專利名稱：研磨處理設(shè)備及采用編碼研磨產(chǎn)品的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及制品的研磨處理，更具體地講，涉及一種采用編碼有代表產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息、索引信息、伺服信息等的可機(jī)器閱讀的圖案的研磨產(chǎn)品來研磨處理制品的設(shè)備和方法。
背景技術(shù)：
已研制了用于研磨處理組合和結(jié)構(gòu)各異的制品的多種類型的自動(dòng)研磨和磨光機(jī)器。例如，在半導(dǎo)體工業(yè)中，傳統(tǒng)的化學(xué)一機(jī)械平面化(planarization)(CMP)機(jī)器能自動(dòng)平面化和磨光半導(dǎo)體晶片。美國(guó)專利5,643,044和5,791,969號(hào)(Lund)中描述了一種自動(dòng)晶片磨光設(shè)備，在此整個(gè)地援引以供參考。
諸如上述專利中所描述的、傳統(tǒng)的自動(dòng)磨光機(jī)器通常采用一種以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的控制系統(tǒng)來控制總的磨光處理。使用在此類機(jī)器中的伺服控制處理通常是以驅(qū)動(dòng)磨料卷通過該機(jī)器的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速為基礎(chǔ)的。將該轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速與編程值作比較，通過伺服控制機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)施加給電動(dòng)機(jī)的電壓或電流，以使所感應(yīng)的轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速與編程的轉(zhuǎn)速值相稱。
采用這種方式只能間接測(cè)量研磨卷的轉(zhuǎn)速。此種方式不能計(jì)算出會(huì)顯著影響磨料相對(duì)于經(jīng)受磨光的晶片或制品的實(shí)際速度的計(jì)算的多種因素。此外，在磨光處理期間，當(dāng)這種傳統(tǒng)的伺服方式嘗試著使磨料的具體區(qū)域與給定制品接觸時(shí)，其精確度是有限的。傳統(tǒng)自動(dòng)磨光系統(tǒng)中所固有的這些及其它的限制會(huì)給處理和磨光某些高精度制品、諸如半導(dǎo)體晶片等的能力帶來深遠(yuǎn)的消極影響。
雖然傳統(tǒng)的磨光方式能夠一定程度地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，但這些方式中的絕大多數(shù)在多個(gè)步驟中仍然須要人為介入。例如，操作人員通常必須通過人工裝置來驗(yàn)證具體類型的研磨產(chǎn)品是否適用于處理具體類型的制品。關(guān)于這一點(diǎn)，由操作人員所犯下的錯(cuò)誤通常會(huì)帶來有害的結(jié)果，它一般會(huì)導(dǎo)致昂貴制品的損壞或破壞、以及不想要的處理停工時(shí)間。傳統(tǒng)磨光和研磨處理方法的其它方面在自動(dòng)化方面同樣有限，諸如使用局部自動(dòng)化或非自動(dòng)化的存貨系統(tǒng)、機(jī)器性能診斷系統(tǒng)、研磨產(chǎn)品/制品跟蹤系統(tǒng)等。
因此，需要一種可提供提高的自動(dòng)化和數(shù)據(jù)處理能力的、用于研磨處理制品的系統(tǒng)和方法。尤其需要一種改進(jìn)的方式用于在研磨處理期間控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于一個(gè)或多個(gè)制品的移動(dòng)。還需要一種可提供目前利用傳統(tǒng)的研磨或磨光機(jī)器所無(wú)法獲得的多種數(shù)據(jù)獲取和處理能力的整體信息系統(tǒng)。本發(fā)明即能滿足這些機(jī)其它需要。
發(fā)明概述本發(fā)明涉及一種用于研磨處理制品的設(shè)備和方法。研磨產(chǎn)品設(shè)有代表類型和內(nèi)容各異的信息的可機(jī)器辨別的圖案。當(dāng)研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)時(shí)，可機(jī)器辨別的圖案被閱讀，并用于啟動(dòng)機(jī)械操作、諸如與控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品的移動(dòng)的操作。該可機(jī)器辨別的圖案可包括可機(jī)器辨別的電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征或磁性特征中的一種或多種。閱讀可機(jī)器辨別的圖案可包括以電、光、機(jī)械或磁性中的一種或多種方式來閱讀設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的可機(jī)器辨別的圖案。
可機(jī)器辨別的圖案可包括標(biāo)記、突部、凹部、孔、空洞(void)、顏色或顏料變化、條型碼、磁性轉(zhuǎn)變或周期性記號(hào)中的一種或多種。該可機(jī)器辨別的圖案可包括第一圖案部分和第二圖案部分，其中第一圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征不同于由第二圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征。
可機(jī)器辨別的圖案可包括索引信息、伺服信息、校準(zhǔn)信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息中的一種或多種。索引信息可包含在圖案中，并用于用計(jì)算機(jī)確定研磨產(chǎn)品接觸給定制品時(shí)所處的一個(gè)或多個(gè)位置。伺服信息也可單獨(dú)地、或者與索引信息相結(jié)合地包含在可機(jī)器辨別的圖案中而成為其一部分，并可用于控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)、諸如控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)的速率或方向?？蓹C(jī)器辨別的圖案還可包含有校準(zhǔn)信息，利用該校準(zhǔn)信息可改變研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品的校準(zhǔn)。
包含在可機(jī)器辨別的圖案中的研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息可用于驗(yàn)證具體的研磨產(chǎn)品是否適用于研磨處理給定的制品。響應(yīng)已驗(yàn)證該研磨產(chǎn)品不適用于研磨處理目標(biāo)制品可使研磨產(chǎn)品停止移動(dòng)。可機(jī)器辨別的圖案可包含有標(biāo)識(shí)研磨產(chǎn)品的一個(gè)或多個(gè)有缺陷的區(qū)域的位置的信息。該缺陷位置信息可用于控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)，以避免有缺陷的區(qū)域與制品之間相接觸。
研磨產(chǎn)品可構(gòu)成具有固定長(zhǎng)度的帶材，或者另外可為連續(xù)帶材。例如，該帶材可構(gòu)成適用于使半導(dǎo)體晶片平面化的立體復(fù)合固定帶材。研磨產(chǎn)品還可構(gòu)成可移動(dòng)的墊件和研磨漿。該墊件可以受控的方式相對(duì)于制品移動(dòng)成使該墊件和研磨漿研磨接觸制品。設(shè)置在墊件上的可機(jī)器辨別的圖案可在清潔操作之后被閱讀。根據(jù)研磨處理設(shè)備的構(gòu)造，可機(jī)器辨別的圖案可在研磨產(chǎn)品(例如，墊件和研磨漿)接觸制品之前在第一閱讀位置被閱讀、以及在研磨產(chǎn)品接觸制品之后、諸如緊隨清潔工序在第二閱讀位置被閱讀。經(jīng)受研磨處理的制品可包括硅制品、玻璃制品、陶瓷制品、復(fù)合制品、木制品或金屬制品。例如，該制品可包括硅晶片、鍺晶片或砷化鎵晶片、以及涉及半導(dǎo)體裝置的制造的相關(guān)結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明另一種實(shí)施例涉及用于研磨處理制品的研磨產(chǎn)品。該研磨產(chǎn)品包括具有第一表面和第二表面的基層。磨料置于第一表面上?？蓹C(jī)器辨別的圖案設(shè)置在第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上，用于產(chǎn)生供控制磨料相對(duì)于制品移動(dòng)用的控制信號(hào)。第一或第二表面可構(gòu)成研磨產(chǎn)品的邊緣?？蓹C(jī)器辨別的圖案可包括可機(jī)器辨別的電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征或磁性特征中的一種或多種。一個(gè)或多個(gè)可機(jī)器辨別的突部可附著在研磨產(chǎn)品上，其中第一圖案部分設(shè)置在研磨產(chǎn)品的第一或第二表面上、或者兩個(gè)表面上，而第二圖案部分則設(shè)置在突部的一個(gè)或多個(gè)上。該突部可遍布研磨產(chǎn)品的整條邊緣?？蓹C(jī)器辨別的圖案可設(shè)置在可附著于研磨產(chǎn)品的第一或第二表面上、或者兩個(gè)表面的標(biāo)簽上。
根據(jù)本發(fā)明的原理，用于研磨處理制品的設(shè)備包括用于支承其上設(shè)有可機(jī)器辨別的圖案的研磨產(chǎn)品的支座。安裝固定裝置使制品與研磨產(chǎn)品接觸和脫離。設(shè)有用于使研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)的致動(dòng)器。檢測(cè)器檢測(cè)設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的可機(jī)器辨別的圖案，并且控制器利用該可機(jī)器辨別的圖案控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)。
檢測(cè)器可包括電檢測(cè)器、光檢測(cè)器、機(jī)械檢測(cè)器或磁性檢測(cè)器中的一種或多種。檢測(cè)器檢測(cè)設(shè)置在可機(jī)器辨別的圖案中的索引信息、伺服信息、校準(zhǔn)信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息中的一種或多種。利用設(shè)置在可機(jī)器辨別的圖案中的索引信息，控制器用計(jì)算機(jī)確定研磨產(chǎn)品研磨接觸制品時(shí)所處的研磨產(chǎn)品的位置。控制器還可利用包含在可機(jī)器辨別的圖案中的伺服信息來控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)的速率。該伺服信息也可為控制器所用，以便控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)的方向。在可機(jī)器辨別的圖案中還可包含有校準(zhǔn)信息，該信息可為控制器所用，以便保持研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品的適當(dāng)校準(zhǔn)。
本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及一種獲取涉及一個(gè)或多個(gè)制品的處理的信息的方法。閱讀設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的可機(jī)器辨別的圖案，并訪問數(shù)據(jù)庫(kù)，以便利用可機(jī)器辨別的圖案獲得研磨產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)符。產(chǎn)生與被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品的處理相關(guān)的多種類型的數(shù)據(jù)，并將它們存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)可用于各種標(biāo)識(shí)、跟蹤、計(jì)算、存貨、處理和統(tǒng)計(jì)目的。
該方法可包括倘若數(shù)據(jù)庫(kù)的詢問顯示采用具體的研磨產(chǎn)品來處理目標(biāo)制品是不適當(dāng)?shù)脑挘瑒t禁止對(duì)目標(biāo)制品進(jìn)行研磨處理。數(shù)據(jù)庫(kù)還可存儲(chǔ)與位于一臺(tái)或多臺(tái)處理設(shè)備上的研磨產(chǎn)品或制品、或者兩者相關(guān)的存貨數(shù)據(jù)?？色@取與采用具體的研磨產(chǎn)品來處理的制品的產(chǎn)量相關(guān)的數(shù)據(jù)，并將其存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。可將各種類型的處理數(shù)據(jù)傳送至本地和/或遠(yuǎn)程處理器。
一種獲取涉及利用研磨處理設(shè)備來處理制品的信息的系統(tǒng)包括與研磨處理設(shè)備相耦連的控制器。與控制器相耦連的檢測(cè)器，該檢測(cè)器檢測(cè)設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的、為研磨處理設(shè)備研磨處理制品所用的可機(jī)器辨別的圖案。主處理器與存儲(chǔ)各種類型的處理數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器相耦連。接口將主處理器與研磨處理設(shè)備的控制器相耦連。主處理器接收來自于控制器的、與研磨產(chǎn)品相關(guān)的標(biāo)識(shí)信息，并將研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中。主處理器或控制器利用研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息將可機(jī)器辨別的圖案轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)。
主處理器可相對(duì)于控制器本地或遠(yuǎn)程設(shè)置。存儲(chǔ)器可包括若干實(shí)或虛存儲(chǔ)器裝置，各存儲(chǔ)器裝置可相對(duì)于其它存儲(chǔ)器裝置近距離或遠(yuǎn)距離設(shè)置。主處理器可處理存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中的數(shù)據(jù)，以便執(zhí)行多種標(biāo)識(shí)、跟蹤、計(jì)算、存貨、處理和統(tǒng)計(jì)功能。
例如，可將要利用研磨處理設(shè)備進(jìn)行處理的制品的標(biāo)識(shí)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中，并且主處理器可使制品標(biāo)識(shí)與研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息相關(guān)聯(lián)，以便驗(yàn)證研磨產(chǎn)品是否適用于處理制品。主處理器響應(yīng)已驗(yàn)證該研磨產(chǎn)品不適用于處理該制品而將禁止信號(hào)傳送至控制器?？刂破黜憫?yīng)該禁止信號(hào)而禁止對(duì)該制品進(jìn)行研磨處理。利用包括鍵盤、聲音識(shí)別裝置、光掃描裝置或條型碼閱讀器在內(nèi)的各種輸入裝置可將制品標(biāo)識(shí)輸入到存儲(chǔ)器中。
以上本發(fā)明的概述并沒有涵蓋本發(fā)明所有的實(shí)施例或每一種實(shí)施方式。通過參閱下文中結(jié)合附圖所進(jìn)行的描述和權(quán)利要求，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和成就、連同對(duì)本發(fā)明的更為全面的理解一起都將變得一目了然。
附圖簡(jiǎn)介
圖1和2示出了根據(jù)本發(fā)明的原理、采用編碼有信息的研磨材料卷帶的研磨處理設(shè)備；圖3A和3B示出了根據(jù)本發(fā)明的原理、可編碼在研磨產(chǎn)品上且可從該研磨產(chǎn)品上閱讀的多種類型的信息圖案；圖4示出了用于閱讀設(shè)置在研磨帶材上的信息圖案的閱讀裝置的一種實(shí)施例；圖5示出了用于閱讀設(shè)置在研磨帶材上的信息圖案的閱讀裝置的另一種雖然已在附圖中以舉例的方式示出了本發(fā)明的特殊形式、而且將在下文中詳細(xì)描述，但本發(fā)明可被修改成多種變型和變化形式。然而，要理解的是，本發(fā)明并不受本文中所描述的具體實(shí)施例的限制。相反，本發(fā)明涵蓋了隸屬于由附加權(quán)項(xiàng)所限定的本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)和范圍內(nèi)的所有的變型、等效物和替換物。
實(shí)施例的詳述在下列描述圖示實(shí)施例的過程中可參閱構(gòu)成其一部分的附圖，其中只是以示例的方式示出了本發(fā)明，但本發(fā)明還具有多種實(shí)施例。要理解的是，這些實(shí)施例可被采用，并且在不脫離本發(fā)明范圍的情況下還可有結(jié)構(gòu)變化。
請(qǐng)參閱附圖，尤其參閱圖1，圖中示出了一種采用研磨產(chǎn)品來研磨處理與該研磨產(chǎn)品接觸放置的制品的研磨處理設(shè)備20。在圖1所示的實(shí)施例中，研磨產(chǎn)品構(gòu)成設(shè)有磨料層的卷材。要理解的是，如本發(fā)明的上下文中所設(shè)想的術(shù)語(yǔ)“研磨產(chǎn)品”包含了結(jié)構(gòu)和材質(zhì)各異的多種類型的研磨產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，而不僅限于卷筒狀產(chǎn)品結(jié)構(gòu)或者本文中所具體描述的其它研磨產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。
具體地講，適用于本發(fā)明原理的研磨產(chǎn)品包括那些具有連續(xù)結(jié)構(gòu)或者帶狀結(jié)構(gòu)的研磨產(chǎn)品。也可設(shè)想具有圓形或板狀結(jié)構(gòu)的離散研磨產(chǎn)品。要理解的是，還可設(shè)想具有其它幾何形狀的研磨產(chǎn)品。
另外，適用于本發(fā)明原理的研磨產(chǎn)品可由一種立體復(fù)合研磨卷帶來實(shí)現(xiàn)。另一種適當(dāng)?shù)难心ギa(chǎn)品結(jié)構(gòu)包括與研磨漿相結(jié)合的墊件，諸如彈性墊。還可設(shè)想一種包括拋光或磨光薄膜、單獨(dú)地或者與織物基層相結(jié)合的研磨產(chǎn)品，諸如美國(guó)專利5,897,424號(hào)中所描述的拋光薄膜產(chǎn)品，在此整個(gè)地援引以供參考。因此，欲使用在本發(fā)明的上下文中的研磨產(chǎn)品并不僅限于本文中所具體描述的研磨產(chǎn)品形式。
根據(jù)圖1所示的實(shí)施例，研磨卷帶30從進(jìn)給卷筒28引入至研磨處理設(shè)備20，該研磨卷帶在研磨處理期間軸向移動(dòng)通過設(shè)備20的輸送機(jī)構(gòu)，并卷繞到卷緊卷筒29上。研磨卷帶30可包括類似于美國(guó)專利5,152,917號(hào)(Pieper等人)中所描述的那些研磨復(fù)合物，在此整個(gè)地援引以供參考。
在一般操作中，要利用研磨處理設(shè)備20進(jìn)行處理的制品24位于固定裝置22中。在研磨處理期間，該固定裝置22通常受控，以便移動(dòng)一個(gè)或多個(gè)制品24使其與研磨帶材30接觸和脫離。不具有磨料的帶材30的表面37在工作臺(tái)26的表面上方移動(dòng)。該工作臺(tái)26能抵抗當(dāng)制品24被壓到卷材30上時(shí)、因固定裝置22向下移動(dòng)而施加在卷材30上的力。
當(dāng)制品24壓到研磨帶材30上時(shí)，固定裝置22通常以大致圓形或橢圓形的軌道方式移動(dòng)。設(shè)備20對(duì)制品24進(jìn)行研磨處理的角度是可控的，諸如通過適當(dāng)?shù)乜刂凭聿囊苿?dòng)的速率和方向、固定裝置22的移動(dòng)以及制品24與帶材30的研磨表面35之間的接觸力。例如，研磨帶材30可受控，以便以固定長(zhǎng)度或可變長(zhǎng)度的步幅以遞增方式移動(dòng)。研磨帶材30還可受控，以便在研磨處理目標(biāo)制品24期間，以諸如指定的速率以均勻連續(xù)的方式移動(dòng)?；蛘呋蛄硗?，在研磨帶材30以受控方式前后移動(dòng)時(shí)，目標(biāo)制品24可由固定裝置22保持靜止。
根據(jù)本發(fā)明的原理，研磨帶材30的表面、諸如不具有磨料的表面37設(shè)有可由閱讀裝置32感應(yīng)到的圖案。具有磨料的表面35也可設(shè)有可由閱讀裝置32所讀到的圖案。另外，研磨帶材30的一條或多條邊緣可設(shè)有圖案。應(yīng)意識(shí)到的是，研磨帶材30的一個(gè)或多個(gè)表面可設(shè)有可由閱讀裝置32感應(yīng)到的圖案。要注意的是，研磨帶材30的不同的表面可設(shè)有依次代表不同類型的信息的不同的圖案。
設(shè)置在研磨帶材30的一個(gè)或多個(gè)表面上的圖案可代表用于標(biāo)識(shí)研磨帶材30的特征和用于執(zhí)行多種研磨處理功能和信息采集/處理操作的各種類型的信息。正如下文中將更詳細(xì)地?cái)⑹龅哪菢?，編碼在研磨帶材30上的信息可表示研磨產(chǎn)品的名稱、制造商、制造日期、卷材號(hào)、批號(hào)(lot number)以及其它的標(biāo)識(shí)信息。另外，圖案化信息可包括用于確定研磨帶材30相對(duì)于基準(zhǔn)方位、諸如卷材方位的起始處的位置的索引圖案。另外，可機(jī)器辨別的信息圖案在被閱讀和翻譯時(shí)可用于啟動(dòng)機(jī)械操作，諸如在閱讀卷材圖案的末尾的同時(shí)使圖1所示的磨光固定裝置22上升，或者在閱讀位于例如每一英尺帶材長(zhǎng)度的索引圖案的同時(shí)執(zhí)行研磨帶材30和/或工作臺(tái)26的清潔操作。
信息圖案還可包括用于促進(jìn)對(duì)研磨帶材的移動(dòng)的控制的伺服圖案。例如，研磨處理設(shè)備20的伺服控制系統(tǒng)可控制研磨帶材30的速度、加速度和方向，并且還可提供對(duì)研磨帶材的移動(dòng)的連續(xù)或步進(jìn)控制。另外，伺服圖案可單獨(dú)使用、或者與索引圖案結(jié)合使用，以便定位和重新定位研磨帶材30的特定區(qū)域，從而使其高度精確地與特定制品相接觸。校準(zhǔn)信息也可沿著帶材30的一條或多條通道在研磨帶材30上形成圖案。例如，校準(zhǔn)圖案的一條或多條通道可與帶材的縱軸大致平行地設(shè)置在帶材30上。校準(zhǔn)圖案可用于調(diào)節(jié)研磨帶材30的位置，以便當(dāng)帶材30通過研磨處理設(shè)備20時(shí)，保持所需的取向。
設(shè)置在研磨帶材30上的圖案化信息可采用多種形式。通常，圖案化信息可展現(xiàn)可由機(jī)器、裝置或其它自動(dòng)化儀器所辨別的特征。設(shè)置在研磨帶材30上的圖案可例如包括電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征、磁性特征或其它特征、或者可由自動(dòng)儀器所辨別的特征的組合。例如，圖中所示的閱讀裝置32可通過電、光、機(jī)械或磁性閱讀設(shè)置在研磨帶材30上的一個(gè)或多個(gè)圖案來進(jìn)行辨別。
作為非限制性的例子，設(shè)置在研磨帶材30上的圖案可通過下列方式來構(gòu)成將顏料墨水或染料印制在卷材30上；形成穿透卷材30的孔的圖案；在卷材30的表面上形成凹坑或通道的圖案；諸如通過導(dǎo)入或略去(omission)著色劑來形成構(gòu)成帶材的一整體部分的圖案；將預(yù)先印制的標(biāo)簽材料粘貼到卷材30上；固定相對(duì)于卷材30具有不同的傳導(dǎo)性或光學(xué)特性的突部；或者在卷材30上形成磁性轉(zhuǎn)變的圖案。與各卷材標(biāo)記技術(shù)相對(duì)應(yīng)的是各種用于詢問記號(hào)的技術(shù)。此類詢問技術(shù)可包括利用光的傳播、光的反射、導(dǎo)電性、機(jī)械探頭、流體探頭、磁性閱讀件等。
圖案的方位可體現(xiàn)在下列幾種形式中，包括(但不僅限于此)位于橫過卷材30的一條或多條通道中的順材圖案；沿著卷材30的一條或多條邊緣的圖案；沿著卷芯31的內(nèi)表面、位于卷芯31的帽蓋上、或者構(gòu)成卷材包裝材料的一部分的圖案。一卷材30上可承載位于一個(gè)以上的方位(例如，橫材或順材)中的一個(gè)或多個(gè)圖案，以便適應(yīng)一種以上的類型的感應(yīng)裝置、或者擴(kuò)展圖案的實(shí)用性。例如，如前所述，結(jié)構(gòu)相似或者不同的圖案可位于橫過帶材30的多條通道中、或者位于卷材30的其它部分上，并且獨(dú)立的傳感器可用于閱讀圖案，以便執(zhí)行包括數(shù)據(jù)采集、索引、伺服、校準(zhǔn)或者諸如使研磨機(jī)的性能最優(yōu)化和檢測(cè)例如帶材的張力之類的其它功能在內(nèi)的多種功能。
根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施例，研磨處理設(shè)備20包含有閱讀裝置32，如圖1所示，該閱讀裝置安裝在研磨帶材30的下方。該閱讀裝置32可包括光傳感器36和照明源34。該照明源34和光傳感器36協(xié)配以感應(yīng)設(shè)置在研磨帶材30上的光可辨識(shí)的轉(zhuǎn)變。例如，閱讀裝置32可包括以本領(lǐng)域中已知的方式來感應(yīng)寬度和間距各異的一連串平行條紋、諸如圖3A中所繪制的條型碼56的條紋的條型碼閱讀器。
根據(jù)另一種實(shí)施例，閱讀裝置32可構(gòu)成閱讀預(yù)先印制在研磨帶材30上的標(biāo)記的掃描裝置。該標(biāo)記可包括可利用光符識(shí)別或者其它適當(dāng)?shù)募夹g(shù)來進(jìn)行翻譯的字母數(shù)字字符。該標(biāo)記還可包括字母數(shù)字字符和其它字符的組合，以及諸如呈現(xiàn)各種幾何結(jié)構(gòu)的垂直的、水平的、對(duì)角線的、及其它的線條和符號(hào)之類的記號(hào)。
與圖2中所示的實(shí)施例有關(guān)的是，閱讀裝置32可包括在研磨帶材30的相對(duì)兩側(cè)上進(jìn)行協(xié)配的發(fā)射器44和檢測(cè)器46，用以感應(yīng)研磨帶材上的光可辨識(shí)的轉(zhuǎn)變。根據(jù)該實(shí)施例，信息圖案可包括一連串穿透研磨帶材30的孔?；蛘?，該圖案可包括一連串卷材30的凹部或部分，它們半透明得足以允許必要的光線量從發(fā)射器44傳向檢測(cè)器46。通過串聯(lián)使用發(fā)射器44和檢測(cè)器46可檢測(cè)卷材30的不透明度或透明度中的變化。
圖4和5中所示的實(shí)施例示出了與設(shè)置在卷材30上的圖案相互機(jī)械作用的閱讀裝置32。在圖4中，例如，將閱讀裝置32設(shè)置成可閱讀設(shè)置在卷材30的下表面37上的拓?fù)鋱D案。該閱讀裝置32可包括能感應(yīng)壓印或以其它方式設(shè)置在卷材30的下表面37上的、諸如突部和凹部之類的拓?fù)渥兓?。傳感器組件72可設(shè)置用來將機(jī)械感應(yīng)到的圖案信息轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電或光信號(hào)。該傳感器組件72還可包括用于譯碼感應(yīng)到的圖案信息的譯碼器電路?；蛘?，譯碼感應(yīng)到的圖案信息也可由下游電路或者遠(yuǎn)距離設(shè)置的處理器來執(zhí)行。
圖5中所示的閱讀裝置32的實(shí)施例感應(yīng)沿著研磨帶材30的邊緣39所設(shè)置的信息圖案。該信息圖案可為與參照?qǐng)D4所描述的那些相類似的拓?fù)渥兓Ｑ刂心Р?0的邊緣39所設(shè)置的信息圖案還可采用凹口的形式，從而提供了一種凹口狀的邊緣結(jié)構(gòu)。
或者，圖4和5中的信息圖案可構(gòu)成編碼在沿著研磨帶材30的邊緣39持續(xù)延伸的可磁化層或條上、或者所選部分上的磁性轉(zhuǎn)變。利用各種已知的磁性記錄/寫技術(shù)可將磁性信息寫到可磁化層或邊緣部分上以及從可磁化層或邊緣部分上讀出磁性信息。在此類實(shí)施例中，包括諸如薄膜或磁阻閱讀元件之類的磁性閱讀元件的傳感器70和80無(wú)須與編碼有磁性信息的研磨帶材30的邊緣或者其它表面實(shí)際接觸。
圖3A、3B和6示出了可根據(jù)本發(fā)明的原理編碼在研磨帶材30并從該卷材上讀出的各種類型的信息圖案。圖3A示出了通常采用間隔設(shè)置的平行記號(hào)的眾多不同形式的編碼信息。如上所述，圖3A中所示的記號(hào)可代表印制標(biāo)記、拓?fù)渥兓?、光可辨識(shí)的變化、磁性轉(zhuǎn)變或者其它形式的可機(jī)器辨別的標(biāo)記。要注意的是，圖3A中所示的圖案可設(shè)置在研磨帶材30的任何表面上。
區(qū)域52中的圖案示出了可用于索引或伺服目的的多通道系列記號(hào)。具體地講，區(qū)域52包括三串通道記號(hào)，即通道53、54和55。這三個(gè)通道記號(hào)的記號(hào)密度以及相鄰記號(hào)之間的相對(duì)間距是不同的。例如，間隔較寬的通道記號(hào)55可表示從一個(gè)記號(hào)到下一個(gè)記號(hào)間較大的卷材位移變化。通道記號(hào)54和53可表示卷材位移中較小的變化。增加通道的數(shù)量以及通道記號(hào)之間的相對(duì)間距可提高編碼方案(scheme)的分辨率，從而提供更為精確的卷材位移計(jì)算和更強(qiáng)大的卷材移動(dòng)控制。
區(qū)域58通常代表可在制品的研磨處理期間、用于控制研磨帶材30的移動(dòng)的多通道系列伺服圖案。區(qū)域58包括四個(gè)通道伺服記號(hào)，即通道60、61、62和63。區(qū)域58中的多通道系列圖案還可用于當(dāng)研磨帶材30通過研磨處理設(shè)備20時(shí)保持適當(dāng)?shù)男?zhǔn)。區(qū)域58的伺服記號(hào)由閱讀裝置32所感應(yīng)，并傳送至翻譯伺服數(shù)據(jù)的處理器，以便在研磨處理期間控制研磨帶材相對(duì)于一個(gè)或多個(gè)制品的移動(dòng)。本技術(shù)領(lǐng)域中的那些熟練技術(shù)人員應(yīng)意識(shí)到的是，可采用多種已知的伺服技術(shù)來響應(yīng)設(shè)置在研磨帶材30上的伺服記號(hào)適當(dāng)?shù)乜刂蒲心Р牡囊苿?dòng)。例如，區(qū)域58中所示的伺服記號(hào)可呈現(xiàn)伺服領(lǐng)域中常用的、用于實(shí)現(xiàn)閉環(huán)伺服過程控制的正交信號(hào)序列(burst)圖案結(jié)構(gòu)。例如，美國(guó)專利5,452,150號(hào)和5,661,616號(hào)中所描述的伺服技術(shù)可適用在本發(fā)明的研磨處理設(shè)備中。在此整個(gè)地援引美國(guó)專利5,452,150號(hào)和5,661,616號(hào)以供參考。
例如，單獨(dú)地或與區(qū)域52中的索引記號(hào)相結(jié)合的區(qū)域58中所示的伺服記號(hào)可用于控制研磨帶材的移動(dòng)，以便當(dāng)一片或多片半導(dǎo)體晶片的中間層被磨光時(shí)可呈現(xiàn)未用過的研磨劑。伺服控制處理器可以連續(xù)或者遞增的方式來控制研磨帶材的移動(dòng)。伺服記號(hào)還可使用在校準(zhǔn)工序中，以便校準(zhǔn)用于索引通過研磨處理設(shè)備的研磨帶材30伺服電動(dòng)機(jī)。另外，伺服記號(hào)可用于將研磨帶材30相對(duì)于卷材輸送機(jī)構(gòu)重新設(shè)置到一已知的方位中。例如，研磨帶材30在處理一連串晶片的過程中可緩慢地前進(jìn)，迅速地重新卷繞，以便將卷材30用過的部分設(shè)置在清潔設(shè)備中，接著又迅速前進(jìn)至磨光工位，以便重復(fù)卷材30的早期定位。
索引記號(hào)和標(biāo)識(shí)記號(hào)可結(jié)合使用，以便更精細(xì)地限定用于磨光特定晶片的研磨帶材30的區(qū)域。例如，與特定制品的處理有關(guān)的磨光位置可被稱作是位于標(biāo)識(shí)記號(hào)后面的、距離批號(hào)YYY的卷材XXX的開始八十二英尺的二十三個(gè)索引記號(hào)。
圖3A中所示的圖案還可用于標(biāo)識(shí)正在使用的研磨帶材的類型、正在使用的具體卷材的身份以及正用于磨光諸如晶片或晶片序列之類的給定制品的卷材30的部分。通過感應(yīng)卷材記號(hào)圖案，標(biāo)識(shí)記號(hào)可隨意地提供索引記號(hào)功能。例如，“卷材始端”和“卷材末端”標(biāo)識(shí)記號(hào)也可用于具體研磨處理機(jī)上的信號(hào)中斷和/或轉(zhuǎn)換模式?；蛘撸瑯?biāo)識(shí)記號(hào)可設(shè)置在與研磨帶材30有關(guān)的卷芯或凸緣上，諸如設(shè)置在圖1所示的進(jìn)給卷筒28的卷芯31上的記號(hào)33。
圖3B示出了可用于多種控制、索引和標(biāo)識(shí)目的的可機(jī)器閱讀的圖案的另一種實(shí)施例。圖3B中所示的圖案包括表示在此處啟動(dòng)研磨處理的研磨帶材30的位置的起始區(qū)域72。緊隨該起始區(qū)域72之后的是表示新的圖案信息塊的開始的同步區(qū)域73。在一種實(shí)施例中，研磨帶材30包括橫越卷材30的長(zhǎng)度的一個(gè)或多個(gè)圖案信息幀(frame)，其中每一個(gè)幀包含有許多塊。例如，具有八十英尺可用長(zhǎng)度的研磨帶材30可包括八十英尺長(zhǎng)的單個(gè)幀和位于該單個(gè)幀中的八十個(gè)一英尺長(zhǎng)的塊。
圖3B中所示的圖案還包括標(biāo)識(shí)研磨產(chǎn)品(例如，卷材號(hào)、批號(hào))的ID區(qū)域74，并且還包括諸如英尺和英寸索引記號(hào)的索引記號(hào)。為伺服索引校準(zhǔn)的目的，還可包括不具有記號(hào)的間隙區(qū)域(未圖示)?？砂兴欧盘?hào)序列圖案76，以便于伺服索引和校準(zhǔn)。該伺服信號(hào)序列圖案可包括1/4英寸至1/8英寸的記號(hào)。這些記號(hào)的尺寸和間距可根據(jù)分辨率要求而有所不同。卷材末端記號(hào)77可設(shè)置在研磨帶材30的可用部分的末端旁。
圖6中所示的圖案表示了包含有可由參照?qǐng)D4和5所述的類型的機(jī)械閱讀裝置32所閱讀的拓?fù)渥兓膱D案86。該圖案86可構(gòu)成穿透研磨帶材30的沖孔或者一連串凹坑和/或突部的圖案。該圖案86也可代表預(yù)先寫在研磨帶材30上、且可在利用該卷材30進(jìn)行研磨處理期間由磁性閱讀裝置32所閱讀的離散磁性轉(zhuǎn)變。
現(xiàn)在請(qǐng)參閱圖7，圖中示出了可根據(jù)本發(fā)明的原理來控制研磨處理設(shè)備20的控制系統(tǒng)100的一種實(shí)施例。圖7中所示的系統(tǒng)100包含有與圖案譯碼器110相耦連的主處理器102。圖案譯碼器110接收由圖案閱讀器112所獲得的圖案數(shù)據(jù)。圖案閱讀器112可感應(yīng)或辨別編碼在研磨產(chǎn)品上的、具有多種不同形式的信息圖案。例如，該圖案閱讀器112在形式和功能方面可相當(dāng)于或類似于上述閱讀裝置32。圖案譯碼器110將與由圖案閱讀器112所閱讀的圖案相對(duì)應(yīng)的信號(hào)信息傳送至處理器102。
處理器102利用從圖案譯碼器110所接收到的伺服數(shù)據(jù)執(zhí)行眾多已知的伺服技術(shù)中的任何一項(xiàng)技術(shù)。處理器102還從圖案譯碼器110獲得研磨產(chǎn)品身份以及其它相關(guān)數(shù)據(jù)。研磨產(chǎn)品身份數(shù)據(jù)可傳送至用于隨后經(jīng)由通信接口114進(jìn)行處理的信息系統(tǒng)116。該信息系統(tǒng)116可為本地或遠(yuǎn)程系統(tǒng)，并且還可表現(xiàn)為分布式或網(wǎng)絡(luò)式信息系統(tǒng)。通信接口114具有與信息系統(tǒng)116的數(shù)據(jù)通信和結(jié)構(gòu)要求相適應(yīng)的形式和功能度。例如，通信接口114可為局域或廣域網(wǎng)絡(luò)卡、電話接口、微波或衛(wèi)星接口、有線網(wǎng)絡(luò)卡、外部接口卡等。
處理器102協(xié)同驅(qū)動(dòng)控制器104執(zhí)行伺服方法(methodology)。驅(qū)動(dòng)控制器104與研磨處理設(shè)備的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相耦連，并控制研磨產(chǎn)品在研磨處理設(shè)備中的移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)控制器104還與感應(yīng)研磨處理設(shè)備的多種操作參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)傳感器108相耦連。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)106還接收來自于一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)傳感器108的輸入信號(hào)?；蛘?，驅(qū)動(dòng)傳感器108還可與處理器102直接、而不是通過驅(qū)動(dòng)控制器104相耦連。要意識(shí)到的是，處理器102可被構(gòu)成為可執(zhí)行由驅(qū)動(dòng)控制器104所執(zhí)行的所有功能。同樣，要意識(shí)到的是，圖案譯碼器110可與驅(qū)動(dòng)控制器104直接、而不是通過處理器102相耦連。
驅(qū)動(dòng)控制器104將驅(qū)動(dòng)信號(hào)傳送至驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)106，以便調(diào)節(jié)研磨處理設(shè)備的操作、尤其是諸如研磨帶材之類的研磨產(chǎn)品的移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)控制器104接收來自于處理器102的、先前由圖案譯碼器110所譯碼的伺服和/或索引數(shù)據(jù)。根據(jù)一種伺服途徑，處理器102接收來自于圖案譯碼器110的伺服數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生代表要獲得所需的處理速度或方向變化所需的變化的修正信號(hào)。由處理器102所產(chǎn)生的修正信號(hào)被傳送至驅(qū)動(dòng)控制器104，接著，該驅(qū)動(dòng)控制器將相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)傳送至驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)106，以便實(shí)現(xiàn)該變化。
根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施例，并請(qǐng)參閱圖8，本地主處理器122由研磨處理機(jī)所獲得、使用或產(chǎn)生的研磨處理和產(chǎn)品相關(guān)數(shù)據(jù)。例如，該本地主處理器122可提供與圖7所示處理器102相類似的功能度，或者可經(jīng)由通信接口114與處理器102相耦連。本地主處理器122與多個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)通信，用以執(zhí)行多項(xiàng)數(shù)據(jù)處理任務(wù)。圖8中所示的數(shù)據(jù)庫(kù)僅僅代表可由本地主處理器122所獲得的少數(shù)幾種可能的信息源和資源庫(kù)。例如，本地主處理器122可經(jīng)由通信接口114和通信通道140與其它的信息系統(tǒng)和數(shù)據(jù)庫(kù)通信。
本地主處理器122可以圖9中所示的流程圖形式的方式與產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124通信。較理想地是使僅有某些研磨產(chǎn)品用于處理某些制品時(shí)的處理自動(dòng)化。例如，利用不適當(dāng)?shù)难心ギa(chǎn)品來磨光一片或多片半導(dǎo)體晶片會(huì)使晶片變得不能為它們的目的所用，通常表現(xiàn)為在單價(jià)相當(dāng)于數(shù)千美元的晶片或晶片組上產(chǎn)生極大的材料損耗。因此，可意識(shí)到的是，避免研磨產(chǎn)品與制品的錯(cuò)配是很重要的?？蓤?zhí)行圖9中所示的研磨產(chǎn)品/制品驗(yàn)證方法，以有利地避免此類不想要的錯(cuò)配的發(fā)生。
請(qǐng)參閱圖9所示的流程圖，并請(qǐng)繼續(xù)參閱圖7和8中所示的多種組成部分，標(biāo)識(shí)要經(jīng)受研磨處理的制品的身份200。標(biāo)識(shí)目標(biāo)制品可以多種方式來實(shí)現(xiàn)，包括掃描標(biāo)識(shí)目標(biāo)制品的條型碼，將制品標(biāo)志符經(jīng)由輸入裝置(例如，鍵盤、鼠標(biāo)或者聲音激活輸入裝置)人工輸入到產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124中，或者采用其它的電子和用戶致動(dòng)裝置。要被用于處理目標(biāo)制品的研磨產(chǎn)品也諸如通過上述自動(dòng)途徑中的任何一種途徑或人工輸入裝置進(jìn)行標(biāo)識(shí)202。
假設(shè)產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124包含有使制品類型與可接受的研磨產(chǎn)品類型相關(guān)聯(lián)的對(duì)照表或其它數(shù)據(jù)庫(kù)結(jié)構(gòu)。產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124由本地主處理器122訪問，并且研磨產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)和目標(biāo)制品的標(biāo)識(shí)對(duì)照對(duì)照表進(jìn)行比較204、206，以便驗(yàn)證通過采用該研磨產(chǎn)品來處理該目標(biāo)制品是否恰當(dāng)。如果恰當(dāng)?shù)脑?，則對(duì)目標(biāo)制品進(jìn)行處理208。
倘若處理器122確定是錯(cuò)配的話，則可能是因?yàn)檎娴腻e(cuò)配了，或者產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124中可能漏了新的研磨產(chǎn)品或目標(biāo)制品的類型。不管錯(cuò)配的原因是什么，研磨處理被中斷210，直到錯(cuò)配狀況被解決為止?？商峁┤丝毓δ埽@樣就能利用適當(dāng)?shù)妮斎胙b置送入已錯(cuò)誤地從產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124中遺漏的適當(dāng)?shù)难心ギa(chǎn)品和/或制品的標(biāo)識(shí)218。倘若人控成功212的話，則先前遺漏的研磨產(chǎn)品和/或制品的標(biāo)識(shí)被送入到產(chǎn)品/制品數(shù)據(jù)庫(kù)124的對(duì)照表中218，并且進(jìn)行研磨處理208。倘若仍然錯(cuò)配的話，則研磨處理被禁止214，并且發(fā)出適當(dāng)?shù)木嫘畔?16，由操作人員來決斷。
圖10示出了當(dāng)跟蹤處理相關(guān)數(shù)據(jù)與研磨處理具體制品相關(guān)聯(lián)時(shí)，由處理器122所執(zhí)行的多種處理步驟。圖8中所示的系統(tǒng)120包括跟蹤數(shù)據(jù)庫(kù)134，其中可存儲(chǔ)和訪問與給定制品和一個(gè)或多個(gè)研磨產(chǎn)品相關(guān)聯(lián)的處理的相關(guān)數(shù)據(jù)。最初，獲得目標(biāo)制品和研磨產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)240、242。利用形成在研磨產(chǎn)品上的信息圖案、并且通過估計(jì)制品和/或研磨產(chǎn)品的狀況來確定將用于處理該制品的研磨產(chǎn)品的適當(dāng)?shù)膮^(qū)域244。可采用包括使用橢圓計(jì)的技術(shù)在內(nèi)的多種已知的技術(shù)來確定目標(biāo)制品和/或研磨產(chǎn)品的狀況。
倘若打算使用的區(qū)域先前已被用過的話246，則估計(jì)該區(qū)域是否相配248。如果確定該區(qū)域不適合，則選擇可接受的區(qū)域250。利用研磨產(chǎn)品的所選區(qū)域來處理該制品252。將制品、研磨產(chǎn)品、用于處理制品的研磨產(chǎn)品的區(qū)域、以及其它處理相關(guān)數(shù)據(jù)(例如磨光時(shí)間)的標(biāo)識(shí)存儲(chǔ)在跟蹤數(shù)據(jù)庫(kù)134中。如果需要進(jìn)一步處理該制品、諸如在相同或不同的設(shè)備上進(jìn)行第二磨光工序256，則重復(fù)處理步驟244-254，當(dāng)然要理解的是，倘若要采用不同的研磨產(chǎn)品來進(jìn)一步處理目標(biāo)制品的話，則還要重復(fù)步驟242?？刹捎枚喾N方式、諸如用于證明符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(例如，有關(guān)的ISO標(biāo)準(zhǔn))及其它與可靠性相關(guān)的用途的方式來將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在跟蹤數(shù)據(jù)庫(kù)134中。
本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及通過利用由本地主處理器122和/或研磨機(jī)控制器130所獲得的、存儲(chǔ)在可由本地主處理器122訪問的一個(gè)或多個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)中的數(shù)據(jù)來使研磨處理操作最優(yōu)化。在一個(gè)或多個(gè)處理周期中可存儲(chǔ)諸如處理速度、溫度、研磨接觸壓力、研磨產(chǎn)品張力等與具體的制品和/或研磨產(chǎn)品有關(guān)的多種處理參數(shù)。為具體處理而獲得的其它效益數(shù)據(jù)可包括處理時(shí)間和研磨處理(例如平面)效率和質(zhì)量。該數(shù)據(jù)最好自動(dòng)獲得，但也可利用人工送入途徑輸入。
該歷史性性能數(shù)據(jù)可為本地主處理器122所用，以使諸如晶片平面或磨光處理之類的研磨處理自動(dòng)最優(yōu)化。本地主處理器122可適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)一個(gè)或多個(gè)處理參數(shù)，以便在處理時(shí)間和/或處理質(zhì)量方面使給定的研磨處理最優(yōu)化。對(duì)給定處理的調(diào)節(jié)可由用于當(dāng)前操作處理和用于未來處理的本地主處理器122所進(jìn)行。
參閱圖11，本地主處理器122還與存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136通信，用于管理研磨產(chǎn)品和要被研磨處理的制品的存貨。該存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136存儲(chǔ)涉及研磨產(chǎn)品的當(dāng)前庫(kù)存和位于一個(gè)或多個(gè)處理設(shè)備上的目標(biāo)制品的數(shù)據(jù)。通常，進(jìn)入一設(shè)備的新的庫(kù)存品被送入到存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136中。當(dāng)庫(kù)存品在是研磨產(chǎn)品的情況下時(shí)被消耗、或者在是要經(jīng)受研磨處理的制品的情況下時(shí)被處理時(shí)，存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136較佳地被實(shí)時(shí)更新，以便反映當(dāng)前的庫(kù)存可用性和利用情況。處理器122監(jiān)控存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136中所反映出的研磨產(chǎn)品和制品的存貨量260、262。處理器122還監(jiān)控在各處理工位或設(shè)備上進(jìn)行處理的制品的產(chǎn)量266。
當(dāng)與存貨數(shù)據(jù)庫(kù)136相互作用時(shí)，處理器122可執(zhí)行多種功能。例如，處理器122可確定在一個(gè)或多個(gè)處理設(shè)備上的研磨產(chǎn)品的使用率264?；诎v史性數(shù)據(jù)、當(dāng)前指令以及所映射出的未來需要在內(nèi)的多種因素，處理器122可確定手頭是否有足夠數(shù)量的具體研磨產(chǎn)品來及時(shí)地處理給定數(shù)量的特定制品268。倘若處理器122確定給定的研磨產(chǎn)品在當(dāng)前或未來會(huì)或者可能會(huì)不足，則標(biāo)識(shí)短缺的研磨產(chǎn)品270，并確定各自所需的數(shù)量272。處理器可進(jìn)一步調(diào)配所需的研磨產(chǎn)品274。
處理器122可進(jìn)一步查詢具體的目標(biāo)制品是否短缺276。如果是的話，則標(biāo)識(shí)短缺的目標(biāo)制品278，確定所需的各制品的數(shù)量280，并且諸如通過調(diào)配或制造來獲取所需的制品的新的補(bǔ)給282。
本地主處理器122可與包括機(jī)器統(tǒng)計(jì)量數(shù)據(jù)庫(kù)128在內(nèi)的其它數(shù)據(jù)庫(kù)通信。涉及研磨處理機(jī)的、用于一臺(tái)或多臺(tái)設(shè)備的統(tǒng)計(jì)量可被獲取并存儲(chǔ)在機(jī)器統(tǒng)計(jì)量數(shù)據(jù)庫(kù)128中。機(jī)器效益參數(shù)可包括運(yùn)行時(shí)間、因維修保養(yǎng)和更換的停工時(shí)間、處理產(chǎn)量、諸如研磨產(chǎn)品使用率之類的機(jī)器傳感器數(shù)據(jù)以及其它機(jī)器相關(guān)數(shù)據(jù)。利用存儲(chǔ)在機(jī)器統(tǒng)計(jì)量數(shù)據(jù)庫(kù)128中的數(shù)據(jù)可估計(jì)機(jī)器和人員的效能。
翻譯數(shù)據(jù)庫(kù)126可用于存儲(chǔ)用于各種編碼圖案數(shù)據(jù)格式的譯碼信息。例如，一種具體的研磨處理設(shè)備可配備有多個(gè)閱讀裝置，它們各自能夠感應(yīng)設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的不同類型的信息圖案。例如，第一閱讀裝置可被構(gòu)成為閱讀條型碼，而第二閱讀裝置可被構(gòu)成為閱讀字母數(shù)字標(biāo)記。在這種情況下，翻譯數(shù)據(jù)庫(kù)126可包含有用于將由第一閱讀裝置所閱讀的條型碼轉(zhuǎn)換或譯碼成相應(yīng)的電或光信號(hào)的翻譯表。該翻譯數(shù)據(jù)庫(kù)126還可包含有用于諸如通過利用光符識(shí)別算法將字母數(shù)字標(biāo)記轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電子或ASCII形式的翻譯表。在翻譯數(shù)據(jù)庫(kù)126中可支持、修改和更新其它的翻譯表，以便于譯碼編碼在研磨產(chǎn)品上的類型各異的信息圖案。
一種特殊處理數(shù)據(jù)庫(kù)132可由處理器122來通達(dá)，以便適應(yīng)針對(duì)給定的研磨產(chǎn)品或目標(biāo)制品的特殊的處理或操作要求。例如，研磨帶材可能在某些位置上具有制造時(shí)所標(biāo)識(shí)的某些缺陷。諸如信息幀的首部或獨(dú)立的數(shù)據(jù)塊之類的信息圖案可設(shè)置在研磨帶材上，通常位于該卷材的起始處，以作標(biāo)識(shí)缺陷的位置之用?；蛘?，這種缺陷位置信息可設(shè)置在筒芯或包裝材料上。當(dāng)被閱讀時(shí)，該缺陷位置信息為研磨機(jī)控制器130所用，以便在研磨處理期間刻意地避免使用有缺陷的位置。
或者，缺陷位置信息以及任何其它特殊的處理信息可由研磨產(chǎn)品制造商經(jīng)由與通信接口114相耦連的通信通道140傳送至本地主處理器122。要理解的是，可利用通信接口114來傳送和接受來自于與本地主處理器122相耦連的、或者以其它方式可由本地主處理器122訪問的數(shù)據(jù)庫(kù)的數(shù)據(jù)。
以上為圖示和描述的目的已對(duì)本發(fā)明的多種實(shí)施例進(jìn)行了描述。但該描述并不詳盡而不能將本發(fā)明局限在上述具體的形式中。根據(jù)上述原理可有多種變型和變化。例如，條型碼、伺服碼、周期記號(hào)等在本技術(shù)領(lǐng)域中是眾所周知的，它們可適用于以與本發(fā)明的原理相一致的方式促進(jìn)研磨處理控制和數(shù)據(jù)的獲取。記號(hào)的精確性取決于所要達(dá)到的目的，并且選擇適當(dāng)?shù)臉?biāo)記系統(tǒng)和用于各目的的編碼方案對(duì)于普通的從業(yè)人員而言是熟知的。
再例如，研磨產(chǎn)品可具有幾何形狀各異的平面結(jié)構(gòu)。研磨產(chǎn)品的形狀可為矩形、圓形或橢圓形，并且被構(gòu)成為用于直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。研磨產(chǎn)品還可采用具有固定長(zhǎng)度的卷材的形式，或者可為連續(xù)的卷材。例如，該卷材可構(gòu)成一種適用于在半導(dǎo)體晶片的制造期間使中間層平面化的立體復(fù)合固定卷材。研磨產(chǎn)品還可用于研磨處理應(yīng)用于多種場(chǎng)合中的硅、鍺、砷化鎵、玻璃、陶瓷、金屬、復(fù)合和木制品。
另外，研磨產(chǎn)品可構(gòu)成可相對(duì)移動(dòng)的墊件和研磨漿。根據(jù)本發(fā)明的原理，該墊件可以一種受控方式相對(duì)于制品移動(dòng)，以便該墊件和研磨漿研磨接觸制品。設(shè)置在墊件上的可機(jī)器辨別的圖案可在清潔操作之后被閱讀。根據(jù)研磨處理設(shè)備的構(gòu)造，可機(jī)器辨別的圖案可在研磨產(chǎn)品接觸制品之前在第一閱讀位置被閱讀以及在研磨制品接觸制品之后在第二閱讀位置被閱讀。
研磨產(chǎn)品還可具有一種復(fù)合結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包含有可附著至基層或下墊件上的研磨層。該下墊件可編碼有信息圖案，或者或另外，該信息圖案可設(shè)置在研磨層上。復(fù)合研磨產(chǎn)品可被制作成包含有剛性板，諸如聚碳酸酯板，其上覆有雙面粘合劑。一襯層粘接到粘合劑上，并且在該襯層上設(shè)有粘接材料層。諸如泡沫材料墊之類的彈性層可附著到剛性板的另一面上。該剛性板用于使復(fù)合研磨產(chǎn)品局部堅(jiān)硬，同時(shí)彈性墊又提供一定的順從性。
要注意的是，本發(fā)明的范圍并不受這些詳細(xì)描述的限制，而是由附加權(quán)項(xiàng)所限定。
權(quán)利要求
1.一種研磨處理制品的方法，包括提供包含有可機(jī)器辨別的圖案的研磨產(chǎn)品；將所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)；閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案；以及利用可機(jī)器辨別的圖案來控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品的移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案包括以電、光、機(jī)械或磁性中的一種或多種方式來閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案；所述可機(jī)器辨別的圖案包括索引信息、伺服信息、校準(zhǔn)信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息中的一種或多種；并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括利用所述伺服信息來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的速率。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括索引信息，并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括利用所述索引信息用計(jì)算機(jī)確定所述研磨產(chǎn)品研磨接觸所述制品時(shí)所處的位置。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括伺服信息，并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括利用所述伺服信息來控制研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的方向。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括校準(zhǔn)信息，并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括利用所述校準(zhǔn)信息來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品的校準(zhǔn)。
6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息，所述方法還包括驗(yàn)證所述研磨產(chǎn)品是否適用于研磨處理所述制品，并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括響應(yīng)已驗(yàn)證所述研磨產(chǎn)品不適用于研磨處理所述制品來禁止所述研磨產(chǎn)品移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括可機(jī)器辨別的電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征或磁性特征的至少其中之一。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括標(biāo)記、突部、凹部、凹口、孔、空洞、顏色或顏料變化、條型碼、磁性轉(zhuǎn)變或周期性記號(hào)中的一種或多種。
9.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括至少第一圖案部分和第二圖案部分，所述第一圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征不同于由所述第二圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案包括標(biāo)識(shí)所述研磨產(chǎn)品的一個(gè)或多個(gè)有缺陷的區(qū)域的位置的信息，并且控制研磨產(chǎn)品的移動(dòng)包括利用所述缺陷標(biāo)識(shí)信息來控制所述研磨產(chǎn)品的移動(dòng)，以避免有缺陷的區(qū)域與所述制品之間相接觸。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述研磨產(chǎn)品包括墊件和研磨漿、拋光或磨光薄膜或者織物基層的其中之一。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案還包括在所述研磨產(chǎn)品接觸所述制品之前閱讀位于第一閱讀位置上的可機(jī)器辨別的圖案，以及在所述研磨產(chǎn)品接觸所述制品之后閱讀位于第二閱讀位置上的可機(jī)器辨別的圖案。
13.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述制品包括硅制品、鍺制品、砷化鎵制品、玻璃制品、陶瓷制品、復(fù)合制品、木制品或金屬制品、或者半導(dǎo)體晶片。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括使研磨處理方法的參數(shù)最優(yōu)化；所述參數(shù)包括研磨產(chǎn)品的速度、溫度、張力或形成于所述研磨產(chǎn)品與所述制品之間的接觸壓力中的一種或多種。
15.一種研磨處理制品的研磨產(chǎn)品，包括具有第一表面和第二表面的基層；置于所述第一表面上的磨料；以及設(shè)置在所述第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上的可機(jī)器辨別的圖案，所述圖案用于產(chǎn)生供控制所述磨料相對(duì)于所述制品移動(dòng)用的控制信號(hào)。
16.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括可機(jī)器辨別的電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征或磁性特征。
17.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括設(shè)置在所述第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上的標(biāo)記。
18.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括設(shè)置在所述第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上的突部、凹部或凹口中的一種或多種。
19.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括條型碼。
20.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括伺服信息、索引信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息。
21.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括至少第一圖案部分和第二圖案部分，所述第一圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征不同于由所述第二圖案部分所呈現(xiàn)的可機(jī)器辨別的特征。
22.如權(quán)利要求21所述的產(chǎn)品，其特征在于，還包括附著在所述研磨產(chǎn)品上的一個(gè)或多個(gè)突部，其中所述第一圖案部分設(shè)置在所述第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上，并且所述第二圖案部分設(shè)置在所述突部的一個(gè)或多個(gè)上。
23.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述第二表面大致平行于所述第一表面取向。
24.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述第二表面大致垂直于所述第一表面取向。
25.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述研磨產(chǎn)品具有連續(xù)卷材結(jié)構(gòu)、帶狀結(jié)構(gòu)或者離散板狀結(jié)構(gòu)。
26.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述研磨產(chǎn)品包括墊件和研磨漿、拋光或磨光薄膜或者織物基層的其中之一。
27.如權(quán)利要求15所述的產(chǎn)品，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案設(shè)置在可附著在所述第一表面或第二表面上、或者兩個(gè)表面上的標(biāo)簽上。
28.一種研磨處理制品的設(shè)備，包括用于支承研磨產(chǎn)品的支座，所述研磨產(chǎn)品包括可機(jī)器辨別的圖案；用于使所述制品與所述研磨產(chǎn)品接觸和脫離的安裝固定裝置；用于將所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的致動(dòng)器；檢測(cè)所述可機(jī)器辨別的圖案的檢測(cè)器；以及利用所述可機(jī)器辨別的圖案來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的控制器。
29.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述檢測(cè)器包括電檢測(cè)器、光檢測(cè)器、機(jī)械檢測(cè)器或磁性檢測(cè)器中的一種或多種。
30.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述檢測(cè)器檢測(cè)設(shè)置在所述可機(jī)器辨別的圖案中的索引信息、伺服信息、校準(zhǔn)信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息中的一種或多種。
31.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括索引信息，并且所述控制器利用所述索引信息用計(jì)算機(jī)確定所述研磨產(chǎn)品研磨接觸所述制品時(shí)所處的位置。
32.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括伺服信息，并且所述控制器利用所述伺服信息來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的速率。
33.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括伺服信息，并且所述控制器利用所述伺服信息來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品移動(dòng)的方向。
34.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括校準(zhǔn)信息，并且所述控制器利用所述校準(zhǔn)信息來控制所述研磨產(chǎn)品相對(duì)于所述制品的校準(zhǔn)。
35.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息，并且所述控制器在移動(dòng)所述研磨產(chǎn)品以使其接觸所述制品之前先驗(yàn)證所述研磨產(chǎn)品是否適用于研磨處理所述制品。
36.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述可機(jī)器辨別的圖案包括標(biāo)識(shí)所述研磨產(chǎn)品的一個(gè)或多個(gè)有缺陷的區(qū)域的位置的信息，并且所述控制器利用所述缺陷標(biāo)識(shí)信息來控制所述研磨產(chǎn)品的移動(dòng)，以避免有缺陷的區(qū)域與所述制品之間相接觸。
37.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述制品包括硅制品、鍺制品、砷化鎵制品、玻璃制品、陶瓷制品、復(fù)合制品、木制品或金屬制品。
38.如權(quán)利要求28所述的設(shè)備，其特征在于，所述制品包括半導(dǎo)體晶片。
39.一種獲取與利用研磨處理設(shè)備來處理制品相關(guān)的信息的方法，所述方法包括提供包含有可機(jī)器辨別的圖案的研磨產(chǎn)品；閱讀所述可機(jī)器辨別的圖案；利用所述可機(jī)器辨別的圖案從數(shù)據(jù)庫(kù)中獲得所述研磨產(chǎn)品的標(biāo)識(shí)符；利用所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品產(chǎn)生與制品的處理相關(guān)的數(shù)據(jù)；以及將所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中。
40.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，還包括利用所述研磨處理設(shè)備來標(biāo)識(shí)待處理的制品；以及利用所述數(shù)據(jù)庫(kù)來驗(yàn)證用所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品來處理所述被標(biāo)識(shí)的制品是否適當(dāng)。
41.如權(quán)利要求40所述的方法，其特征在于，標(biāo)識(shí)制品包括將所述制品的標(biāo)識(shí)符人工或者電輸入到所述數(shù)據(jù)庫(kù)中。
42.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，還包括響應(yīng)已驗(yàn)證所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品不適用于研磨處理所述被標(biāo)識(shí)的制品來禁止使用所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品處理所述被標(biāo)識(shí)的制品。
43.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生數(shù)據(jù)包括產(chǎn)生與所述制品被處理時(shí)所處的所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品的位置相關(guān)的數(shù)據(jù)。
44.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生數(shù)據(jù)包括產(chǎn)生與所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品或制品、或者兩者相關(guān)的存貨數(shù)據(jù)。
45.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生數(shù)據(jù)包括產(chǎn)生與利用所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品來處理一個(gè)或多個(gè)制品相關(guān)的統(tǒng)計(jì)量。
46.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生數(shù)據(jù)包括產(chǎn)生與利用所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品來處理的制品產(chǎn)量相關(guān)的數(shù)據(jù)。
47.如權(quán)利要求39所述的方法，其特征在于，還包括將存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的處理數(shù)據(jù)傳送至遠(yuǎn)程定位的處理器。
48.一種獲取涉及利用研磨處理設(shè)備來處理制品的信息的系統(tǒng)，包括與所述研磨處理設(shè)備相耦連的控制器；與所述控制器相耦連、用于檢測(cè)設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的、為研磨處理設(shè)備研磨處理制品所用的可機(jī)器辨別的圖案的檢測(cè)器；與存儲(chǔ)器相耦連的主處理器；以及將所述主處理器與所述研磨處理設(shè)備的控制器相耦連的接口，所述主處理器接收來自于所述控制器的、與所述研磨產(chǎn)品相關(guān)的標(biāo)識(shí)信息，并將所述研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中。
49.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述主處理器或所述控制器利用所述研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息將所述可機(jī)器辨別的圖案轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)。
50.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，要利用所述研磨處理設(shè)備進(jìn)行處理的制品的標(biāo)識(shí)被存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中，所述主處理器使所述制品標(biāo)識(shí)與所述研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息相關(guān)聯(lián)，以便驗(yàn)證所述研磨產(chǎn)品是否適用于處理所述制品。
51.如權(quán)利要求50所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述主處理器響應(yīng)已驗(yàn)證所述研磨產(chǎn)品不適用于處理所述制品而將禁止信號(hào)傳送至所述控制器，所述控制器響應(yīng)所述禁止信號(hào)而禁止處理所述制品。
52.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括輸入裝置，利用所述輸入裝置將所述制品標(biāo)識(shí)輸入到所述存儲(chǔ)器中；所述輸入裝置包括鍵盤、聲音識(shí)別裝置、光掃描裝置或者條型碼閱讀器。
53.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器產(chǎn)生與所述制品被處理時(shí)所處的所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品的位置相關(guān)的數(shù)據(jù)，所述控制器將所述數(shù)據(jù)傳送至所述主處理器。
54.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器產(chǎn)生與所述被標(biāo)識(shí)的研磨產(chǎn)品或所述制品、或者兩者相關(guān)的存貨數(shù)據(jù)。
55.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器產(chǎn)生與利用所述研磨產(chǎn)品來處理一個(gè)或多個(gè)制品相關(guān)的統(tǒng)計(jì)量。
56.如權(quán)利要求48所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器產(chǎn)生與利用所述研磨產(chǎn)品來處理的制品產(chǎn)量相關(guān)的數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種用于研磨處理制品(24)的設(shè)備(20)和方法包括使用設(shè)有代表類型各異的信息的可機(jī)器辨別的圖案的研磨產(chǎn)品(30)。當(dāng)研磨產(chǎn)品相對(duì)于制品移動(dòng)時(shí)閱讀圖案,并用于控制研磨產(chǎn)品(30)相對(duì)于制品(24)的移動(dòng)。圖案可包括可機(jī)器辨別的電學(xué)特征、光學(xué)特征、標(biāo)高特征或磁性特征中的一種或多種。閱讀圖案可包括以電、光、機(jī)械或磁性中的一種或多種方式來閱讀設(shè)置在研磨產(chǎn)品上的可機(jī)器辨別的圖案。該圖案可包括標(biāo)記、突部、凹部、孔、空洞、顏色或顏料變化、條型碼、磁性轉(zhuǎn)變或周期性記號(hào)中的一種或多種。圖案可包括索引信息、伺服信息、校準(zhǔn)信息或研磨產(chǎn)品標(biāo)識(shí)信息中的一種或多種。利用伺服/索引圖案信息可對(duì)研磨產(chǎn)品的移動(dòng)進(jìn)行閉環(huán)伺服控制。研磨產(chǎn)品可構(gòu)成可移動(dòng)的墊件和研磨漿。該墊件(30)可以受控的方式相對(duì)于制品(24)移動(dòng),以使墊件(30)和研磨漿研磨接觸制品(24)?？稍谇鍧嵅僮髦箝喿x設(shè)置在墊件上的圖案。信息系統(tǒng)可用于存儲(chǔ)部分地來自于研磨產(chǎn)品的圖案信息的使用的多種類型的數(shù)據(jù)。所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)可用于多種標(biāo)識(shí)、跟蹤、計(jì)算、存貨、處理和統(tǒng)計(jì)目的。
文檔編號(hào)B24B49/00GK1352588SQ99816602
公開日2002年6月5日 申請(qǐng)日期1999年9月20日 優(yōu)先權(quán)日1999年5月28日
發(fā)明者C·R·庫(kù)梅思, M·J·米倫伯格, G·B·福斯伯格, R·J·斯特雷費(fèi)爾, 小D·B·彭德格拉斯 申請(qǐng)人:3M創(chuàng)新有限公司