掩?？蚣芙M件和制造方法及有機發(fā)光顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的實施方式涉及用于薄膜沉積的掩模框架組件、用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的制造方法以及有機發(fā)光顯示裝置的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，作為有源發(fā)光型顯示元件，作為平坦式顯示器之一的有機發(fā)光顯示裝置不僅具有視角寬、對比度優(yōu)異的優(yōu)點，而且還具有能夠通過低電壓驅(qū)動、呈輕量的扁平狀并且響應(yīng)速度快的優(yōu)點，由此作為次世代顯示元件而備受矚目。
[0003]這種發(fā)光元件根據(jù)形成發(fā)光層的物質(zhì)劃分為無機發(fā)光元件和有機發(fā)光元件，并且相比于無機發(fā)光元件，有機發(fā)光元件具有亮度、響應(yīng)速度等特性優(yōu)秀、能夠以彩色顯示等的優(yōu)點，因此最近在廣泛進行著對其的開發(fā)。
[0004]有機發(fā)光顯示裝置通過真空沉積法形成有機膜和/或電極。然而，隨著有機發(fā)光顯示裝置逐漸被高分辨率化，沉積工藝時所用的掩模的開放式狹縫(open slit)的寬度逐漸變窄并且其散布也需要被進一步減小。
[0005]此外，為了制造高分辨率有機發(fā)光顯示裝置，需要減少或去除陰影現(xiàn)象(shadoweffect) ο為此，目前在襯底與掩模緊貼的狀態(tài)下進行沉積工藝，并且正在興起用于改善襯底與掩模的附接度的技術(shù)的開發(fā)。
[0006]上述的【背景技術(shù)】是發(fā)明人為得出本發(fā)明而擁有的技術(shù)信息或者在得出本發(fā)明的過程中習(xí)得的技術(shù)信息，并不一定是在本發(fā)明的申請前已公開于一般公眾的公知技術(shù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的實施方式提供了用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件、用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的制造方法以及有機發(fā)光顯示裝置的制造方法。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件，該用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件包括框架、掩模和第一固定部件，其中，所述框架具有開口部和支承部，所述掩模包括位于與所述開口部對應(yīng)的位置處的沉積區(qū)域，所述第一固定部件被注入到所述掩模以貫穿所述掩模并且與所述框架和所述掩模進行固定而將所述掩模固定至所述框架。
[0009]此外，所述第一固定部件可以通過電鑄鍍層法和非電解鍍層法中的至少一種方法被注入到所述掩模。
[0010]此外，所述第一固定部件可以包括鐵、鎳、銅、錫、金、不銹鋼(SUS)、因瓦合金(Invar alloy)、因康鎳合金(Inconel alloy)、可伐合金(Kovar alloy)、鐵合金、鎳合金中的至少一種。
[0011]此外，可以在所述框架的所述支承部形成有第一槽，可以在所述掩模上與所述第一槽對應(yīng)的位置處形成有第一孔，所述第一固定部件可以被注入到所述第一槽和所述第一孔。
[0012]此外，所述第一槽所形成的內(nèi)部空間的大小可以被形成為不同于所述第一孔所形成的內(nèi)部空間的大小，以使所述第一固定部件注入到所述第一槽的內(nèi)部空間中的一部分與所述掩模的底面的一部分接觸，或者使所述第一固定部件注入到所述第一孔的內(nèi)部空間中的一部分與所述支承部的頂面的一部分接觸。
[0013]此外，所述第一槽和所述第一孔中的至少一個可以被形成為錐形。
[0014]此外，所述第一孔可以具有注入部和連接部，其中，所述注入部供所述第一固定部件注入，所述連接部被形成為從所述注入部延伸并且供所述第一固定部件移動至所述第一槽。
[0015]此外，所述注入部的半徑可以被形成為比所述連接部的半徑大。
[0016]此外，所述框架可以具有與所述第一槽相隔而成的第二槽，所述掩?？梢栽谂c所述第二槽對應(yīng)的位置處具有與所述第一孔相隔而成的第二孔，并且所述用于薄膜沉積的掩模框架組件還可以包括注入到所述第二槽和所述第二孔的第二固定部件。
[0017]此外，所述掩?？梢员恍纬蔀榘粜螒B(tài)。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的制造方法，包括將第一槽形成在框架的支承部并且將第一孔形成在掩模的邊緣部與所述第一槽對應(yīng)的位置處的步驟、對準所述第一槽與所述第一孔的步驟、以及將第一固定部件注入到所述第一孔并且使所述第一固定部件填充至所述第一槽以固定所述框架與所述掩模的步驟。
[0019]此外，所述第一固定部件可以通過電鑄鍍層法和非電解鍍層法中的至少一種方法被注入。
[0020]此外，所述第一固定部件可以在100攝氏度以下的溫度下被注入。
[0021]此外，所述第一固定部件可以包括鐵、鎳、銅、錫、金、不銹鋼(SUS)、因瓦合金(Invar alloy)、因康鎳合金(Inconel alloy)、可伐合金(Kovar alloy)、鐵合金、鎳合金中的至少一種。
[0022]此外，所述第一槽所形成的內(nèi)部空間的大小可以被形成為不同于所述第一孔所形成的內(nèi)部空間的大小，以使所述第一固定部件注入到所述第一槽的內(nèi)部空間中的一部分與所述掩模的底面的一部分接觸，或者使所述第一固定部件注入到所述第一孔的內(nèi)部空間中的一部分與所述支承部的頂面的一部分接觸。
[0023]此外，所述第一槽和所述第一孔中的至少一個可以被形成為錐形。
[0024]此外，所述第一孔可以具有注入部和連接部，其中，所述注入部供所述第一固定部件注入，所述連接部被形成為從所述注入部延伸并且供所述第一固定部件移動至所述第一槽。
[0025]此外，所述注入部的半徑可以被形成為比所述連接部的半徑大。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了有機發(fā)光顯示裝置的制造方法，其涉及包括在襯底上彼此相對的第一電極和第二電極以及設(shè)置于所述第一電極與所述第二電極之間的有機膜的有機發(fā)光顯示裝置的制造方法，其中通過用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件沉積并形成所述有機膜或所述第二電極。
[0027]通過下面的附圖、權(quán)利要求的范圍和發(fā)明的詳細說明，除了上述以外的其他側(cè)面、特征和優(yōu)點也將變得明確。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的實施方式，用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件、用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的制造方法以及有機發(fā)光顯示裝置的制造方法通過最小化襯底與掩模之間的間隔并且減小掩模的熱變形可以精密地將有機發(fā)光元件形成在襯底上。
【附圖說明】
[0029]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實施方式的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的分解立體圖。
[0030]圖2是示出圖1的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的剖視圖。
[0031]圖3a至圖3e是示出圖1的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的變型例的局部剖視圖。
[0032]圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施方式的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的局部剖視圖。
[0033]圖5是設(shè)置有圖1的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的沉積裝置的剖視圖。
[0034]圖6是示出使用圖5所示的沉積裝置制造的有機發(fā)光顯示裝置的視圖。
[0035]圖7是示出圖1的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件的制造方法的方框圖。
【具體實施方式】
[0036]本發(fā)明可以實施多種變型并且可以具有多種實施方式，并且旨在附圖中示出特定實施方式并對其進行詳細說明。通過參照結(jié)合附圖詳細說明的實施方式，本發(fā)明的效果和特征以及實現(xiàn)其的方法將變得明確。然而，本發(fā)明并不限于下面所公開的實施方式，而是可以多種形態(tài)實現(xiàn)。在下面的實施方式中，“第一”、“第二”等的措辭并不具有限定的含義，而是以將一個構(gòu)成要素與其他構(gòu)成要素區(qū)分開的目的使用。此外，除非文中另有明確指示，否則單數(shù)的表述包括復(fù)數(shù)的表述。此外，“包括”或“具有”等的措辭是指說明書中所述記載的特征或構(gòu)成要素的存在，而不是提前排除一個以上的其他特征或構(gòu)成要素的附加可能性。
[0037]此外，為了說明的便利，附圖中構(gòu)成要素的大小可以被夸大或被縮小。例如，為了說明的便利，附圖中所示的各構(gòu)件的大小和厚度被任意示出，因此本發(fā)明并不一定限定于圖中所示。此外，當能夠以不同的方式實現(xiàn)某些實施方式時，特定的工藝可以按照與所說明的順序不同的順序執(zhí)行。例如，連續(xù)說明的兩個工藝可以實質(zhì)上同時執(zhí)行，也可以按照與所說明的順序相反的順序進行。
[0038]下面，將參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明，并且在參照附圖進行說明時，將對相同或?qū)?yīng)的構(gòu)成要素賦予相同的附圖標記，并且將省略對其的重復(fù)描述。
[0039]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的實施方式的用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件100的分解立體圖，圖2是示出圖1的用于薄膜沉積的掩模框架組件100的剖視圖。
[0040]參照圖1和圖2，用于薄膜沉積的掩模框架組件100可以包括框架10和掩模20。
[0041]框架10可以與掩模20結(jié)合以支承掩模20?？蚣?0可以包括開口部10a和支承部10b，其中，開口部10a可供沉積物質(zhì)通過，支承部10b形成在開口部10a的外側(cè)?？蚣?0可由金屬或合成樹脂等制成，并且可以形成為矩形形狀并具有一個以上的開口部10a，但是實施的思想并不限于此，而是可以形成為圓形或六邊形等多種形態(tài)。
[0042]支承部10b是與掩模20的邊緣部20b接觸的部分。支承部10b可以具有第一槽12。第一槽12可形成為多個。第一槽12的截面不限定于特定形狀，而是可以形成為多邊形、圓形或橢圓形。然而，為了說明的便利，下文中將以