研磨片酸腐蝕方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種研磨片酸腐蝕方法。
【背景技術(shù)】
[0002]研磨片酸腐蝕工藝中，酸的消耗是生產(chǎn)成本高的一個重要原因。在每片研磨片的酸腐蝕過程中，以及每次酸腐蝕工藝完成后，剩余的混合酸溶液中尚有部分酸未使用，在現(xiàn)有技術(shù)中，只能完全丟棄，無法繼續(xù)使用，這是造成生產(chǎn)成本高的原因之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可循環(huán)使用混合酸溶液的研磨片酸腐蝕的方法。
[0004]為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0005]研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:5-15%氫氟酸，30-40%硝酸，20-25%冰醋酸，其余為水；每腐蝕20_40um硅后補充一次腐蝕液；氣氟酸補充量為消耗量的1.5-2.5倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的
1.5-2倍；冰醋酸補充量與氣氟酸補充量相同。
[0006]優(yōu)選地是,使用的氫氟酸體積濃度為45-50 %。
[0007]優(yōu)選地是，使用的硝酸濃度為65-75 %。
[0008]優(yōu)選地是，使用的冰醋酸濃度為100 %。
[0009]本發(fā)明中的研磨片酸腐蝕方法，可將酸的總用量降低15%以上。
【具體實施方式】
[0010]下面對本發(fā)明進行詳細的描述:
[0011]實施例1
[0012]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:7%氫氟酸，35%硝酸，20%冰醋酸，其余為水；每腐蝕25um硅后補充一次腐蝕液；氫氟酸補充量為消耗量的1.8倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.5倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為45%。使用的硝酸濃度為65%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0013]實施例2
[0014]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:10%氫氟酸，35%硝酸，23%冰醋酸，其余為水；每腐蝕30um硅后補充一次腐蝕液；氫氟酸補充量為消耗量的2倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.5倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為47%。使用的硝酸濃度為70%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0015]實施例3
[0016]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:9%氫氟酸，35%硝酸，22%冰醋酸，其余為水；每腐蝕30um硅后補充一次腐蝕液；氫氟酸補充量為消耗量的1.7倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.8倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為49%。使用的硝酸濃度為70%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0017]實施例4
[0018]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:15%氫氟酸，40%硝酸，20%冰醋酸，其余為水；每腐蝕20um硅后補充一次腐蝕液；氣氟酸補充量為消耗量的1.5倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的2倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為50%。使用的硝酸濃度為65%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0019]實施例5
[0020]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:5%氫氟酸，30%硝酸，25%冰醋酸，其余為水；每腐蝕40um硅后補充一次腐蝕液；氫氟酸補充量為消耗量的2.5倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.5倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為50%。用的硝酸濃度為75%。用的冰醋酸濃度為100%。
[0021]實施例6
[0022]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:10%氫氟酸，32%硝酸，24%冰醋酸，其余為水；每腐蝕30um硅后補充一次腐蝕液；氣氟酸補充量為消耗量的1.9倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.6倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為48%。使用的硝酸濃度為69%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0023]實施例7
[0024]研磨片酸腐蝕方法，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:11%氫氟酸，36%硝酸，23%冰醋酸，其余為水；每腐蝕35um硅后補充一次腐蝕液；氣氟酸補充量為消耗量的1.7倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.8倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。使用的氫氟酸體積濃度為48%。使用的硝酸濃度為70%。使用的冰醋酸濃度為100%。
[0025]本發(fā)明中的酸腐蝕分兩步腐蝕
[0026]第一步:硝酸氧化硅，生成Si02。
[0027]Si+4HN03 — Si02+4N02+2H20。
[0028]第二步:HF溶解掉Si02，硝酸再繼續(xù)與硅反應(yīng)。
[0029]Si02+6HF — H2SiF6+H20。
[0030]冰醋酸起穩(wěn)定腐蝕速率和進程的作用。
[0031]本發(fā)明中的研磨片酸腐蝕方法，可將酸的總用量降低15%以上。
[0032]本發(fā)明中的實施例僅用于對本發(fā)明進行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本發(fā)明保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括:5-15%氫氟酸，30-40%硝酸，20-25%冰醋酸，其余為水；每腐蝕20_40um研磨片后補充一次腐蝕液；氣氟酸補充量為消耗量的1.5-2.5倍；硝酸補充量為補充的氣氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸補充量與氫<氟酸補充量相同。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用的氫氟酸體積濃度為45-50%。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用的硝酸濃度為65-75%。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用的冰醋酸濃度為100%。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種研磨片酸腐蝕方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蝕研磨片，混合酸溶液按體積百分比包括：5-15％氫氟酸，30-40％硝酸，20-25％冰醋酸，其余為水；每腐蝕20-40um研磨片后補充一次腐蝕液；氫氟酸補充量為消耗量的1.5-2.5倍；硝酸補充量為補充的氫氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸補充量與氫氟酸補充量相同。本發(fā)明中的研磨片酸腐蝕方法，可將酸的總用量降低15％以上。
【IPC分類】C23F1/24
【公開號】CN105297017
【申請?zhí)枴緾N201410370768
【發(fā)明人】茍欽澤, 江笠
【申請人】上海合晶硅材料有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2014年7月30日