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一種厚銅板蝕刻工藝的制作方法

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一種厚銅板蝕刻工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明線路板生產(chǎn)工藝,尤其涉及一種厚銅板蝕刻工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子、通信產(chǎn)品的飛速發(fā)展,信號(hào)傳輸量增加、傳輸速度加快,使得印刷線路板的設(shè)計(jì)朝著高頻率、高功率、微型化的方向進(jìn)行,信號(hào)功率高、電流大、電壓高對(duì)印刷線路板的面銅厚度和孔銅厚度提出了更高的要求。目前的這種厚銅板蝕刻,因?yàn)樵O(shè)備、藥水的局限性,會(huì)存在蝕刻均勻性差,測(cè)試過(guò)大等問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明解決了上述問(wèn)題,提供了一種厚銅板蝕刻工藝。
[0004]技術(shù)方案:一種厚銅板蝕刻工藝,包括以下步驟:
SI,壓模;在壓力3-10KG,溫度110-130度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上;
S2,曝光;按照線路需要位置,利用UV光對(duì)干膜進(jìn)行照射;
S3,顯影;利用碳酸鈉含量為1%的碳酸鈉溶液將曝光過(guò)程中沒(méi)有被UV光照射的部分溶解掉;
S4,蝕刻;將沒(méi)有干膜覆蓋的地方,利用氯化銅和鹽酸的混合液,將其溶解掉;
S5,測(cè)量線寬線距;利用二次元對(duì)蝕刻出來(lái)的線路進(jìn)行量測(cè),確保線寬控制在10%的誤差以內(nèi);
S6,退膜;利用強(qiáng)堿氫氧化鈉溶液,將被UV光照射后的干膜溶解掉。
[0005]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,在步驟SI前,還進(jìn)行前處理步驟;所述前處理步驟通過(guò)機(jī)械磨刷的方式,對(duì)厚銅板表面的清洗,并在厚銅板表面形成耕地式的表面。
[0006]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述步驟S4中,進(jìn)行蝕刻時(shí),將厚銅板線路面朝下放入蝕刻槽,并且按一定時(shí)間間隔將厚銅板水平旋轉(zhuǎn)90%,旋轉(zhuǎn)次數(shù)為4的整數(shù)倍。
[0007]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,在步驟S3后,對(duì)顯影后的厚銅板進(jìn)行檢驗(yàn),確保厚銅板是合格的。
[0008]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述干膜由聚酯薄膜、光致抗蝕劑膜及聚乙烯保護(hù)膜三部分層疊而成。
[0009]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,在步驟SI中,在壓力5KG,溫度115度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上。
[0010]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,在步驟SI中,在步驟S4中,蝕刻的速度1.39m/min。
[0011]有益效果:本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,其優(yōu)點(diǎn)在于,本發(fā)明將要蝕刻的線路面超下,這樣可以很好的避免水池效應(yīng),提高蝕刻因子,同時(shí)提高蝕刻的均勻性,并且降低由于設(shè)備、藥水的局限性帶來(lái)的報(bào)廢成本,提高客戶的滿意度,縮短了生產(chǎn)周期,降低了生產(chǎn)成本。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】,進(jìn)一步闡明本發(fā)明。
實(shí)施例
[0013]本發(fā)明的蝕刻是利用酸性氯化銅溶液采用置換反應(yīng),將銅置換出來(lái)。由于傳統(tǒng)水平蝕刻線是上下噴淋的方式,完成藥液置換,當(dāng)銅太厚時(shí),藥液之后會(huì)受到局限性,如果將要蝕刻的線路面超下,這樣可以很好的避免水池效應(yīng),提高蝕刻因子。同時(shí),由于蝕刻機(jī)器的局限性,蝕刻采用噴管噴淋式完成藥液交換,但是噴管有一定的角度,所有對(duì)于橫向和豎向的藥水置換是不同的。本發(fā)明通過(guò)調(diào)整蝕刻速度,將蝕刻的次數(shù)定位4的倍數(shù),這樣在橫向和豎向完成很好的補(bǔ)償,確保均勻性。
[0014]本發(fā)明具體方案為一種厚銅板蝕刻工藝,包括以下步驟:
SI,壓模;在壓力3-10KG,溫度110-130度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上;
S2,曝光;按照線路需要位置,利用UV光對(duì)干膜進(jìn)行照射;
S3,顯影;利用碳酸鈉含量為1%的碳酸鈉溶液將曝光過(guò)程中沒(méi)有被UV光照射的部分溶解掉;
S4,蝕刻;將沒(méi)有干膜覆蓋的地方,利用氯化銅和鹽酸的混合液,將其溶解掉;
S5,測(cè)量線寬線距;利用二次元對(duì)蝕刻出來(lái)的線路進(jìn)行量測(cè),確保線寬控制在10%的誤差以內(nèi);
S6,退膜;利用強(qiáng)堿氫氧化鈉溶液,將被UV光照射后的干膜溶解掉。
[0015]在步驟SI前,最好進(jìn)行前處理步驟;所述前處理步驟通過(guò)機(jī)械磨刷的方式,對(duì)厚銅板表面的清洗,并在厚銅板表面形成耕地式的表面,提高后續(xù)壓膜步驟中的干膜與厚銅板表面的結(jié)合力。
[0016]為了提高蝕刻的均勻性,所述步驟S4中,進(jìn)行蝕刻時(shí),將厚銅板線路面朝下放入蝕刻槽,并且按一定時(shí)間間隔將厚銅板水平旋轉(zhuǎn)90%,旋轉(zhuǎn)次數(shù)為4的整數(shù)倍。
[0017]為了提高本發(fā)明的成品率,在步驟S3后,對(duì)顯影后的厚銅板進(jìn)行檢驗(yàn),確保厚銅板是合格的。
[0018]上述方案中,所述干膜由聚酯薄膜、光致抗蝕劑膜及聚乙烯保護(hù)膜三部分層疊而成。
[0019]作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,在步驟SI中,在壓力5KG,溫度115度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上。
[0020]對(duì)實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,包括以下步驟: SI,壓模;在壓力3-10KG,溫度110-130度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上; S2,曝光;按照線路需要位置,利用UV光對(duì)干膜進(jìn)行照射; S3,顯影;利用碳酸鈉含量為1%的碳酸鈉溶液將曝光過(guò)程中沒(méi)有被UV光照射的部分溶解掉; S4,蝕刻;將沒(méi)有干膜覆蓋的地方,利用氯化銅和鹽酸的混合液,將其溶解掉; S5,測(cè)量線寬線距;利用二次元對(duì)蝕刻出來(lái)的線路進(jìn)行量測(cè),確保線寬控制在10%的誤差以內(nèi); S6,退膜;利用強(qiáng)堿氫氧化鈉溶液,將被UV光照射后的干膜溶解掉。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,在步驟SI前,還進(jìn)行前處理步驟;所述前處理步驟通過(guò)機(jī)械磨刷的方式,對(duì)厚銅板表面的清洗,并在厚銅板表面形成耕地式的表面。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,所述步驟S4中,進(jìn)行蝕刻時(shí),將厚銅板線路面朝下放入蝕刻槽,并且按一定時(shí)間間隔將厚銅板水平旋轉(zhuǎn)90%,旋轉(zhuǎn)次數(shù)為4的整數(shù)倍。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,在步驟S3后,對(duì)顯影后的厚銅板進(jìn)行檢驗(yàn),確保厚銅板是合格的。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,所述干膜由聚酯薄膜、光致抗蝕劑膜及聚乙烯保護(hù)膜三部分層疊而成。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,在步驟SI中,在壓力5KG,溫度115度的條件下通過(guò)熱壓滾,將干膜均勻的壓覆在厚銅板上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚銅板蝕刻工藝,其特征在于,在步驟S4中,蝕刻的速度1.39m/min。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種厚銅板蝕刻工藝,包括以下步驟:S1,壓模;S2,曝光;S3,顯影;S4,蝕刻;S5,測(cè)量線寬線距;S6,退膜。本發(fā)明將要蝕刻的線路面超下,這樣可以很好的避免水池效應(yīng),提高蝕刻因子,同時(shí)提高蝕刻的均勻性,并且降低由于設(shè)備、藥水的局限性帶來(lái)的報(bào)廢成本,提高客戶的滿意度,縮短了生產(chǎn)周期,降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】C23F1/02, H05K3/06
【公開號(hào)】CN105154881
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510518279
【發(fā)明人】計(jì)向東
【申請(qǐng)人】昆山大洋電路板有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年8月21日
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