煉)，其中熔煉時真空度為〇.IPa，最高熔煉溫度為 1700°C，精煉時間為9min，澆鑄溫度為1550°C;
[0042] (3)鍛造：將熔煉所得錠坯放入馬弗爐中，在1200°C條件下保溫3小時后進行熱 鍛，鍛造后板坯的規(guī)格為：235*175*35mm;
[0043] (4)熱處理：將鍛造后的板坯放入馬弗爐中，在1260°C條件下保溫處理24小時，然 后空冷至室溫；
[0044] (5)軋制：將熱處理后的板坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中，在1150°C保溫1小時后進 行熱軋，得到規(guī)格為500*177*16mm的板坯；然后自然冷卻到室溫，在室溫下進行冷軋，冷軋 時道次變形量為10%，總變形量為53%，冷軋后板坯的規(guī)格為1050*179*7. 6mm。
[0045] (6)機加工：將冷軋后的Ni-Fe-W合金板坯按尺寸要求機加工，先線切割成規(guī)定尺 寸的圓片，再用車床車成符合尺寸精度的Ni-Fe-W合金靶材。
[0046] 本實施例制備的合金靶材成品的性能參見表1。從圖2可知，該實施例制備的合金 靶材無成分偏析。
[0047] 實施例3
[0048] 本實施例制備的Ni-Fe-W合金圓盤按原子百分比由以下元素組成：Fe20%，W2%， Ni78%。
[0049] 本實施例制備的合金圓盤的規(guī)格為〇 170X6. 35mm。
[0050] 制造方法如下：
[0051] (1)配料：按上述合金靶材成分的設計要求稱取99. 95%的高純鎳、99. 95%的高 純鐵和99. 95%的高純鎢棒；
[0052] (2)熔煉、鑄錠：將稱好的鎳、鐵和鎢金屬塊放入真空感應熔煉爐中，按正常的冶煉 工藝冶煉（即按本領域熟知的工藝進行冶煉)，其中熔煉時真空度為〇.IPa，最高熔煉溫度為 1700°C，精煉時間為6min，澆鑄溫度為1530°C;
[0053] (3)鍛造：將熔煉所得錠坯放入馬弗爐中，在1000°C條件下保溫2小時后進行熱 鍛，得到規(guī)格為230*175*35mm的板坯；
[0054] (4)熱處理：將鍛造后的板坯放入馬弗爐中，在1200°C條件下保溫處理12小時，然 后空冷至室溫；
[0055] (5)軋制：將熱處理后的板坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中，在1000°C保溫1. 5小時后 進行熱軋，得到規(guī)格為470*177*16. 8mm的板坯；然后自然冷卻到室溫，在室溫下進行冷軋， 冷軋時道次變形量為10%，總變形量為56%，冷軋后板坯的規(guī)格為1060*179*7. 4mm。
[0056] (6)機加工：將冷軋后的Ni-Fe-W合金板坯按尺寸要求機加工，先線切割成規(guī)定尺 寸的圓片，再用車床車成符合尺寸精度的Ni-Fe-W合金靶材。
[0057] 本實施例制備的合金靶材成品的性能參見表1。
[0058] 實施例4
[0059] 本實施例制備的Ni-Fe-W合金圓盤按原子百分比由以下元素組成：FelO%，W15%， Ni65%。
[0060] 本實施例制備的合金圓盤的規(guī)格為〇 170X6. 35mm。
[0061] 制造方法如下：
[0062] (1)配料：按上述合金靶材成分的設計要求稱取99. 95%的高純鎳、99. 95%的高 純鐵和99. 95%的高純鎢棒；
[0063] (2)熔煉、鑄錠：將稱好的鎳、鐵和鎢金屬塊放入真空感應熔煉爐中，按正常的冶煉 工藝冶煉（即按本領域熟知的工藝進行冶煉)，其中熔煉時真空度為〇.IPa，最高熔煉溫度為 1700°C，精煉時間為lOmin，澆鑄溫度為1580°C;
[0064] (3)鍛造：將熔煉所得錠坯放入馬弗爐中，在1KKTC條件下保溫3小時后進行熱 鍛，得到規(guī)格為220*175*35mm的板坯；
[0065] (4)熱處理：將鍛造后的板坯放入馬弗爐中，在1250°C條件下保溫處理36小時，然 后空冷至室溫；
[0066] (5)軋制：將熱處理后的板坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中，在1250°C保溫1. 5小時后 進行熱軋，得到規(guī)格為490*177*15. 7mm的板坯；然后自然冷卻到室溫，在室溫下進行冷軋， 冷軋時道次變形量為10%，總變形量為51%，冷軋后板坯的規(guī)格為990*178*7. 7mm。
[0067] (6)機加工：將冷軋后的Ni-Fe-W合金板坯按尺寸要求機加工，先線切割成規(guī)定尺 寸的圓片，再用車床車成符合尺寸精度的Ni-Fe-W合金靶材。
[0068] 本實施例制備的合金靶材成品的性能參見表1。
[0069] 對比例1
[0070] 該對比例制備的Ni-Fe-W合金圓盤中各元素的含量與實施例2相同。
[0071] 該對比例制備的合金圓盤的規(guī)格為〇 170X6. 35mm。
[0072] 該對比例的制造方法省略了實施例2中步驟（4)的熱處理步驟，其他步驟與實施 例2相同，也就是說，鍛造后的板坯直接進入軋制步驟。
[0073] 該對比例制備的合金靶材成品的性能參見表1。從圖3可知，對比例1制備的合金 靶材存在較嚴重的成分偏析。
[0074] 對比例2
[0075] 該對比例制備的Ni-Fe-W合金圓盤中各元素的含量與實施例2相同。
[0076] 該對比例制備的合金圓盤的規(guī)格為〇 170X6. 35mm。
[0077] 該對比例的制造方法中除軋制步驟（5)與實施例2不同外，其他步驟與實施例2相 同，該對比例的軋制步驟為：將熱處理后的板坯放入軋鋼加熱的馬弗爐中，在1150°C保溫1 小時后進行熱軋，得到的軋件規(guī)格為1050*179*7. 6mm。
[0078] 該對比例制備的合金靶材成品的性能參見表1。
[0079] 表1本發(fā)明實施例及對比例的產(chǎn)品性能表
[0080]
【主權項】
1. 一種Ni-Fe-W合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下元素組成：Fe2-20%， W2-15%，Ni65 ~96%。
2. 根據(jù)權利要求1所述的Ni-Fe-W合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下元素組 成：FelO%，W8%，Ni82%。
3. -種權利要求1-2任一所述的Ni-Fe-W合金靶材的制造方法，其特征在于，依次包 括配料步驟，熔煉、鑄錠步驟，鍛造步驟，熱處理步驟，乳制步驟和機加工生產(chǎn)成品步驟，其 中： 在所述熔煉、鑄錠步驟中，所述熔煉是采用真空感應熔煉，其中精煉時間為5~10分 鐘；在熔煉后的合金液體溫度達到液相線以上50~100°C時進行澆鑄； 在所述鍛造步驟中，將鑄錠在1000~1300°C條件下保溫2~4小時后進行鍛造以得到 鍛坯； 在所述熱處理步驟中，將鍛坯在1200°C~1350°C條件下保溫12~36小時進行熱處 理。 在所述軋制步驟中，將熱處理后的板坯在1000~1250°c條件下保溫1~1. 5小時后進 行熱軋，然后冷卻至室溫并在室溫條件下進行冷軋，所述冷軋的總變形量為50%以上。
4. 根據(jù)權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，將熱處理后的板 坯放入軋鋼加熱的馬弗爐以在1100~1200°C條件下保溫1~1. 5小時。
5. 根據(jù)權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述配料步驟中使用的金屬原料 的純度在99. 95%以上。
6. 根據(jù)權利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述軋制步驟中，所述冷軋的總變 形量為50-70%。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種Ni-Fe-W合金靶材及其制造方法。該靶材按原子百分比由以下元素組成：Fe2-20%，W2-15%，Ni65～96%。其制造方法依次包括配料步驟，熔煉、鑄錠步驟，鍛造步驟，熱處理步驟，軋制步驟和機加工生產(chǎn)成品步驟。采用本發(fā)明的制造方法得到的合金靶材具有成品成分控制精確，成分分布均勻、無偏析，無夾雜，晶粒細小均勻，成品的純度高，密度大，磁透率高且各處均勻等優(yōu)點。
【IPC分類】C23C14-35, C22C1-02, C22C19-03
【公開號】CN104651788
【申請?zhí)枴緾N201310596436
【發(fā)明人】張鳳戈, 穆健剛, 李建奎, 姚偉, 梁俊才, 姜海, 馬志偉, 文彬, 王雷
【申請人】安泰科技股份有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月21日