飛散板、研磨輪及研磨裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種飛散板、研磨輪及研磨裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為研磨被研磨件的研磨輪，使用杯型的部件。一般杯型的研磨輪具有設(shè)于輪基座上的環(huán)狀的磨石。磨石具有沿著環(huán)狀的外周方向以既定間隔設(shè)置的多個(gè)刀片。另一方面，設(shè)置這種研磨輪的研磨裝置，具有能夠供給研磨液的供給配管。研磨輪被設(shè)于此供給配管的開口端側(cè)。
[0003]在這種研磨加工中，若研磨被研磨件，則磨石磨損，需要更換研磨輪。因此，從抑制成本增加的觀點(diǎn)來說，希望延長研磨輪的壽命。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特許第4921430號公報(bào)。
[0005]專利文獻(xiàn)2:日本特開平9-38866號公報(bào)。
[0006]為延長研磨輪的壽命，考慮增加磨石的高度尺寸。但是，在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下研磨時(shí)，與在較低的狀態(tài)下研磨的情況相比，距晶片研磨面的距離變遠(yuǎn)，所以，存在無法供給必要量的研磨液到晶片研磨面上的不良情況。因此，在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下研磨時(shí)，因?yàn)檠心ヒ旱墓┙o不足，有每一張晶片的磨石磨損量增大的問題。
[0007]因此，為抑制在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下的磨石磨損量，考慮下述方法:例如對應(yīng)磨石磨損量使研磨液的供給流量變化(參照專利文獻(xiàn)1 )。
[0008]但是，如在專利文獻(xiàn)1所述的方法中，有研磨液的供給流量的調(diào)整變復(fù)雜的問題。
[0009]此外，探討下述方法:使用具有被配置成放射狀的葉輪的飛散板，利用通過使該飛散板旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生的離心力，將研磨液供給至晶片研磨面(參照專利文獻(xiàn)2)。但是，在此方法中，有下述問題:由于需要設(shè)置葉輪，飛散板的構(gòu)造變得復(fù)雜。
[0010]綜上所述，在使經(jīng)由供給配管被供給的研磨液等供給液飛散的結(jié)構(gòu)中，期望以簡單的結(jié)構(gòu)將供給液向供給方向的飛散距離延長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的在于提供一種飛散板、研磨輪及研磨裝置，所述飛散板、研磨輪及研磨裝置結(jié)構(gòu)簡單且能夠抑制成本增加，同時(shí)能夠?qū)⒐┙o液向供給方向的飛散距離延長。
[0012]本發(fā)明的飛散板使經(jīng)由供給配管被供給的供給液飛散，其特征在于，具備板狀部件，前述板狀部件能夠配置成，在對置于前述供給配管的開口端的位置處，厚度方向與前述供給液的供給方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，在前述板狀部件上，在該板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心以外的部位上，設(shè)有在厚度方向上貫通且前述供給液能夠通過的飛散孔，前述飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面傾斜，使得位于對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部與位于非對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方，前述對置面對置于前述供給配管。
[0013]在此，作為供給液，只要是能夠經(jīng)由供給配管供給的液體即可，可以例示用于研磨、洗凈、化學(xué)反應(yīng)等的液體。另外，供給配管可以構(gòu)成為以與飛散板相同的速度旋轉(zhuǎn)或者以與飛散板不同的速度旋轉(zhuǎn)，也可以構(gòu)成為不旋轉(zhuǎn)。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，使飛散板的飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面旋轉(zhuǎn)，使得位于對置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部與位于非對置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方，前述對置面對置于前述供給配管。
[0015]若使上述結(jié)構(gòu)的飛散板在對置于供給配管的開口端的位置處旋轉(zhuǎn)，則從供給配管被排出的供給液進(jìn)入飛散孔。此時(shí)，考慮為，該壁面的傾斜移動至飛散板的旋轉(zhuǎn)方向的前方，由此對與飛散孔的旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面接觸的供給液施加向供給方向的力。因此，能夠在不調(diào)整供給液的供給流量的情況下，以僅使飛散孔的壁面如上述地傾斜的簡單結(jié)構(gòu)，來與以往的結(jié)構(gòu)相比延長供給液向供給方向的飛散距離。
[0016]另外，在本發(fā)明的飛散板中，優(yōu)選地，前述飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面傾斜，使得位于前述對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部與位于前述非對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，使飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面傾斜，使得位于對置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部與位于非對置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方。
[0018]因此，若從供給配管被排出的供給液到達(dá)飛散孔，則借助旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面的傾斜，該供給液被向旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)引導(dǎo)。因此，能夠借助飛散孔的旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面，增加被施加向排出方向的力的供給液的量，能夠進(jìn)一步延長供給液向排出方向的飛散距離。
[0019]另外，在本發(fā)明的飛散板中，優(yōu)選地，在前述板狀部件上設(shè)有多個(gè)前述飛散孔，多個(gè)前述飛散孔在以前述板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設(shè)置。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，將多個(gè)飛散孔在以板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設(shè)置。
[0021]因此，能夠借助在假想圓的圓周上等間隔地設(shè)置的多個(gè)穿孔，使供給液在圓周方向的任何方向上都均勻地飛散。
[0022]另外，在本發(fā)明的飛散板中，優(yōu)選的是，前述飛散孔設(shè)置成前述供給配管的開口邊緣的一部分位于前述對置面?zhèn)鹊拈_口內(nèi)。
[0023]例如在將供給配管構(gòu)成為能夠旋轉(zhuǎn)的情況下，供給液借助供給配管的旋轉(zhuǎn)而受到離心力，在被按壓在供給配管的內(nèi)壁面上的狀態(tài)下朝向供給配管的開口邊緣。因此，若構(gòu)成為飛散孔的對置面?zhèn)鹊拈_口全部位于供給配管的開口內(nèi)，且對置面?zhèn)鹊拈_口邊緣與供給配管的開口邊緣完全不重疊，則產(chǎn)生下述不良情況:在供給配管的整周范圍內(nèi)被按壓于供給配管的開口邊緣的供給液不進(jìn)入飛散孔，而滯留在供給配管中。
[0024]另一方面，根據(jù)本發(fā)明，構(gòu)成為，供給配管的開口邊緣的一部分位于飛散孔的對置面?zhèn)鹊拈_口內(nèi)，或者，對置面?zhèn)鹊拈_口邊緣的一部分和供給配管的開口邊緣的一部分重疊，所以，被按壓在供給配管的開口邊緣上的供給液不滯留在供給配管內(nèi)，能夠切實(shí)地進(jìn)入飛散孔。因此，能夠抑制供給液的飛散量的減少。
[0025]本發(fā)明的研磨輪使用經(jīng)由供給配管被供給的研磨液進(jìn)行被研磨件的研磨，其特征在于，具備輪基座和磨石，前述輪基座為大致板狀，能夠配置成，在對置于前述供給配管的開口端的位置處，厚度方向與前述供給液的供給方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，前述磨石被設(shè)置成從前述輪基座的不與前述供給配管對置的非對置面環(huán)狀地突出，被壓接在前述被研磨件上，在前述輪基座上，在該輪基座的旋轉(zhuǎn)中心以外的部位上設(shè)有在厚度方向上貫通且前述研磨液能夠通過的飛散孔，前述飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面傾斜，使得位于對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部與位于前述非對置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方，前述對置面對置于前述供給配管。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的研磨輪，在輪基座上設(shè)有與上述飛散板相同的飛散孔，所以，能夠在不調(diào)整研磨液的供給流量的情況下，以僅使飛散孔的壁面如上所述地傾斜的簡單結(jié)構(gòu)，來與以往的結(jié)構(gòu)相比進(jìn)一步延長供給液向供給方向的飛散距離。另外，即使在研磨輪的磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下，也能夠供給必要量的研磨液到被研磨件，不增大每一張被研磨件的磨石磨損量。因此，能夠延長研磨輪的壽命。
[0027]本發(fā)明的研磨裝置的特征在于，具備供給配管、飛散板和研磨輪，前述飛散板使研磨液飛散，前述研磨液作為經(jīng)由前述供給配管被供給的供給液，前述研磨輪使用由前述飛散板飛散的研磨液來進(jìn)行前述被研磨件的研磨。以下，也有稱其為本發(fā)明的第一研磨裝置的情況。
[0028]本發(fā)明的另一研磨裝置的特征在于，具備供給配管和上述研磨輪，前述研磨輪使用經(jīng)由前述供給配管被供給的研磨液來進(jìn)行被研磨件的研磨。以下，也有稱其為本發(fā)明的第二研磨裝置的情況。
[0029]根據(jù)本發(fā)明的第一研磨裝置及第二研磨裝置，能夠在不調(diào)整研磨液的供給流量的情況下，以僅使飛散孔的壁面如上所述地傾斜的簡單結(jié)構(gòu)，來與以往的結(jié)構(gòu)相比延長供給液向供給方向的飛散距離。另外，如上所述，能夠延長研磨輪的壽命。進(jìn)而，即使在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下，也能夠在不調(diào)整研磨液的供給流量的情況下，使研磨液切實(shí)地到達(dá)被研磨件，所以，不需要過多的研磨液，能夠降低