一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟的制作方法
【專利說明】一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及真空蒸發(fā)鍍鋁薄膜用蒸發(fā)元件的制造方法,具體涉及一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟。
[0002]
【背景技術(shù)】:
真空蒸發(fā)鍍鋁的技術(shù)是綜合成本最低的大規(guī)模制造金屬鋁薄膜的方法。其在多種工業(yè)和日常用品中大量使用,如,大容量薄膜電容器、各種保鮮鋁塑包裝材料、陰極射線管顯示器內(nèi)的電子疏散膜等等。
[0003]真空蒸發(fā)鍍鋁過程中最關(guān)鍵的消耗性元器件就是使金屬鋁絲變成鋁蒸汽的加熱元件、蒸發(fā)舟或蒸發(fā)坩禍。由于金屬鋁活性很大,作為蒸發(fā)舟或蒸發(fā)坩禍的材料必須能夠耐受鋁液的腐蝕。目前真空蒸發(fā)鍍鋁工業(yè)用的加熱元件根據(jù)不同的鍍膜設(shè)備,要么是二硼化鈦/氮化硼/氮化鋁復(fù)合導電陶瓷制備的蒸發(fā)舟,要么是高純石墨制備的坩禍。
[0004]二硼化鈦/氮化硼/氮化鋁復(fù)合導電陶瓷蒸發(fā)舟是目前絕大多數(shù)鍍膜設(shè)備的標準配置。該導電陶瓷蒸發(fā)舟由于高溫鋁腐蝕其使用壽命一般只有12?16小時,最高不會超過20小時。由于該蒸發(fā)舟的不均勻腐蝕,同時也由于被蒸發(fā)的鋁液也參與導電發(fā)熱,到蒸發(fā)舟壽命的中后期容易造成鋁液飛濺,燒穿基材,形成針孔的問題。
[0005]
【發(fā)明內(nèi)容】
:
本發(fā)明的目的在于提供一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,該蒸發(fā)舟具有產(chǎn)品性能優(yōu)良,工藝簡單的特點,具有顯著的經(jīng)濟和社會效益。
[0006]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
本發(fā)明組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:包括陶瓷舟和插設(shè)在陶瓷舟體內(nèi)的石墨電極發(fā)熱體;所述陶瓷舟是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備而成,所述石墨電極發(fā)熱體是采用高純細晶石墨制備而成,所述陶瓷舟上表面開設(shè)有蒸發(fā)槽。
[0007]進一步的,上述熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷為氮化硼或氮化鋁復(fù)合陶瓷。
[0008]進一步的,上述陶瓷舟具有用于插設(shè)石墨電極發(fā)熱體的槽道。
[0009]進一步的,上述槽道為截面是長方形槽道。
[0010]進一步的,上述槽道為截面是T字型的槽道。
[0011]進一步的,上述陶瓷舟體內(nèi)還插設(shè)有疊置在石墨電極發(fā)熱體下方的陶瓷保溫板。
[0012]進一步的,上述陶瓷保溫板是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成且?guī)О惭b邊的薄板。
[0013]進一步的,上述石墨電極發(fā)熱體是按一定精度的間隙配合裝入陶瓷舟。
[0014]進一步的,上述上下疊放的石墨電極發(fā)熱體和陶瓷保溫板是按一定精度的間隙配合裝入陶瓷舟。
[0015]本發(fā)明組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟在使用時,只要將石墨電極發(fā)熱體或上、下疊置的石墨電極發(fā)熱體和陶瓷保溫板插入陶瓷舟的槽道內(nèi)即完成安裝,操作簡單方便,較采用粘結(jié)等方式簡單快捷。同時:該蒸發(fā)舟具有產(chǎn)品性能優(yōu)良、使用壽命更長、制作工藝簡單等優(yōu)點,可以將被蒸發(fā)鋁液與發(fā)熱元件絕緣開來,大幅降低鋁液飛濺,提高膜材質(zhì)量。該蒸發(fā)舟具有顯著的經(jīng)濟和社會效益。
[0016]【附圖說明】:
圖1為實施方案1中石墨電極發(fā)熱體裝入陶瓷舟方孔的示意圖;
圖2為實施方案1中蒸發(fā)舟的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為實施方案2中石墨電極發(fā)熱體裝入陶瓷舟T型孔的示意圖;
圖4為實施方案2中蒸發(fā)舟的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為實施方案3中石墨電極發(fā)熱體與陶瓷保溫板的疊放示意圖;
圖6為實施方案3中上下疊放的石墨電極發(fā)熱體與陶瓷保溫板裝入陶瓷舟T型孔的示意圖;
圖7為實施方案3蒸發(fā)舟的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]【具體實施方式】:
為詳細說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、結(jié)構(gòu)特征、所實現(xiàn)目的及效果,以下結(jié)合實施方式并配合附圖詳細說明。
[0018]實施例1
如圖1、2所示,一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,包括陶瓷舟1、石墨電極發(fā)熱體2,所述陶瓷舟1是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽5和長方孔6的舟體;所述石墨電極發(fā)熱體2是采用高純細晶石墨制備而成;所述石墨電極發(fā)熱體2是按一定的間隙配合裝入陶瓷舟1的長方孔內(nèi),形成組合式蒸發(fā)舟,間隙配合度為H8/f7或H7/js6。
[0019]實施例2
如圖3、4所示,一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,包括陶瓷舟1、石墨電極發(fā)熱體2,所述陶瓷舟1是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽5和T型槽4(槽道截面呈T字型)的舟體;所述石墨電極發(fā)熱體2是米用尚純細晶石墨制備而成;所述石墨電極發(fā)熱體2是按一定的間隙配合裝入陶瓷舟1的T型槽內(nèi),形成組合式蒸發(fā)舟,間隙配合度為H7/k6或HT/jse。!1型槽4實際是位于陶瓷舟1下表面設(shè)有一條切開的槽,在石墨電極發(fā)熱體2裝入時可變寬些,裝入后T型槽又能卡進石墨電極發(fā)熱體2。
[0020]實施例3
如圖5、6、7所示,一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,包括陶瓷舟1、石墨電極發(fā)熱體2和陶瓷保溫板3,所述陶瓷舟1是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶蒸發(fā)槽5和T型槽4的舟體;所述石墨電極發(fā)熱體2是采用高純細晶石墨制備而成;所述陶瓷保溫板3是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶安裝邊的薄板;所述石墨電極發(fā)熱體2與陶瓷保溫板3自上而下疊放,并按一定精度的間隙配合裝入陶瓷舟1的T型槽內(nèi),形成組合式蒸發(fā)舟,間隙配合度為H7/k6或H7/js6,T型槽4實際是位于陶瓷舟1下表面設(shè)有一條切開的寬槽(但寬度不超過蒸發(fā)舟槽道內(nèi)寬),在石墨電極發(fā)熱體2裝入時可變寬些,裝入后T型槽又能卡進石墨電極發(fā)熱體2。陶瓷保溫板3為一薄板,其總寬度與石墨電極發(fā)熱體2寬度相同(該總寬度包括了安裝邊的寬度),其安裝邊較薄板更薄,兩安裝邊之間板體的下部與T型槽配合。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的實施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接利用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:包括陶瓷舟和插設(shè)在陶瓷舟體內(nèi)的石墨電極發(fā)熱體;所述陶瓷舟是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備而成,所述石墨電極發(fā)熱體是采用高純細晶石墨制備而成,所述陶瓷舟上表面開設(shè)有蒸發(fā)槽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷為氮化硼或氮化鋁復(fù)合陶瓷。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述陶瓷舟具有用于插設(shè)石墨電極發(fā)熱體的槽道。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述槽道為截面是長方形槽道。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述槽道為截面是T字型的槽道。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述陶瓷舟體內(nèi)還插設(shè)有疊置在石墨電極發(fā)熱體下方的陶瓷保溫板。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述陶瓷保溫板是以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成且?guī)О惭b邊的薄板。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述石墨電極發(fā)熱體是按一定精度的間隙配合裝入陶瓷舟。9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,其特征在于:所述上下疊放的石墨電極發(fā)熱體和陶瓷保溫板是按一定精度的間隙配合裝入陶瓷舟。
【專利摘要】本發(fā)明涉及了一種組合式石墨電極-陶瓷蒸發(fā)舟,具體的技術(shù)方案為:(1)以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷(如氮化硼<b>/</b>氮化鋁復(fù)合陶瓷)制備成帶蒸發(fā)槽和長方孔或T型槽的舟體。(2)以高純細晶石墨制備成石墨電極發(fā)熱體。(3)以熱壓氮化硼陶瓷或熱壓氮化硼基復(fù)合陶瓷制備成帶安裝邊的薄板作為陶瓷保溫板。將石墨電極或?qū)⑹姌O與陶瓷保溫板上下疊放裝入陶瓷舟體的長方孔或T型槽內(nèi),組合成蒸發(fā)舟。該蒸發(fā)舟具有性能優(yōu)良、使用壽命更長、制作工藝簡單等優(yōu)點,可以將被蒸發(fā)鋁液與發(fā)熱元件絕緣開來,大幅降低鋁液飛濺,提高膜材質(zhì)量,具有顯著的經(jīng)濟和社會效益。
【IPC分類】C23C14/26, C23C14/14
【公開號】CN105483621
【申請?zhí)枴緾N201610057835
【發(fā)明人】黃向東, 姜明
【申請人】福州賽瑞特新材料技術(shù)開發(fā)有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2016年1月28日