專利名稱：電路板處理用的方法和設(shè)備的制作方法
背景技術(shù)：
1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種化學(xué)處理薄型材料的方法和設(shè)備。
2.先有技術(shù)描述在濕法處理的領(lǐng)域中，特別是印刷電路板和工業(yè)部件的處理領(lǐng)域中，電路板經(jīng)常接受波焊、腐蝕、清洗等操作，隨后進(jìn)行各種其它處理，通常至少包括漂洗和干燥。與此相似，在例如電鍍等其它形式的處理中，被電鍍的制品或物件同樣隨后進(jìn)行例如漂洗、干燥等處理步驟。
在電子工業(yè)中，該技術(shù)已經(jīng)逐漸開發(fā)出薄到這種程度的印刷電路板，即硬的或半硬的印刷板已經(jīng)越來越薄而更接近或變成一個(gè)撓性薄膜。這種可能更準(zhǔn)確而言類似于薄膜的“板”的處理在這些制品的操縱方面引起新的問題，因?yàn)楸⌒筒牧弦子谄鸢櫤涂ㄗ√幚碓O(shè)備或加工設(shè)備。尤其是在電路板材料包括薄膜而液體處理易于聚集在電路板上且在電路板沿設(shè)備移動期間液體聚集向下重壓電路板的情況下，更易于產(chǎn)生上述情況。在某些情況下，在設(shè)備上已設(shè)置附加的支承件，以便當(dāng)薄膜行進(jìn)通過加工面積或處理中心時(shí)將薄膜保持就位。美國專利4,781,205中示出解決該問題的一次嘗試，其全部公開內(nèi)容在此引入作為參考，其中沿輸送裝置的一些交錯(cuò)位置固定設(shè)置了若干帶。此外，美國專利5,176,158利用導(dǎo)向線支承薄型電路板，當(dāng)電路板或制品被輸送時(shí)，導(dǎo)向線前后移動，該專利的全部公開內(nèi)容在此引入作為參考。
但是，在某些情況下，附加構(gòu)件的存在遮擋了待處理電路板的處理加工面積，而且此種附加構(gòu)件可能在例如可除去多余處理化學(xué)品的用水漂洗等清洗操作中妨礙除去處理加工的殘?jiān)?br> 先有技術(shù)中已知的其它輸送方法包括使板與一組細(xì)圓柱形輪子接觸。在此種先有技術(shù)的應(yīng)用中，每個(gè)輪子常常包括一個(gè)圓周表面，該輪子圓周表面在穿越板表面的單獨(dú)線性縱向路徑上與一塊板連續(xù)接觸。這使得流體處理可以建立在相鄰輪子之間的板面積的側(cè)面上，并且可出現(xiàn)板所示出的處理量上的差異，這導(dǎo)致有差異處理的縱向帶。同時(shí)，因?yàn)檩^薄的板(薄膜)是通過此種細(xì)輪子輸送的，所以板能夠在輪子之間的區(qū)域中彎曲，由此在輪子之間的板上形成的槽中聚集了板上處理液體的小坑。板上溶液的聚集是一種復(fù)合效應(yīng)，因?yàn)楫?dāng)更多的溶液聚集在板上時(shí)，沒有支承的板逐漸地更易于起皺。這種起皺為所得到的更多處理液體提供更大的貯槽，由此將薄膜或板向下重壓。
已經(jīng)嘗試過提供從輪子伸出的指形物或觸須，以便額外地支承制品。但是，這些指形物必須相互散開，以便能夠進(jìn)行處理。這能夠使處理液聚集在板上。此外，固定指形物的輪子仍然形成差異處理的線性路徑。
本發(fā)明本發(fā)明的目的在于提供一種處理例如薄膜等薄型電路板的方法和設(shè)備。本發(fā)明的方法包括使電路板移動通過一加工設(shè)備并用輸送裝置支承電路板，同時(shí)適應(yīng)例如易于聚集在板上的腐蝕液或漂洗液等處理化學(xué)品的重量。本發(fā)明通過利用輸送機(jī)接觸電路板來支承這些電路板。輸送機(jī)設(shè)有多個(gè)間隔開的轉(zhuǎn)動部件，它們支承這些板并且被轉(zhuǎn)動式地驅(qū)動，從而以串聯(lián)方式移動這些板通過該設(shè)備。此外，輸送機(jī)轉(zhuǎn)動部件的具體構(gòu)形有利于對電路板進(jìn)行化學(xué)處理。
在一種優(yōu)選裝置中，待處理制品被傳送到或安置在設(shè)備上以備初始處理或進(jìn)一步處理。制品沿基本上水平的路徑承載在輸送機(jī)上。處理傳遞裝置如噴頭、干燥器等設(shè)置在輸送機(jī)附近。該裝置可以包括單獨(dú)一個(gè)輸送機(jī)，或者可以任選地具有一個(gè)安裝在制品上方的輔助輸送機(jī)，以便將制品“夾”在兩個(gè)輸送機(jī)之間。輸送機(jī)可以通過美國專利4,015,706中公開的桿和齒輪得以驅(qū)動，該專利的全部公開內(nèi)容在此引入作為參考。
本發(fā)明可以與美國專利4,999,079和4,046,248和4,017,982和3,935,041中公開的設(shè)備聯(lián)用或結(jié)合使用，這些專利的全部公開內(nèi)容在此引入作為參考。
發(fā)明概述本發(fā)明旨在提供一種用于處理印刷電路板和薄膜的方法和設(shè)備，其中提供一種具有多個(gè)新穎轉(zhuǎn)動部件的輸送機(jī)，這些轉(zhuǎn)動部件具有一個(gè)伸出的輪緣構(gòu)形，以用于接觸和移動制品通過設(shè)備。轉(zhuǎn)動部件的伸出的輪緣有利于支承由此輸送的制品，并有利于使用傳送到制品上的腐蝕液或其它化學(xué)處理流體來基本上均勻地處理制品。該輪緣構(gòu)形可以通過輪緣形成一條與制品表面相關(guān)的非線性路徑。
本發(fā)明的主要目的是提供一種薄型制品用的獨(dú)特的處理工藝，其中對薄型制品的支承和移動是利用輸送機(jī)通過與制品的特殊接觸來達(dá)到的。
本發(fā)明的另一目的是利用輸送機(jī)接觸制品來支承制品并使制品移動通過一處理設(shè)備，該輸送機(jī)在接觸的帶區(qū)或區(qū)域內(nèi)沿制品的表面在不同位置之間形成交替的接觸。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是沿一條行進(jìn)路徑移動制品，以便通過沿制品表面沿非線性的接觸區(qū)域接觸制品而利用化學(xué)處理步驟進(jìn)行處理。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種輸送機(jī)，該輸送機(jī)包括多個(gè)轉(zhuǎn)動部件，每個(gè)轉(zhuǎn)動部件沿一條行進(jìn)路徑移動制品，并沿預(yù)定的行進(jìn)路徑基本上沿橫向且基本上沿縱向支承所述制品。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是完成上述目的中的任何一個(gè)目的，其中化學(xué)處理包括當(dāng)材料被移動通過設(shè)備時(shí)將處理流體噴射給材料。
本發(fā)明的一個(gè)附加目的是提供一個(gè)具有多個(gè)轉(zhuǎn)動部件的輸送機(jī)，該輸送機(jī)包括一個(gè)基本上呈正弦形的輪緣，制品支承在輪緣上并移動通過設(shè)備。
閱讀下列附圖簡述、優(yōu)選實(shí)施例詳述和附屬的權(quán)利要求書，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易地理解本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)。
附圖簡述

圖1是表示本發(fā)明輸送裝置的一種設(shè)備的頂視圖，截面是沿設(shè)備中制品行進(jìn)的水平面并基本上沿圖2中線1-1截取的。
圖2是部分示意的縱向截面圖，基本上沿圖1中的線2-2截取，表示一個(gè)由此輸送的制品。
圖3是輸送機(jī)的轉(zhuǎn)動部件的側(cè)視圖。
圖4是轉(zhuǎn)動部件的截面圖，是沿圖5中線4-4截取的。
圖5是圖3中所示的轉(zhuǎn)動部件的前視圖。
圖6是沿圖2中線6-6截取的部分截面圖，表示一個(gè)支承在下轉(zhuǎn)動部件上的制品。
優(yōu)選實(shí)施例詳述現(xiàn)在詳細(xì)參考附圖，首先參考圖1，該圖示出一個(gè)總體用標(biāo)號10表示的設(shè)備，該設(shè)備包括輸送裝置11。該設(shè)備10例如可以是一個(gè)更大的設(shè)備組件(未示出)的一部分，該設(shè)備組件包括一系列附加的處理、傳送或操作臺中的一個(gè)或多個(gè)。支承輸送裝置11的框架12有一對對置的縱向壁部分13、14，它們由對置的橫向壁部分15、16連接。
輸送裝置11例如包括一系列可以轉(zhuǎn)動式安裝的橫向桿17，該桿在縱向框架壁部分13和14之間延伸。雖然沒有示出，但可以理解，可以利用允許桿17轉(zhuǎn)動的任何合適的安裝裝置來保持每個(gè)桿17的一端定位在框架壁部分13上。在圖示的實(shí)施例中，每個(gè)桿17在其對置的端部由一軸承件18支承，該軸承件18設(shè)置在框架壁部分14內(nèi)。桿17延伸了整個(gè)框架壁14，每個(gè)桿最終連接在一錐齒輪20上。錐齒輪20固定地安裝在桿17上，并具有一個(gè)帶齒22的倒角周面部分21。桿17與任何合適的傳動裝置(如傳動裝置23)一致轉(zhuǎn)動，以便輸送制品通過設(shè)備10。傳動裝置23例如可以包括一個(gè)傳動軸25，如圖示沿框架壁14由安裝部件26支承，每個(gè)安裝部件26可以包含一軸套27，軸25穿過該軸套。錐齒輪28沿軸25間隔設(shè)置并與承載在桿17上的齒輪20成直角。軸齒輪28與桿齒輪20嚙合，當(dāng)軸25通過任何合適的驅(qū)動裝置如馬達(dá)(未示出)而轉(zhuǎn)動時(shí)(通常沿圖1中箭頭“C”的方向)，軸齒輪28使桿轉(zhuǎn)動?；蛘?，桿17可以通過其它任何方式驅(qū)動。
輸送裝置11包括多個(gè)轉(zhuǎn)動部件31，它們被承載在輸送桿17上并隨桿17一起轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件31最好沿桿17的長度互相間隔開設(shè)置，并采用任何合適的固定裝置(未示出)固定在桿17上。一個(gè)桿17的轉(zhuǎn)動部件31如圖所示從一個(gè)桿到另一個(gè)桿互相成一直線地設(shè)置，或者它們可以相對于相鄰桿17的轉(zhuǎn)動部件31成交錯(cuò)關(guān)系(未示出)。
參照圖2，轉(zhuǎn)動部件31受到驅(qū)動而沿箭頭“b”的方向轉(zhuǎn)動并接觸一個(gè)制品如電路板24的表面。轉(zhuǎn)動部件31的傳動使電路板24沿行進(jìn)路徑移動通過設(shè)備10。當(dāng)電路板24移動通過設(shè)備10時(shí)，它由此經(jīng)受一個(gè)化學(xué)處理步驟。
圖3-6詳細(xì)示出轉(zhuǎn)動部件31。轉(zhuǎn)動部件31具有一個(gè)安裝裝置、如輪轂32，如圖6所示，該輪轂有利于將轉(zhuǎn)動部件31固定在桿17上。從輪轂32上伸出多個(gè)輪緣支承件33。支承件33從輪轂32沿徑向向外沿垂直于輪轂軸線的方向伸出?？梢岳斫?，雖然沒有示出，但支承件33可以從輪轂32沿其它方向向外伸出，例如相對于所述輪轂軸線成角度的方向，或者沿任何方向的組合，其中某些支承部件垂直伸出而其它部件沿一定角度伸出。
轉(zhuǎn)動部件31還設(shè)有一個(gè)制品接觸部分，如輪緣34。支承部件33互相隔開以支承輪緣34。如圖2和6中所示，連接于支承部件33的輪緣34接觸一制品24，并且當(dāng)承載轉(zhuǎn)動部件31的桿17被轉(zhuǎn)動式地驅(qū)動時(shí)，輪緣34使制品24移動通過設(shè)備10。當(dāng)由于聚集的處理流體而變得向下重壓的制品24受到處理時(shí)，輪緣34可以支承該制品24。轉(zhuǎn)動部件31的輪緣34在繼續(xù)支承制品24的同時(shí)，使制品24移動通過設(shè)備10。
參照圖3和4，輪緣34具有正弦構(gòu)形。輪緣沿側(cè)向延伸在支承部件33的對置兩側(cè)上并支承制品24通過制品的區(qū)域“Z”(圖6和7)。當(dāng)制品24由于轉(zhuǎn)動部件31而沿行進(jìn)路徑移動通過處理設(shè)備10時(shí)，雖然該制品連續(xù)地支承在轉(zhuǎn)動部件31的輪緣34上，但制品24并不沿整個(gè)接觸區(qū)域“Z”完全接觸，而是僅僅在區(qū)域“Z”內(nèi)的位置上接觸。因此輪緣34可以與制品24連續(xù)接觸，但最好如圖7中所示地行進(jìn)通過一個(gè)橫跨電路板表面24a的接觸區(qū)36的非線性路徑。由此對行進(jìn)在輸送機(jī)11上的制品24的支承增大，而并沒有損害制品表面24a對傳送于其上的處理的適用性。這能夠增大制品24的側(cè)向支承以便平衡來自液體處理聚集而施加在制品24上的大作用力，而同時(shí)可以將處理作用傳遞到制品表面24a上。輪緣34的總長度最好顯著地大于圖5中所示的圍繞支承部件33測得的周邊的理論長度。這增大了支承制品24的輸送裝置11的表面積，同時(shí)也增大了接觸區(qū)域“Z”，在該接觸區(qū)域“Z”的上面通過制品表面24a在該區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)和面積上接觸而保持住對制品24的支承。
參照圖7，制品24、如電路板或薄膜的表面24a的底視圖用虛線表示輪緣34相對于制品24之表面24a的優(yōu)選接觸路徑35。由虛線矩形區(qū)36限定的縱形區(qū)域“Z”表示轉(zhuǎn)動部件31的輪緣34可以與電路板表面24a接觸的理論區(qū)域?？梢宰⒁獾剑ㄟ^使電路板24與正弦形輪緣34接觸，制品24的側(cè)向支承得以加強(qiáng)，同時(shí)在區(qū)域“Z”內(nèi)暴露制品表面24a以進(jìn)行處理。
輪緣34的構(gòu)形提供接觸區(qū)“Z”的延伸區(qū)域，在該區(qū)域上可以對制品24進(jìn)行處理。支承部件33的構(gòu)形也有利于傳遞處理而同時(shí)形成對由于處理聚集過程而施加在制品24上的潛在力提供支承。
雖然沒有示出除了本文所示正弦形輪緣34之外的其它構(gòu)形，但也可利用其它輪緣構(gòu)形。此類構(gòu)形例如可以包括其它大體上的波浪形、大體上的Z形或W形或它們的組合、正弦波形和由一系列拱形部分組成的構(gòu)形。一個(gè)合適的輪緣構(gòu)形可以在轉(zhuǎn)動部件31的每圈轉(zhuǎn)動中在被輸送的制品24上限定一個(gè)集中接觸路徑，該接觸路徑大于轉(zhuǎn)動部件31的周邊。
該處理傳遞步驟最好通過對制品24進(jìn)行化學(xué)處理來獲得(圖2)，如腐蝕劑、水漂洗、顯影劑或其它化學(xué)品的處理。通過輸送裝置11在設(shè)備10的上游端獲得一種產(chǎn)品24，例如電路板、薄膜或其它待處理材料。例如可以當(dāng)制品24沿輸送裝置11移動時(shí)對制品24進(jìn)行流體處理。圖2中示出連接在一個(gè)共同的管子或供給管道38上的多個(gè)噴嘴37。例如噴嘴37可以將一種化學(xué)腐蝕液39傳遞給通過設(shè)備10的制品24。
圖2中的制品24被輸送通過設(shè)備10而同時(shí)利用輸送裝置11的轉(zhuǎn)動部件31支承。制品24的前沿40由制品24遇到的下一個(gè)轉(zhuǎn)動部件31接收。轉(zhuǎn)動部件31沿輸送機(jī)11之輸送桿17的設(shè)置和數(shù)目可以根據(jù)待處理制品24的厚度、寬度和長度來設(shè)置。
雖然上述說明書和附圖參照并公開了輸送桿17和轉(zhuǎn)動部件31的上系列和下系列，但應(yīng)當(dāng)理解，取決于待處理制品的性質(zhì)，上系列本身或者下系列本身可適于移動制品通過設(shè)備10。同樣，雖然圖示的噴嘴37位于行進(jìn)通過設(shè)備10的制品24的上方和下方，但可以理解，也可以使用單獨(dú)一組噴嘴(例如上方或下方)，這是與在此公開和描述的本發(fā)明一致的。
制品和包括轉(zhuǎn)動部件的輸送裝置的取向雖然是相對于行進(jìn)的水平面描述的，但在包括垂直安裝轉(zhuǎn)動部件的各種替代操作中同樣可以成功，這與在此描述的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)一致。此外，雖然示出的轉(zhuǎn)動部件在流體處理操作中輸送制品，但可以理解，可以在制備印刷電路板所必需的包括干燥等的其它處理步驟中使用轉(zhuǎn)動部件。
還可以理解，構(gòu)造的細(xì)節(jié)及其使用和操作可以進(jìn)行各種變化，而所有這一切均在附屬權(quán)利要求書所述的本發(fā)明的范圍和精神之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于輸送和處理制品的方法，其中以腐蝕或其它化學(xué)處理操作處理制品，以便由此有利于支承所述被輸送的制品，所述方法包括下列步驟a)在設(shè)備的處理區(qū)域內(nèi)設(shè)置一個(gè)輸送裝置，以用于限定一條行進(jìn)通過所述設(shè)備的大體上縱向的路徑；b)在所述輸送裝置上設(shè)置多個(gè)轉(zhuǎn)動桿和多個(gè)承載在所述桿上的間隔開的特殊構(gòu)形的轉(zhuǎn)動部件；每個(gè)所述轉(zhuǎn)動部件有一個(gè)安裝在桿上并與此桿成驅(qū)動關(guān)系的輪轂、一個(gè)周邊輪緣以及在所述輪轂和輪緣之間用以支承該輪緣的支承裝置；c)可以轉(zhuǎn)動地驅(qū)動所述桿，以使這些轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動；d)使所述制品與所述轉(zhuǎn)動部件接觸，使得在該轉(zhuǎn)動部件的每圈轉(zhuǎn)動中，轉(zhuǎn)動部件與制品的集中接觸路徑大于轉(zhuǎn)動部件的周邊；以及e)在處理區(qū)域中利用處理傳遞裝置傳遞化學(xué)處理類型的處理過程。
2.權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，它包括在每個(gè)所述轉(zhuǎn)動部件上設(shè)置一個(gè)特殊構(gòu)形輪緣的步驟；所述制品與轉(zhuǎn)動部件接觸的步驟包括使所述制品與設(shè)置在每個(gè)轉(zhuǎn)動部件上的特殊構(gòu)形的輪緣接觸。
3.權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述制品與轉(zhuǎn)動部件的接觸包括移動所述制品通過所述處理區(qū)。
4.權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述制品與轉(zhuǎn)動部件的接觸包括當(dāng)所述制品移動通過所述處理區(qū)時(shí)支承所述制品。
5.權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述制品與一轉(zhuǎn)動部件特殊構(gòu)形的輪緣接觸的步驟包括使制品與具有波浪形構(gòu)形的輪緣相接觸，該輪緣波浪形的總長度大于該輪緣的周邊。
6.權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述制品與一轉(zhuǎn)動部件特殊構(gòu)形的輪緣相接觸的步驟還包括使制品與具有連續(xù)正弦形構(gòu)形的輪緣相接觸。
7.權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在每個(gè)所述轉(zhuǎn)動部件上設(shè)置一特殊構(gòu)形輪緣的步驟還包括在所述輪緣上設(shè)置多個(gè)拱形部分；使所述制品與一轉(zhuǎn)動部件的特殊構(gòu)形輪緣相接觸的步驟包括使這些制品與所述多個(gè)拱形部分相接觸。
8.一種用于輸送制品的設(shè)備，該制品擬以腐蝕、漂洗或其它化學(xué)處理操作進(jìn)行處理，所述設(shè)備包括a)一個(gè)處理區(qū)；b)處理區(qū)中的輸送裝置，用于限定一條通過所述設(shè)備的基本上沿縱向的行進(jìn)路徑；c)處理區(qū)中的處理傳遞裝置，用于將化學(xué)操作型的處理傳遞給所述制品；d)其中所述輸送裝置包括傳送裝置，所述傳送裝置包括多根轉(zhuǎn)動桿，每根桿有多個(gè)間隔開的轉(zhuǎn)動部件；e)所述轉(zhuǎn)動部件各有一個(gè)安裝在桿上并與該桿成驅(qū)動關(guān)系的輪轂、一個(gè)周邊輪緣、以及在輪轂和輪緣之間支承該輪緣的支承裝置；和f)每個(gè)轉(zhuǎn)動部件的輪緣被構(gòu)形成在一個(gè)被傳送的制品上在轉(zhuǎn)動部件的每圈轉(zhuǎn)動中形成一個(gè)集中接觸路徑，該接觸路徑大于轉(zhuǎn)動部件的周邊。
9.權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，每個(gè)所述轉(zhuǎn)動部件的輪緣具有總長度大于該輪緣周邊的波浪形構(gòu)形。
10.權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動部件的輪緣設(shè)有連續(xù)的正弦狀構(gòu)形。
11.權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動部件的輪緣包括多個(gè)拱形部分，以用于在制品表面上的不同位置處接觸所述制品。
12.一種用于輸送制品的設(shè)備，該制品擬以與制備印刷電路板相關(guān)的腐蝕、漂洗或其它化學(xué)處理操作來進(jìn)行處理，所述設(shè)備包括a)一個(gè)處理區(qū)；b)處理區(qū)中的輸送裝置，以用于限定一條通過所述設(shè)備的基本上沿縱向的行進(jìn)路徑；c)處理區(qū)中的處理傳遞裝置，以用于將化學(xué)操作步驟的處理傳遞給所述制品；d)其中所述輸送裝置包括傳送裝置，所述傳送裝置包括多根轉(zhuǎn)動桿，每根桿有多個(gè)間隔開的轉(zhuǎn)動部件；e)所述轉(zhuǎn)動部件各有一個(gè)安裝在桿上并與該桿成驅(qū)動關(guān)系的輪轂、一個(gè)周邊輪緣、以及在輪轂和輪緣之間支承該輪緣的支承裝置；f)每個(gè)轉(zhuǎn)動部件的輪緣被構(gòu)形成在一個(gè)被傳送的制品上在轉(zhuǎn)動部件的每圈轉(zhuǎn)動中形成一個(gè)集中接觸路徑，該接觸路徑大于轉(zhuǎn)動部件的周邊；g)其中所述轉(zhuǎn)動部件的輪緣設(shè)有連續(xù)的正弦狀構(gòu)形。
全文摘要
一種用以輸送薄型材料、如印刷電路板(24)的方法和設(shè)備,其中輸送這些電路板通過一采用腐蝕、漂洗或其它化學(xué)操作步驟來處理該電路板的設(shè)備,它包括一個(gè)具有多個(gè)轉(zhuǎn)動部件(31)的輸送機(jī),轉(zhuǎn)動部件(31)具有特殊構(gòu)形的輪緣(34),以用于接觸這些薄層材料并使它們通過該設(shè)備,并在轉(zhuǎn)動部件的每圈轉(zhuǎn)動中有一個(gè)比轉(zhuǎn)動部件的周邊更長的接觸路徑。
文檔編號C23F1/00GK1185761SQ96194261
公開日1998年6月24日 申請日期1996年4月2日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月10日
發(fā)明者S·B·史密斯, G·A·布萊克斯利 申請人:阿托技術(shù)美國公司