專利名稱：線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化。
由《電鍍技術(shù)》(Galvanotechnik)，第10冊(cè)、第81卷(1990)的單行本“LAD-一種新的激光支持的用于細(xì)導(dǎo)線金屬化的涂層方法”已知，為了生產(chǎn)明顯低于100μm的細(xì)導(dǎo)線結(jié)構(gòu)，需要在非導(dǎo)電材料上涂覆全面晶型乙酸鈀溶液的薄膜。隨后通過用波長為248nm的激元激光器照射要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域而釋放金屬原子以用作隨后無電流金屬化的晶核。但在金屬化之前需要進(jìn)行一沖洗工藝以除去覆涂于載體材料上的含金屬薄膜的未分解部分。對(duì)于在隨后的無電流金屬化時(shí)避免瘋長問題(Wildwuchsproblem)來說，該沖洗工藝的質(zhì)量是至關(guān)重要的。此外還表明，通過所描述的方法不能得到沉積的金屬線路的足夠粘附強(qiáng)度。
DE4210400C1公開了由涂覆到基質(zhì)上的重金屬鹽混合物的薄膜借助于激光局部加熱來直接沉積銅的方法。該方法在熱活化化學(xué)方面有如下缺點(diǎn)，即所得到的線路結(jié)構(gòu)的細(xì)度有限。此外，所涂覆的膜是導(dǎo)電膜，因此在金屬化之前需要耗費(fèi)和很成問題的沖洗工藝。該文獻(xiàn)既未公開也未詳細(xì)描述使用非導(dǎo)電的重金屬絡(luò)合物和用紫外激光照射來冷破壞重金屬絡(luò)合物以析出重金屬晶核。
US 4574095公開了一種方法，其中將一基質(zhì)在真空室中經(jīng)受鈀-絡(luò)合物的蒸汽并通過一窗口用249nm激元激光器照射以結(jié)構(gòu)化。由于在真空室中由蒸汽相進(jìn)行鈀沉積，這一方法很昂貴，以致于在常規(guī)電路板和線路載體(Schaltungstraeger)領(lǐng)域的使用是不經(jīng)濟(jì)的。
本發(fā)明的任務(wù)在于，提供一種簡單和安全的生產(chǎn)(印刷電路板上的)線路結(jié)構(gòu)的方法，它可靠地保障10μm以上的線路寬度和間隔的線路的特細(xì)結(jié)構(gòu)化。
這一任務(wù)由權(quán)利要求1-13的特征得以完成，由從屬權(quán)利要求可得知本發(fā)明的其它實(shí)施方案。
在本發(fā)明范圍內(nèi)規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和芳族單-和二元羧酸的羧酰胺和其N-單取代衍生物如N，N’-二苯基草酸二酰胺的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
此外還規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有環(huán)狀酰胺如巴比妥酸的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
還有可能的是，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和優(yōu)選芳族醛如苯甲醛和水楊醛或鄰羥基芳基酮的腙(Ⅰ)和雙腙(Ⅱ)的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
此外還有可能的是，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和芳族單-和二元羧酸的酰肼及其N-?；苌锶?Ⅲ)和(Ⅳ)的化學(xué)結(jié)構(gòu)
在本發(fā)明范圍內(nèi)還可規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有二酰化肼如(Ⅴ)和(Ⅵ)的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
還有可能的是，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有苯二胺如N，N’-二-2-萘基-對(duì)苯二胺(Ⅶ)的化學(xué)結(jié)構(gòu) 已表明還有可能的是，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有雜環(huán)化合物如蜜胺衍生物、苯并三唑、8-羥喹啉、腙和肼基三嗪的?；苌锶?Ⅷ)、氨基三唑和其?；苌锶?Ⅸ)的化學(xué)結(jié)構(gòu) 另外還有可能的是，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有聚酰肼如(Ⅹ)的化學(xué)結(jié)構(gòu) n=1-10，A=亞烷基或亞苯基 此外還規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有二亞水楊基如N，N’-二亞水楊基-1，2-二氨基丙烷(Ⅺ)的化學(xué)結(jié)構(gòu) 此外還規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有位阻酚和金屬配位性基團(tuán)的分子組合的化學(xué)結(jié)構(gòu)如(Ⅻ)、(ⅩⅢ)、(ⅩⅣ)和(ⅩⅤ) 此外還規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有芐基磷酸-Ni鹽如(ⅩⅥ)的化學(xué)結(jié)構(gòu)，或者形成除該有機(jī)絡(luò)合劑之外還具有其它在此提及的絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物。 此外還可規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有吡啶硫醇-Sn化合物如(ⅩⅦ)化學(xué)結(jié)構(gòu) 在本發(fā)明范圍內(nèi)還規(guī)定，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有含硫雙酚的叔亞磷酸酯如(ⅩⅧ)化學(xué)結(jié)構(gòu) 所述的絡(luò)合劑具有有機(jī)的性能，其在聚合物相中具有足夠的溶解性或易于分散并且此外是良好相容的。基于其良好的相容性可避免有害的粉化效應(yīng)。
此外所述的絡(luò)合劑是高度耐萃取的并且在堿性和酸性化學(xué)和電鍍?cè)≈惺欠€(wěn)定的。此外有利的是這些絡(luò)合劑是非揮發(fā)性的并沒有急性毒性，且對(duì)皮膚和粘膜沒有刺激。
通過所述有機(jī)絡(luò)合劑與重金屬鹽反應(yīng)形成的重金屬絡(luò)合物的優(yōu)越之處在于，它是熱穩(wěn)定的并且其分解溫度在熱塑性塑料的注塑溫度和涂層的固化溫度之上。另外，焊接過程中的溫度作用不會(huì)引起本發(fā)明使用的重金屬絡(luò)合物的分解。因此該重金屬絡(luò)合物在線路周圍環(huán)境中是不導(dǎo)電的。
通過使用非導(dǎo)電有機(jī)重金屬絡(luò)合物作為含重金屬組分，其中所述非導(dǎo)電有機(jī)重金屬絡(luò)合物是通過重金屬鹽與有機(jī)絡(luò)合劑反應(yīng)而形成的，并且借助于紫外線照射通過在線路區(qū)域內(nèi)重金屬絡(luò)合物的破壞而離析出重金屬晶核，可以在紫外線照射作用之后直接進(jìn)行化學(xué)還原金屬化。在要產(chǎn)生線路的區(qū)域通過紫外線照射作用而破壞重金屬絡(luò)合物，由此離析出對(duì)部分還原金屬化來說高活性的重金屬晶核。金屬化在沒有瘋長的情況下進(jìn)行，形成很鮮明的輪廓。由于所形成的重金屬晶核是高活性的，這額外促進(jìn)了在要求的層厚中的所需精確的金屬化，由于載體具有微孔表面，此外可實(shí)現(xiàn)沉積的金屬線路的優(yōu)異粘附強(qiáng)度。
本發(fā)明規(guī)定，將溶于溶劑例如二甲基甲酰胺中的重金屬絡(luò)合物涂覆于多孔載體材料或具有多孔表面的載體材料上。所述載體例如是具有微孔表面的柔性聚酰亞胺薄膜，也可以是紙。在此重金屬絡(luò)合物可以滲入材料的孔中。在隨后的金屬化過程中孔結(jié)構(gòu)對(duì)于導(dǎo)線(Leiterzug)的粘附是有利的，在金屬化時(shí)，例如所使用的銅生長入孔結(jié)構(gòu)中，并且在其中根狀?yuàn)A緊。因無需增粘層和因此不設(shè)定可能線路寬度的下限，有利于獲得很細(xì)的結(jié)構(gòu)。此外，所使用的紫外線照射由于其波長短，使得可能形成具有金屬化晶核的極細(xì)的鮮明結(jié)構(gòu)。
作為選擇方案還規(guī)定，載體材料由微孔或微粗糙載體顆粒形成，該載體顆粒被混入載體材料和／或涂覆于和粘結(jié)至載體材料上，在載體材料上在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域選擇性地施以電磁紫外線照射，以使載體顆粒通過侵蝕而顯露并且然后通過所粘結(jié)的重金屬絡(luò)合物的破壞而釋放出重金屬晶核，并且隨后為形成線路結(jié)構(gòu)而對(duì)這一區(qū)域化學(xué)還原金屬化。
按照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案，使用鈀鹽作為重金屬鹽，作為選擇方案，也可將鈀鹽和其它重金屬的鹽一起使用。使用二乙酸鈀作為重金屬鹽是有利的。優(yōu)選使用Pd-絡(luò)合物或含Pd的重金屬絡(luò)合物。已表明，這種重金屬絡(luò)合物特別適于按照本發(fā)明的特細(xì)結(jié)構(gòu)化。尤其是為了引入使具有某種結(jié)構(gòu)的分解反應(yīng)，與在已知系統(tǒng)中的侵蝕相比，使用的激光低得多的能量密度的紫外線照射就已足夠了。此外，與每激元激光器脈沖的結(jié)構(gòu)化有關(guān)，與已知的消蝕(Ablation)技術(shù)相比，可以使大得多的表面得以曝光。
此外在本發(fā)明的范圍內(nèi)還規(guī)定，為了由重金屬絡(luò)合物離析出重金屬晶核，優(yōu)選使用具有248．5nm波長的KrF-激元激光器或具有355nm波長的頻率增加到三倍的NdYAG-激光器。因此可能在不加熱絡(luò)合物的情況下進(jìn)行離析。由此避免了在作用區(qū)域內(nèi)材料的熔化。結(jié)果是獲得具有很高界限清晰度的具有離析重金屬晶核的區(qū)域和由此得到的具有很高的、極其有利的邊緣清晰度的金屬化結(jié)構(gòu)，這對(duì)于特細(xì)導(dǎo)線來說是極其有意義的。
本發(fā)明的方法既可以與平面施用的激光輻射和掩模技術(shù)一道用于合理的大規(guī)模生產(chǎn)中，也可以無掩模地通過例如NC-控制操縱點(diǎn)狀聚焦的激光束而加以應(yīng)用。
以下借助于實(shí)施例來說明本發(fā)明。
將2．24質(zhì)量份的二乙酸鈀溶于100質(zhì)量份的二甲基甲酰胺中，此外將2．94質(zhì)量份的下式有機(jī)絡(luò)合劑加入800質(zhì)量份二甲基甲酰胺中并通過溫?zé)岫芙狻?然后將兩種溶液混合以進(jìn)行反應(yīng)。就在這之后，在溶液冷卻和產(chǎn)生的鈀絡(luò)合物沉淀之前，將微孔聚酰亞胺薄膜浸入溶液中。在室溫下干燥10小時(shí)之后，經(jīng)一掩模，使用KrF-激元激光器，即，具有248．5nm波長的激元激光器對(duì)所得到的基材進(jìn)行照射。在照射區(qū)域由絡(luò)合物離析出細(xì)分散金屬鈀。在一商業(yè)通用還原性無外部電流的銅浴中，沉積選擇性地牢牢附著固定在被照射區(qū)域的銅，形成了導(dǎo)線，它以可使用的柔性電路的形式存在。
如所表明的，本發(fā)明的方法也可用于在這樣線路載體上施加線路結(jié)構(gòu)，該線路載體由其它具有微孔表面的非導(dǎo)電材料如陶瓷材料或玻璃構(gòu)成。
在本發(fā)明的范圍內(nèi)，也可將重金屬絡(luò)合物施加到線路載體例如熱塑性塑料中。通過在注塑部件的表面上在要施加線路的區(qū)域的紫外線激光照射作用而在顯露的重金屬絡(luò)合物破壞的情況下進(jìn)行載體材料的消蝕，其中離析出重金屬晶核。這使得可進(jìn)行無電流金屬化以形成線路。
權(quán)利要求
1．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和芳族單和二元羧酸的羧酰胺和其N-單取代衍生物的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
2．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有環(huán)狀酰胺的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
3．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和優(yōu)選芳族醛的腙和雙腙的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
4．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有脂族和芳族單和二元羧酸的酰肼以及其N-?；苌锏幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu)。
5．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有二?；碌幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu)。
6．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有苯二胺的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
7．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有雜環(huán)化合物如蜜胺衍生物、苯并三唑、8-羥喹啉、腙和肼基三嗪的酰化衍生物的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
8．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有聚酰肼化學(xué)結(jié)構(gòu)。
9．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有二亞水楊基化學(xué)結(jié)構(gòu)。
10．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有位阻酚和金屬配位性基團(tuán)的分子組合的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
11．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有芐基磷酸-Ni鹽的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
12．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有吡啶硫醇-Sn化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
13．非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法，其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中，在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射，由此釋放出重金屬晶核，并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化，其特征在于，形成具有有機(jī)絡(luò)合劑的重金屬絡(luò)合物，該有機(jī)絡(luò)合劑具有含硫雙酚的叔亞磷酸酯的化學(xué)結(jié)構(gòu)。
14．根據(jù)權(quán)利要求1-13之任一項(xiàng)的方法，其特征在于，涂覆或施用一種通過有機(jī)絡(luò)合劑與鈀鹽反應(yīng)形成的Pd-重金屬絡(luò)合物。
15．根據(jù)權(quán)利要求1-13之任一項(xiàng)的方法，其特征在于，涂覆或施用一種含Pd的重金屬絡(luò)合物。
16．根據(jù)權(quán)利要求15的方法，其特征在于，含Pd的重金屬絡(luò)合物通過鈀鹽與其它重金屬的鹽一起的反應(yīng)而形成。
17．根據(jù)權(quán)利要求14和16的方法，其特征在于，使用二乙酸鈀作為鈀鹽。
全文摘要
本發(fā)明涉及非導(dǎo)電載體材料上的細(xì)金屬線路結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)方法,其中將非導(dǎo)電重金屬絡(luò)合物涂覆到載體材料上或施加到載體材料中,在要產(chǎn)生線路結(jié)構(gòu)的區(qū)域?qū)d體材料選擇性地進(jìn)行紫外線激光照射,由此釋放出重金屬晶核,并且對(duì)這一區(qū)域進(jìn)行化學(xué)還原金屬化。本發(fā)明使得通過簡化和安全的方法進(jìn)行線路的特細(xì)結(jié)構(gòu)化成為可能。此外,沉積的金屬線路具有優(yōu)異的粘附強(qiáng)度。
文檔編號(hào)C23C18/28GK1294639SQ99802857
公開日2001年5月9日 申請(qǐng)日期1999年12月10日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月10日
發(fā)明者格哈德·瑙恩多夫, 霍斯特·維斯布洛克 申請(qǐng)人:格哈德·瑙恩多夫, 霍斯特·維斯布洛克