隨時(shí)間改變少。還有，由于在到達(dá)襯底前混合拋光液，本發(fā)明的這些實(shí)施例的拋光特點(diǎn)是整個(gè)襯底都相當(dāng)均勻。換言之，拋光液直到襯底在拋光氈墊上移動(dòng)時(shí)才開始混合。對(duì)本發(fā)明來說，拋光參數(shù)可從逐片和逐批地確定為一致的。這種較好控制使得拋光操作能更加自動(dòng)化而不不必時(shí)不時(shí)地抽檢襯底(與生產(chǎn)襯底相反)。
由于在使用時(shí)點(diǎn)附近才開始混合拋光液，該拋光液必然具有比用成比混合系統(tǒng)可能達(dá)到的高的拋光速率。因此，在一般時(shí)間內(nèi)可比用成批混合液時(shí)拋光出更多的襯底。還有，當(dāng)將新的組份加入容器內(nèi)已存的混合物中時(shí)，本發(fā)明不會(huì)有不同拋光速度的問題出現(xiàn)。本發(fā)明應(yīng)用流體動(dòng)力學(xué)隨著各組份流入拋光機(jī)而將其混合。
本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于，與成批混合系統(tǒng)相比較少發(fā)生浪費(fèi)。當(dāng)沖滌或清洗混合部件12時(shí)，只有在混合部件12內(nèi)的那部分組份被扔掉不用。通常，其體積小于1升，可能在50—250毫升的范圍內(nèi)。對(duì)成批混合系統(tǒng)來說，典型地至少?gòu)U棄掉4升拋光液，一般多于10升。成批混合系統(tǒng)用的容器幾乎總是放在拋光機(jī)之外。除減少浪費(fèi)外，實(shí)際上還消除了提升和輸送各組份及保持該容器的需要。
再一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是可采用密封的混合器。不需要排煙罩。另外，要是拋光液的任何組份會(huì)與空氣作用或反應(yīng)的話，就要把密封的混合器推遲到直到拋光液接近壓拋板132時(shí)才暴露出來。
如前面已指出的那樣，各組份不是在拋光氈墊上混合的。如果各組份在拋光氈墊上混合，則有些混合一般是通過拋光襯底本身而發(fā)生的。當(dāng)采用本發(fā)明時(shí)，實(shí)際上消除了每個(gè)襯底有異常的局部拋光速度的可能。
由于可用任何數(shù)量的組份構(gòu)成拋光液，各組份可以這樣儲(chǔ)存，以使它們?cè)诨旌锨熬哂袑?shí)際上無限的儲(chǔ)存期。更具體地說，在到達(dá)軸向式混合器之前，把相互可能作用或反應(yīng)的組份保持在分開的供給管內(nèi)。通過以這種方式隔開各組份，就能夠長(zhǎng)期貯存各組份，而無需擔(dān)心在進(jìn)入供給管前各組份就已混合在一起的拋光液而減小拋光速率。
在前面的說明中，已經(jīng)參照特定的實(shí)施例描述了本發(fā)明。不過很明顯，對(duì)此還可以作出各種修改和改型而不會(huì)脫離如所附權(quán)利要求書提出的本發(fā)明的較廣泛的構(gòu)思或范圍。所以，說明書和附圖應(yīng)看作是一種闡述而不是一種對(duì)本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
1.一種用于拋光半導(dǎo)體襯底(134)的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)，其特征在于具有一個(gè)出口的第1供給管(113)；具有一個(gè)出口的第2供給管(114)；具有一個(gè)軸向式混合器(123)、進(jìn)口及一個(gè)出口的混合部件(12)，其中該軸向式混合器(123)具有一折流板(42)、一文氏管、一有一開孔的板或螺旋面板(1231)；該第1和第2供給管(113和114)的出口與混合部件的進(jìn)口連接；以及一個(gè)能接受來自混合部件(12)出口的流出物的槽(131)。
2.權(quán)利要求1的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)，其中，該混合部件(12)的進(jìn)一步特征在于有一個(gè)導(dǎo)管(121)。
3.權(quán)利要求1的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)，其特征在于該第1供給管(113)能夠輸送一種含有拋光微粒的第1流體；以及第2供給管(114)能夠輸送一種第2流體(112)，其中第2流體(112)包括一種酸或堿的組份。
4.一種用于拋光半導(dǎo)體襯底(134)的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)，其特征在于具有一個(gè)出口的第1供給管(113)；具有一個(gè)出口的第2供給管(114)；具有一個(gè)漏斗(22)、一進(jìn)口及一出口的混合部件(12)，其中，該第1和第2供給管(113和114)的出口與該混合部件(12)的進(jìn)口連接；以及一個(gè)能夠接受來自混合部件(12)出口的流出物的槽(131)。
5.權(quán)利要求4的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)，其特征在于該第1供給管(113)能夠輸送一種包括拋光微粒的第1流體(111)；以及該第2供給管(114)能夠輸送一種第2流體，其中，第2流體(112)包括一種酸性或堿性的組份。
6.一種用于拋光半導(dǎo)體襯底的方法，其特征在于下列各步驟將半導(dǎo)體襯底(134)安放在一化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)上；以及用一種拋光液拋光該半導(dǎo)體襯底(134)，其中拋光步驟包括一個(gè)將拋光液提供給該半導(dǎo)體襯底(134)的步驟，該步驟又包括下列步驟使第1流體(111)流過具有一個(gè)出口的第1供給管(113)；使第2流體(112)流過具有一個(gè)出口的第2供給管(114)；使第1和第2流體在一個(gè)混合部件(12)內(nèi)混合，以形成拋光液，其中該混合部件(12)具有一個(gè)軸向式混合器(123)、一個(gè)進(jìn)口及一個(gè)出口；該軸向式混合器(123)具有一折流板(42)、一文氏管、一有孔板或一螺旋面板(1231)；以及該第1和第2供給管(113和114)的出口與該混合部件(12)的出口連接；以及使該拋光液經(jīng)過該混合部件(12)的出口流出，把該拋光液提供給該半導(dǎo)體襯底(134)。
7.權(quán)利要求6的方法，其特征在于，該混合部件(12)進(jìn)一步包括一個(gè)導(dǎo)管(121)。
8.如權(quán)利要求6的方法，其特征在于，實(shí)施使第1流體(111)流動(dòng)的步驟，以使該第1流體(111)包括拋光微粒；實(shí)施使第2流體(112)流動(dòng)的步驟，以使該第2流體(112)包括一種組份；以及使拋光微粒和組份在混合步驟中開始接觸。
9.一種用于拋光半導(dǎo)體襯底的方法，其特征在于下列步驟將半導(dǎo)體襯底(134)安放在一臺(tái)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)(10)上；以及用一種拋光液拋光該半導(dǎo)體襯底(134)，其中拋光步驟包括一個(gè)將拋光液提供給該半導(dǎo)體襯底(134)的步驟，該步驟又包括下列步驟使第1流體(111)流過具有一個(gè)出口的第1供給管(113)；使第2流體(112)流過具有一個(gè)出口的第2供給管(114)；使該第1和第2流體在一混合部件(12)內(nèi)混合，以形成該拋光液，其中該混合部件(12)具有一個(gè)漏斗(22)；該混合部件(12)具有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口；及該第1和第2供給管(113和114)的出口與該混合部件(12)的出口連接；以及使該拋光液流過該混合部件(12)的出口，以便把該拋光液提供給該半導(dǎo)體襯底(134)。
10.權(quán)利要求9的方法，其特征在于實(shí)行使該第1流體(111)流出的步驟，以使該第1流體(111)包括拋光微粒；實(shí)行使該第2流體(112)流出的步驟，以使該第2流體(112)包括一種組份；以及使該拋光微粒和組份在混合步驟中開始接觸。
全文摘要
一種化學(xué)機(jī)械拋光10機(jī)包括一個(gè)混合器部件12，該混合器部件在將拋光液引入拋光機(jī)10的一個(gè)拋光部件13之前，混合拋光液的各組分。在一個(gè)實(shí)施例中，從供給管113和114來的各組分在一導(dǎo)管121中合并，并流過一個(gè)靜壓軸向式混合器123，使各組分混合形成拋光液。由于混合發(fā)生在使用時(shí)點(diǎn)附近，所以該拋光液的拋光速率相對(duì)地高。由于在到達(dá)襯底134前才混合拋光液，所以襯底134附近的拋光液組分的局部濃度很均勻。
文檔編號(hào)B24B37/04GK1127426SQ9511870
公開日1996年7月24日 申請(qǐng)日期1995年10月20日 優(yōu)先權(quán)日1994年10月24日
發(fā)明者托馬斯·S·科巴亞施 申請(qǐng)人:摩托羅拉公司