一種等離子體物理面控制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種控制系統(tǒng)，具體涉及一種等離子體物理面控制系統(tǒng)，屬于磁控濺射鍍膜領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射鍍膜膜層均勻性直接影響著鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量，具體表現(xiàn)為產(chǎn)品透過率不均勻，鍍層顯色差，磁控濺射鍍膜技術(shù)一直被靶芯磁場(chǎng)強(qiáng)度設(shè)置不均勻，濺射靶材厚度和原料的變化等原因?qū)е碌入x子體密度發(fā)生變化和不均勻所困擾，為解決這一技術(shù)難題，德國(guó)人發(fā)明了等離子體密度控制法(PEM)，由于該方法投資成本高，其纖維探頭在等離子體內(nèi)容易被鍍層污染，所以很難推廣，目前國(guó)內(nèi)磁控濺射鍍膜線大部分在采用破空調(diào)控等離子體物理面的方法，這種方法由于破空而增加了抽氣時(shí)間，而且未必一次調(diào)控到位，二次破空的幾率也很多，這種調(diào)控方法不同程度提高了生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003](一)要解決的技術(shù)問題
為解決上述問題，本發(fā)明提出了一種等離子體物理面控制系統(tǒng)，在真空狀態(tài)下直接由電腦設(shè)置，伺服驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)輸入，蛇形鏈接的不銹鋼片按設(shè)置坐標(biāo)點(diǎn)產(chǎn)生位移來調(diào)控等離子體物理面，從而達(dá)到濺射鍍膜膜層均勻的目的。
[0004](二)技術(shù)方案
本發(fā)明的等離子體物理面控制系統(tǒng)，包括一組Y軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、兩組X軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、兩組型號(hào)相同的魚鱗屏蔽；所述魚鱗屏蔽安裝于孿生靶前的兩側(cè)基本擋板上；所述魚鱗屏蔽包括相互鏈接的十四片單面鱗片及基本擋板；所述單面鱗片安裝于孿生靶前的兩側(cè)基本擋板上；所述Y軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括Y軸伺服電機(jī)、Y軸滑杠及Y軸螺旋機(jī)構(gòu)；所述X軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括X軸伺服電機(jī)、X軸鱗片推動(dòng)桿、X軸一字齒條和X軸傳動(dòng)桿；
所述魚鱗屏蔽通過X軸位移推拉桿鏈接軸孔與X軸鱗片推動(dòng)桿連接；所述X軸鱗片推動(dòng)桿通過咬合柱與X軸一字齒條連接；所述X軸一字齒條通過X軸主傳動(dòng)齒輪與X軸傳動(dòng)桿嚙合；所述X軸傳動(dòng)桿安裝于Y軸滑杠內(nèi)部，所述X軸傳動(dòng)桿的一端通過磁流體對(duì)接螺母與X軸伺服電機(jī)連接；x軸傳動(dòng)桿經(jīng)過磁流體密封與X軸伺服電機(jī)連接的一端裝有X軸主傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)X軸一字齒條，從而帶動(dòng)X軸鱗片推拉桿使得魚鱗屏蔽進(jìn)行橫向坐標(biāo)位移；所述X軸伺服電機(jī)安裝于Y軸滑杠上方；所述Y軸滑杠通過X軸一字齒條固定架與Y軸滑杠導(dǎo)航桿上的直線軸承對(duì)接；所述Y軸滑杠上安裝有Y軸滑杠密封件；所述Y軸滑杠通過Y軸螺母橫桿對(duì)接方形法蘭與Y軸螺旋機(jī)構(gòu)固連接；所述Y軸螺旋機(jī)構(gòu)包括Y軸螺桿和Y軸螺母橫桿；所述Y軸螺桿活動(dòng)安裝于Y軸螺桿行程固定架；所述Y軸伺服電機(jī)設(shè)置于Y軸螺桿上方，Y軸螺桿上端安裝的Y軸伺服電機(jī)傳動(dòng)使得Y軸螺桿上下位移，從而聯(lián)動(dòng)兩個(gè)Y軸滑杠作同步上下位移。
[0005]進(jìn)一步地，所述每個(gè)單面鱗片的連接點(diǎn)處安裝有一 X軸鱗片推動(dòng)桿；所述魚鱗屏蔽上設(shè)置有十五個(gè)對(duì)接坐標(biāo)點(diǎn)和十五個(gè)位移坐標(biāo)點(diǎn)。
[0006]再進(jìn)一步地，所述魚鱗屏蔽由Imm蛇形鏈接的不銹鋼片制成。
[0007]進(jìn)一步地，所述X軸鱗片推動(dòng)桿上設(shè)置有推拉桿動(dòng)態(tài)鎖定滑道；所述推拉桿動(dòng)態(tài)鎖定滑道與基本擋板上的導(dǎo)航軸動(dòng)態(tài)鎖定。
[0008]進(jìn)一步地，所述X軸一字齒條固定架包括X軸一字齒條拖輪、X軸一字齒條抗輪、軸承及Y軸滑杠與導(dǎo)航桿直線軸承對(duì)接方形法蘭。
[0009]進(jìn)一步地，所述Y軸滑杠密封件包括密封體蓋，及設(shè)置于密封體蓋下方的銅套、軸封、雙真空抽氣孔和O型金屬圈；所述銅套設(shè)置于軸封的下方；所述O型金屬圈設(shè)置于雙真空抽氣孔內(nèi)側(cè)。
[0010]進(jìn)一步地，所述Y軸滑杠與Y軸滑杠導(dǎo)航桿設(shè)置于基本擋板后側(cè)。
[0011]進(jìn)一步地，所述X軸鱗片推動(dòng)桿上設(shè)置有X軸一字齒條咬合孔及鱗片鏈接軸孔。
[0012](三)有益效果
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的等離子體物理面控制系統(tǒng)，兩組魚鱗屏蔽分別安裝在孿生靶前的兩側(cè)基本擋板上，兩組魚鱗屏蔽完全對(duì)稱，每片坐標(biāo)點(diǎn)與對(duì)稱面準(zhǔn)確對(duì)應(yīng)，當(dāng)Y軸伺服驅(qū)動(dòng)時(shí)兩側(cè)同步對(duì)應(yīng)魚鱗屏蔽坐標(biāo)點(diǎn)，當(dāng)兩個(gè)X軸伺服驅(qū)動(dòng)時(shí)，相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)魚鱗屏蔽坐標(biāo)點(diǎn)做同步反向位移，通常在測(cè)得鍍膜工藝片坐標(biāo)點(diǎn)透過率值后，根據(jù)參數(shù)值設(shè)定對(duì)應(yīng)點(diǎn)之間的物理面，把設(shè)定的模擬坐標(biāo)點(diǎn)輸入電腦控制系統(tǒng)Y軸伺服驅(qū)動(dòng)使Y軸和X軸開始動(dòng)作，把每個(gè)魚鱗屏蔽坐標(biāo)點(diǎn)移動(dòng)到模擬的新坐標(biāo)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了通過更新坐標(biāo)點(diǎn)使魚鱗屏蔽產(chǎn)生位移達(dá)到改變?yōu)R射物理面之目的。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明的魚鱗屏蔽的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明的X軸鱗片推動(dòng)桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3是本發(fā)明的X軸伺服驅(qū)動(dòng)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4是本發(fā)明的X軸一字齒條的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖5是本發(fā)明的Y軸螺旋機(jī)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖6是本發(fā)明的Y軸滑杠密封件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖7是本發(fā)明的Y軸滑杠導(dǎo)航桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]附圖中的零部件標(biāo)注為:1-單面鱗片，2-基本擋板，3-Y軸伺服電機(jī)，4-Y軸滑杠，5-X軸伺服電機(jī)，6-X軸鱗片推動(dòng)桿，7-X軸一字齒條，9-X軸位移推拉桿鏈接軸孔，10-咬合柱，11-磁流體對(duì)接螺母，12-Y軸滑杠導(dǎo)航桿，13-直線軸承，14-Y軸螺母橫桿對(duì)接方形法蘭，15-Y軸螺桿，16-Y軸螺桿行程固定架，17-推拉桿動(dòng)態(tài)鎖定滑道，18-X軸一字齒條拖輪，19-X軸一字齒條抗輪，20-軸承，21-Y軸滑杠與導(dǎo)航桿直線軸承對(duì)接方形法蘭，22-密封體蓋，23-銅套，24-軸封，25-雙真空抽氣孔，26-0型金屬圈，27-X軸一字齒條咬合孔，28-鱗片鏈接軸孔，29-X軸主傳動(dòng)齒輪。
【具體實(shí)施方式】
[0021]如圖1至圖7所示的等離子體物理面控制系統(tǒng)，包括一組Y軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、兩組X軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、兩組型號(hào)相同的魚鱗屏蔽；所述魚鱗屏蔽包括相互鏈接的十四片單面鱗片I及基本擋板2 ;所述單面鱗片I安裝于孿生靶前的兩側(cè)基本擋板2上；所述Y軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括Y軸伺服電機(jī)3、Y軸滑杠4及Y軸螺旋機(jī)構(gòu)；所述X軸伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括X軸伺服電機(jī)5、X軸鱗片推動(dòng)桿6、X軸一字齒條7和X軸傳動(dòng)桿(未圖不)；
所述魚鱗屏蔽通過X軸位移推拉桿鏈接軸孔9與X軸鱗片推動(dòng)桿6連接；所述X軸鱗片推動(dòng)桿6通過咬合柱10與X軸一字齒條7連接；所述X軸一字齒條7通過X軸主傳動(dòng)齒輪29與X軸傳動(dòng)桿(未圖示)嚙合；