一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體發(fā)光芯片發(fā)光效率的提升和制造成本的下降，半導(dǎo)體發(fā)光芯片已被廣泛應(yīng)用于背光、顯示和照明等領(lǐng)域。
[0003]M0CVD是適合生長半導(dǎo)體照明用LED材料外延片的良好技術(shù)，也是一種工業(yè)化的經(jīng)濟(jì)實用技術(shù)，其生長原理是:在一塊加熱適當(dāng)溫度的襯底上，含有m和V族元素的氣態(tài)化合物有控制的輸送到襯底表面，生長出有特定組分、特定厚度、特定電學(xué)和光學(xué)參數(shù)的薄膜沉積材料?？梢?，反應(yīng)腔是裝個M0CVD設(shè)備最核心的部分，也是LED生長整個過程的環(huán)境保證。
[0004]在整個過程中，反應(yīng)腔需要提供真空超高溫的生長條件(500_1200°C)，當(dāng)反應(yīng)腔尺寸不斷增加以降低生長成本的時候，用不銹鋼制成的反應(yīng)腔頂蓋會產(chǎn)生形變。形變的產(chǎn)生不僅影響了反應(yīng)腔頂蓋的壽命，尤其對其內(nèi)部的水槽密封產(chǎn)生較大影響；另外，由于形變使反應(yīng)腔和載盤的距離、空間形狀均發(fā)生了變化，繼而影響反應(yīng)腔氣相反應(yīng)的條件，不僅會影響生長物的質(zhì)量，也會影響其均勻性，這在量產(chǎn)化的過程中幾乎是致命的。顯而易見，常見的M0CVD反應(yīng)腔結(jié)構(gòu)，如圖1所示，中國專利ZL201020546826.5公開的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，就存在前述幾種本質(zhì)缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于針對上述問題，提供了一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，能夠顯著改善反應(yīng)腔頂蓋的抗形變能力。
[0006]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:
[0007]—種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，包括中央支柱體、導(dǎo)流螺桿、0型圈、反應(yīng)腔頂蓋、進(jìn)水管、出水管、上蓋、排氣窗和反應(yīng)腔底座，其特征在于，所述中央支柱體外套有隔熱外套。
[0008]其中，所述隔熱外套與中央支柱體之間留有間隙，該間隙為0.之間。
[0009]其中，所述隔熱外套的底部抵接于反應(yīng)腔底座，其頂部與反應(yīng)腔頂蓋之間留有間隙。
[0010]其中，所述隔熱外套由耐高溫耐腐蝕的無機(jī)或金屬材料制成。
[0011 ] 其中，所述隔熱外套的壁厚為0.之間。
[0012]本發(fā)明的有益效果為:通過在中央支柱體外增加隔熱外套，減少反應(yīng)腔內(nèi)高熱氣流對中央支柱體的加熱效應(yīng)，減小中央支柱體的形變以及高熱反應(yīng)氣體對中央支柱體表面的刻蝕，以達(dá)到延長中央支柱的使用壽命。
【附圖說明】
[0013]圖1為現(xiàn)有金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱的結(jié)構(gòu)圖。
[0014]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合具體實施例和附圖，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
[0016]如圖1所示，為中國專利ZL201020546826.5公開的現(xiàn)有金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，主要包括中央支柱體1、導(dǎo)流螺桿2、0型圈3、反應(yīng)腔頂蓋4、進(jìn)水管5、出水管6、上蓋7、排氣窗8和反應(yīng)腔底座10。
[0017]由于中央支柱體1也處于M0CVD反應(yīng)腔之內(nèi)，也需要承受真空超高溫的環(huán)境以及反應(yīng)氣體對其表面的刻蝕。
[0018]為了避免高溫反應(yīng)氣體對中央支柱體1的加熱與刻蝕，本發(fā)明在前述現(xiàn)有金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱的基礎(chǔ)上做了改進(jìn)，如圖2所示，具體為在中央支柱體1外套有一個隔熱外套9，該隔熱外套9的壁厚介于0.5mm-5mm之間，隔熱外套9與中央支柱體1之間還留有的間隙，彼此不接觸。該隔熱外套9具體由耐高溫耐腐蝕的無機(jī)或金屬材料制成，具體可選用石英玻璃、不銹鋼、鉬、耐熱陶瓷等材料。
[0019]為了避免隔熱外套9被反應(yīng)腔頂蓋4壓到，隔熱外套9的底部抵接于反應(yīng)腔底座10，頂部則與反應(yīng)腔頂蓋10之間留有間隙。
[0020]在中央支柱體套上隔熱外套，使得反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣流不直接與中央支柱體接觸，不僅可以阻隔高溫反應(yīng)氣體直接接觸中央支柱體的表面，減少熱傳導(dǎo)和熱輻射對中央支柱體的加熱效應(yīng)，也可以杜絕反應(yīng)腔內(nèi)高溫活性反應(yīng)氣體對中央支柱體的刻蝕，從而減少中央支柱體在真空與高溫下的形變，保護(hù)中央支柱體不被刻蝕，延長其使用壽命，確保表面氣流的平順。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，包括中央支柱體(1)、導(dǎo)流螺桿(2)、0型圈(3)、反應(yīng)腔頂蓋(4)、進(jìn)水管(5)、出水管(6)、上蓋(7)、排氣窗(8)和反應(yīng)腔底座(10)，其特征在于，所述中央支柱體(1)外套有隔熱外套(9)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)與中央支柱體(1)之間留有間隙。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)與中央支柱體(1)之間的間隙為0.之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)的底部抵接于反應(yīng)腔底座(10)，其頂部與反應(yīng)腔頂蓋(4)之間留有間隙。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)由耐高溫耐腐蝕的無機(jī)或金屬材料制成。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，其特征在于，所述隔熱外套(9)的壁厚為0.之間。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，屬于半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域。一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱，包括中央支柱體、導(dǎo)流螺桿、O型圈、反應(yīng)腔頂蓋、進(jìn)水管、出水管、上蓋、排氣窗和反應(yīng)腔底座，其特征在于，所述中央支柱體外套有隔熱外套。本發(fā)明通過在中央支柱體外增加隔熱外套，減少反應(yīng)腔內(nèi)高熱氣流對中央支柱體的加熱效應(yīng)，減小中央支柱體的形變以及高熱反應(yīng)氣體對中央支柱體表面的刻蝕，以達(dá)到延長中央支柱的使用壽命。
【IPC分類】C23C16/18, C23C16/455
【公開號】CN105463411
【申請?zhí)枴緾N201610045732
【發(fā)明人】馮雅清
【申請人】馮雅清
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2016年1月23日