高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空薄膜加工領(lǐng)域，具體地涉及一種高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前真空薄膜的玻璃或陶瓷在表面的各種硬度及功能，都采用“真空制程工藝方式”或是“真空加上表面UV涂層制程工藝方式”。該工藝生產(chǎn)成本較低，工藝屬于新型或是與傳統(tǒng)相互搭配。但是該工藝還存在一下缺點(diǎn):
1、噴漆UV涂層外觀偏黃，變化顏色有些限制。
[0003]2、工藝生產(chǎn)過程容易產(chǎn)生氣泡、顆粒、毛肩等不良，制程不良率高。
[0004]3、轉(zhuǎn)換設(shè)備取放、搬運(yùn)、儲(chǔ)藏中，易造成毛肩粉塵的吸附不良。
[0005]4、成品表面防污、防水等功能性較差。
[0006]5、表面硬度級(jí)別，鉛筆硬度一般介于5~6H之間，不能滿足特殊客戶要求。
[0007]6、無(wú)法通過水煮測(cè)試，在100°C +/_2°C純凈水，水煮1min時(shí)有變色、起泡、腐蝕等異?，F(xiàn)象。
[0008]7、長(zhǎng)期進(jìn)行接觸操作時(shí)，易發(fā)生涂層表面有輕微劃痕、露底材、脫落、劃傷現(xiàn)象等，不能滿足特殊客戶的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明目的是:提供一種高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝，可使得薄膜層的硬度具有達(dá)鉛筆硬度9H以上，同時(shí)還可以具有過防污、防指紋、防水等功能。
[0010]本發(fā)明的技術(shù)方案是:
一種高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝，包括以下步驟:
a.原材料質(zhì)量檢驗(yàn):對(duì)原材料的加工表面劃痕、外觀潔凈度進(jìn)行質(zhì)量檢查；
b.真空設(shè)備抽真空處理:將符合規(guī)格要求的原材料安置在工裝治具上，送入真空設(shè)備內(nèi)進(jìn)行抽真空后得到材料A;
c.電漿清洗處理:將材料A送入電漿離子源設(shè)備內(nèi)，同時(shí)沖入第一工作氣體，設(shè)定預(yù)設(shè)壓力值進(jìn)行清洗處理后得到材料B;
d.電漿改質(zhì)處理:在改質(zhì)埃米材料區(qū)沖入第一工作氣體，電子槍通過高電壓電流，產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至埃米材料，使得埃米材料由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀在材料B表面形成薄膜層，得到材料C;
e.加硬埃米材料堆棧處理:在加硬功能埃米材料區(qū)沖入第二工作氣體，電子槍產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至加硬功能埃米材料區(qū)的埃米材料上，使得埃米材料由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀，埃米材料不斷沉積到材料C上，得到材料D;
f.功能埃米材料堆棧處理:在功能埃米材料區(qū)沖入第二工作氣體，電子槍產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至功能埃米材料區(qū)的埃米材料上，使得埃米材料由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀，埃米材料不斷沉積到材料D上，得到材料E;
g.冷卻破真空處理:材料E冷卻后，破真空取出；
h.成品質(zhì)量檢驗(yàn):檢查材料E合格后即得到成品。
[0011 ] 優(yōu)選的，所述第一工作氣體為氬氣。
[0012]優(yōu)選的，所述第二工作氣體為氬氣、氧氣或者氮?dú)狻?br>[0013]優(yōu)選的，所述原材料為塑膠材料、玻璃或者陶瓷。
[0014]優(yōu)選的，所述步驟d_f中的埃米材料為任意一種下列材料的埃米級(jí)材料:Si02、Ti3O5' Al2O3N ZrO2λ Nb2O50
[0015]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:
1、表面硬度級(jí)別可以達(dá)到鉛筆硬度9Η以上，能夠滿足特殊客戶要求。
[0016]2、可以通過水煮測(cè)試，在100°C +/_2°C純凈水，水煮1min時(shí)沒有變色、起泡、腐蝕等異常現(xiàn)象，對(duì)產(chǎn)品本身沒有影響。
[0017]3、長(zhǎng)期進(jìn)行接觸操作時(shí)，表面沒有劃痕、露底材、脫落、劃傷現(xiàn)象等，全都能滿足特殊客戶的需求。
[0018]4、外觀顏色可控，沒有偏黃，可以靈活變化客戶需求的顏色。
[0019]5、工藝生產(chǎn)過程穩(wěn)定，生產(chǎn)過程自動(dòng)化控制不良率較低，制程良率高。由一臺(tái)設(shè)備完成整個(gè)制程，沒有轉(zhuǎn)換設(shè)備取放、搬運(yùn)、儲(chǔ)藏等，不會(huì)造成毛肩粉塵的吸附問題。
[0020]6、成品表面可以獲得具有防污、防指紋、防水等等多種功能。
【附圖說明】
[0021]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述:
圖1為本發(fā)明高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明了，下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)該理解，這些描述只是示例性的，而并非要限制本發(fā)明的范圍。此外，在以下說明中，省略了對(duì)公知結(jié)構(gòu)和技術(shù)的描述，以避免不必要地混淆本發(fā)明的概念。
[0023]實(shí)施例1:
如圖1所示，一種高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝，包括以下步驟:
a.玻璃材料質(zhì)量檢驗(yàn):對(duì)玻璃材料的加工表面劃痕、外觀潔凈度進(jìn)行質(zhì)量檢查；
b.真空設(shè)備抽真空處理:將符合規(guī)格要求的玻璃材料安置在工裝治具上，送入真空設(shè)備內(nèi)進(jìn)行抽真空后得到材料A;
c.電漿清洗處理:將材料A送入電漿離子源設(shè)備內(nèi)，同時(shí)沖入氬氣，設(shè)定預(yù)設(shè)壓力值進(jìn)行清洗處理后得到材料B;
d.電漿改質(zhì)處理:在改質(zhì)埃米材料區(qū)沖入氬氣，電子槍通過高電壓電流，產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至埃米級(jí)S12，使得埃米級(jí)S12由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀在材料B表面形成薄膜層，得到材料C;
e.加硬埃米材料堆棧處理:在加硬功能埃米材料區(qū)沖入氮?dú)?，電子槍產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至加硬功能埃米材料區(qū)的埃米級(jí)ZrO2I，使得埃米級(jí)ZrO 2由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀，埃米級(jí)ZrO2F斷沉積到材料C上，得到材料D;
f.功能埃米材料堆棧處理:在功能埃米材料區(qū)沖入氬氣氣體，電子槍產(chǎn)生的電子束能量偏轉(zhuǎn)至功能埃米材料區(qū)的埃米級(jí)Nb2O5上，使得埃米級(jí)Nb 205由固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)分子狀，埃米級(jí)Nb2O5不斷沉積到材料D上，得到材料E;
g.冷卻破真空處理:材料E冷卻后，破真空取出；
h.成品質(zhì)量檢驗(yàn):將材料E進(jìn)行檢查合格后即得到成品。
[0024]實(shí)施例2:
一種高硬度埃米功能防護(hù)薄膜層制程工藝，包括以下步驟:
a.陶瓷材料質(zhì)量檢驗(yàn):對(duì)陶瓷材料的加工表面劃痕、外觀潔凈度進(jìn)行質(zhì)量檢查；<