全自動管式pecvd石墨舟工藝點安裝裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括工藝點上料裝置、石墨舟輸送裝置和工藝點壓裝裝置，工藝點上料裝置為所述石墨舟輸送裝置提供工藝點，工藝點壓裝裝置設置在石墨舟輸送裝置的正上方。本發(fā)明使用工藝點上料裝置進行工藝點的排布與輸送，將排布好的工藝點輸送到石墨舟輸送裝置中的石墨舟上，再使用工藝點壓裝裝置將工藝點壓裝入石墨舟內，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動生產(chǎn)率。
【專利說明】
全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池片制造技術領域，尤其是涉及一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置。
【背景技術】
[0002]在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖14所示的石墨舟，具體操作過程是:將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。
[0003]現(xiàn)有的石墨舟工藝點主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個且對稱分布在安裝部兩端面上，卡塊是自外向內漸縮的圓柱體，其端面與側面之間采用圓弧過渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時，會出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴重，且在做MUL和NY工藝時，工藝點會燒焦，尤其是做MUL工藝時，工藝點燒焦加重，燒焦比例一度超過30%。因此在日常生產(chǎn)中，管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術問題是:為了克服現(xiàn)有技術中管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工安裝，人工工作量非常大，安裝效率較低的問題，提供一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置。
[0005]本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是:一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括工藝點上料裝置、石墨舟輸送裝置和工藝點壓裝裝置，所述工藝點上料裝置為所述石墨舟輸送裝置提供工藝點，所述工藝點壓裝裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方。
[0006]進一步的，為了實現(xiàn)工藝點的全自動上料，所述工藝點上料裝置包括工藝點排布裝置和工藝點移送裝置，所述工藝點移送裝置設置在所述工藝點排布裝置的正上方。
[0007]進一步的，所述工藝點排布裝置包括底座、安裝板和振動料盤，所述安裝板滑動安裝在所述底座上，所述安裝板通過移動裝置驅動實現(xiàn)往復直線運動，兩個所述振動料盤分別位于所述移動裝置的兩側，所述安裝板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的盲孔，所述盲孔的深度略小于工藝點的高度，兩個所述振動料盤的出料口分別與所述安裝板同一端部的兩個所述盲孔同軸設置，為了更準確的定位工藝點的位置，所述振動料盤的出料口的半徑和盲孔的半徑均與工藝點的半徑相等，所述振動料盤的出料口與所述安裝板的上表面貼合，工藝點從振動料盤出來后，可以直接落入盲孔內，避免了工藝點在落入盲孔的過程中工藝點的移動與豎立。
[0008]進一步的，所述工藝點移送裝置包括吸盤、驅動吸盤升降的升降裝置和驅動吸盤移動的移動裝置，所述吸盤通過吸盤安裝板固定安裝在所述升降裝置上，所述吸盤為陶瓷吸盤，若干所述吸盤在所述吸盤安裝板上的位置與石墨舟上的工藝孔的位置相對應，所述升降裝置滑動安裝在所述移動裝置上。
[0009]進一步的，所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上。
[0010]進一步的，為了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夾具包括底板，所述底板上固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上開有直角開口，兩個所述安裝塊對稱設置，所述底板上開有螺紋孔，所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘，所述底板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的工藝盲孔，工藝盲孔的深度與工藝點中卡塊的高度相等，便于在工藝點的安裝過程中，限制工藝點在該工藝孔中的位置。
[0011]進一步的，所述工藝點壓裝裝置包括導向裝置和壓點裝置，所述導向裝置與所述壓點裝置相對設置。
[0012]進一步的，所述導向裝置包括導向板和驅動導向板升降的升降裝置，所述導向板固定安裝在所述升降裝置上，所述導向板上開有若干導向孔，若干所述導向孔與石墨舟上的工藝孔相對應，所述導向板上表面導向孔所在位置處固定安裝有導向套筒，所述導向孔與所述導向套筒同軸心。
[0013]進一步的，所述壓點裝置包括壓板、驅動壓板升降的升降裝置和驅動壓板移動的移動裝置，所述壓板固定安裝在所述升降裝置上，升降裝置滑動安裝在所述移動裝置上，所述壓板上固定安裝有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的壓桿，所述壓桿與所述導向套筒同軸心。
[0014]進一步的，為了簡化本發(fā)明的整體結構，所述移動裝置為絲桿驅動裝置，包括絲桿，絲桿轉動裝置、具有滑槽的導軌和滑塊，所述絲桿轉動裝置與所述絲桿固定連接，所述滑塊與所述絲桿傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌內。
[0015]進一步的，為了簡化本發(fā)明的整體結構，所述升降裝置為推動缸。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明使用工藝點上料裝置進行工藝點的排布與輸送，將排布好的工藝點輸送到石墨舟輸送裝置中的石墨舟上，再使用工藝點壓裝裝置將工藝點壓裝入石墨舟內，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了安裝效率，提高了勞動生產(chǎn)率。
【附圖說明】
[0017]下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0018]圖1是本發(fā)明的三維裝配示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明的主視圖；
[0020]圖3是本發(fā)明中工藝點排布裝置的三維裝配示意圖；
[0021]圖4是本發(fā)明圖3中A處的放大圖；
[0022]圖5是本發(fā)明中工藝點移送裝置的三維裝配示意圖；
[0023]圖6是本發(fā)明中石墨舟輸送裝置與導向裝置的三維裝配示意圖；
[0024]圖7是本發(fā)明中壓點裝置的三維裝配示意圖；
[0025]圖8是本發(fā)明中石墨舟固定夾具與石墨舟的三維裝配示意圖；
[0026]圖9是本發(fā)明中石墨舟固定夾具的三維裝配示意圖；
[0027]圖10是本發(fā)明中導向板的三維示意圖；
[0028]圖11是本發(fā)明中安裝板的三維示意圖；
[0029]圖12是本發(fā)明中吸盤與吸盤安裝板的三維示意圖；
[0030]圖13是本發(fā)明中壓板的三維示意圖；
[0031]圖14是石墨舟的俯視圖。
[0032]圖中:1.底座，2.安裝板，3.振動料盤，4.盲孔，5.出料口，6.吸盤，7.底板，8.安裝塊，9.直角開口，10.石墨舟，11.螺釘，12.工藝盲孔，13.導向板，14.導向孔，15.壓板，16.壓桿，17.絲桿，18.導軌，19.電機，20.升降氣缸，21.吸盤安裝板，22.支架，23.導向套筒。
【具體實施方式】
[0033]現(xiàn)在結合附圖對本發(fā)明做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結構，因此其僅顯示與本發(fā)明有關的構成。
[0034]如圖1和圖2所示的一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，包括如圖3和圖4所示的工藝點排布裝置，所述工藝點排布裝置包括底座1、如圖11所示的安裝板2和振動料盤3，所述底座I上固定安裝有兩條開有滑槽的平行導軌18，所述安裝板2下方固定安裝有滑塊，所述滑塊滑動安裝在所述導軌18上，所述底座I上轉動安裝有絲桿17，所述滑塊與所述絲桿17傳動連接，所述絲桿17通過電機19驅動轉動，兩個所述振動料盤3分別位于所述導軌18的兩側，所述安裝板2上開有若干與石墨舟10上的工藝孔相對應的盲孔4，所述盲孔4的深度略小于工藝點的高度，兩個所述振動料盤3的出料口 5分別與所述安裝板2同一端部的兩個所述盲孔4同軸設置，為了更準確的定位工藝點的位置，所述振動料盤3的出料口 5的半徑和盲孔4的半徑均與工藝點的半徑相等，所述振動料盤3的出料口 5與所述安裝板2的上表面貼合，工藝點從振動料盤3出來后，可以直接落入盲孔4內，避免了工藝點在落入盲孔4的過程中工藝點的移動與豎立。
[0035]所述底座I上通過支架22固定安裝兩條平行導軌18，支架22上轉動安裝絲桿17，絲桿17通過電機19驅動轉動，絲桿17上傳動安裝滑塊，滑塊滑動設置在導軌18上的滑槽內，滑塊上固定安裝升降氣缸20，升降氣缸20的伸出端穿過滑塊，與如圖12所示的吸盤安裝板21固定連接，如圖5所示，吸盤安裝板21位于安裝板2的正上方，吸盤安裝板21上固定安裝有吸盤6，若干所述吸盤6在所述吸盤安裝板21上的位置與石墨舟10上的工藝孔的位置相對應，所述吸盤6為陶瓷吸盤。
[0036]底座I上工藝點排布裝置的一側設有兩條平行導軌18，這兩條平行導軌18的長度方向與工藝點排布裝置上導軌18的長度方向垂直，絲桿17轉動安裝在底座I上，絲桿17通過電機19驅動轉動，絲桿17上傳動安裝滑塊，滑塊上固定安裝底板7，如圖6所示。兩個底板7間隔安裝，所述底板7上固定安裝有安裝塊8，所述安裝塊8上開有直角開口 9，兩個所述安裝塊8對稱設置，所述底板7上開有螺紋孔，所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘11，所述底板7上開有若干與石墨舟10上的工藝孔相對應的工藝盲孔12，如圖9所示，工藝盲孔12的深度與工藝點中卡塊的高度相等，便于在工藝點的安裝過程中，限制工藝點在該工藝孔中的位置。
[0037]底座I上底板7所在導軌18的兩側均固定安裝支架22，支架22上固定安裝升降氣缸20，升降氣缸20的伸出端固定安裝導向板13，所述導向板13上開有若干導向孔14，如圖10所示，若干所述導向孔14與石墨舟10上的工藝孔相對應，所述導向板13上表面導向孔14所在位置處固定安裝有導向套筒23，所述導向孔14與所述導向套筒23同軸心。
[0038]驅動吸盤安裝板21移動的絲桿17上傳動安裝兩個滑塊，一個滑塊上安裝驅動吸盤安裝板21升降的升降氣缸20，另一個滑塊上安裝驅動壓板15升降的升降氣缸20，兩個滑塊隔間設置，壓板15與升降氣缸20的伸出端固定連接，如圖7所示，壓板15位于導向板13的正上方，所述壓板15上固定安裝有若干與石墨舟10上的工藝孔相對應的壓桿16，如圖13所示，所述壓桿16與所述導向套筒23同軸心。
[0039]工作過程:
[0040]1、將需要安裝的工藝點放入振動料盤3內，啟動振動料盤3，使工藝點進入振動料盤3的出料口 5。
[0041]2、本裝置工作前，兩個振動料盤3的出料口 5分別與安裝板2同一端部的兩個盲孔4同軸設置，啟動工藝點排布裝置中的電機19，電機19驅動絲桿17轉動，絲桿17帶動安裝板2移動，振動料盤3的出料口5間歇性出料，出料的間隔時間相同，即安裝板2移動一定距離后振動料盤3出料，保證工藝點準確落入安裝板2上的盲孔4內。
[0042]3、在振動料盤3的出料口 5出料七次后，安裝板2上的盲孔4內均已裝有工藝點，關閉振動料盤3的出料口 5。
[0043]4、安裝板2在裝滿工藝點后，正好移動到吸盤安裝板212的正下方，吸盤安裝板21上的吸盤6與安裝板2上的盲孔4一一對應，啟動驅動吸盤安裝板21升降的升降氣缸20，升降氣缸20伸出端帶動吸盤安裝板21向安裝板2靠近，待吸盤6與工藝點接觸后，關閉升降氣缸20，啟動吸盤6，吸盤6將工藝點吸住，啟動升降氣缸20，升降氣缸20伸出端回縮，帶動吸盤安裝板21復位，關閉升降氣缸20。
[0044]5、啟動工藝點排布裝置中的電機19，電機19反轉，帶動安裝板2復位，重復第2和第
3步驟。
[0045]6、啟動工藝點移送裝置中的電機19，電機19轉動，帶動絲桿17轉動，絲桿17轉動，帶動滑塊移動，滑塊帶動吸盤安裝板21向石墨舟輸送裝置移動，由于壓板15的安裝滑塊與吸盤安裝板21的安裝滑塊設置在同一絲桿17上，且間隔設置，在吸盤安裝板21向石墨舟輸送裝置移動的同時，滑塊帶動壓板15遠離石墨舟輸送裝置，待吸盤安裝板21移動到導向板13的正上方，吸盤安裝板21上吸盤6吸住的工藝點與導向板13上的導向套筒23—一對應后，關閉電機19。
[0046]7、在1-6步驟進行的同時，在石墨舟安裝固定夾具的底板7上固定安裝石墨舟10，如圖8所示，安裝好的石墨舟10上的工藝孔與底板7上的工藝盲孔12—一對應。
[0047]8、啟動石墨舟輸送裝置中的電機19，電機19轉動，帶動絲桿17轉動，絲桿17轉動，帶動滑塊移動，滑塊帶動底板7向導向板13移動，待底板7移動到導向板13的正下方，石墨舟10上的工藝孔與導向板13中的導向孔14一一對應時，關閉電機19，由于一根絲桿17上安裝有兩個底板7，兩個底板7間隔設置，在一個底板7位于導向板13正下方時，另一個底板7遠離導向板13，方便在底板7上安裝石墨舟10。
[0048]9、啟動驅動導向板13升降的升降氣缸20，升降氣缸20伸出端伸出，帶動導向板13向導向板13正下方的底板7移動，待導向板13的下表面與石墨舟10的上表面接觸時，關閉升降氣缸20。
[0049]10、啟動驅動吸盤安裝板21升降的升降氣缸20，升降氣缸20伸出端伸出，帶動吸盤安裝板21向其正下方的導向板13移動，待吸盤6的下表面與導向板13上導向套筒23的上表面接觸時，關閉吸盤6，使吸盤6上的工藝點落入導向套筒23內，由于導向套筒23的內半徑與工藝點的半徑相等，工藝點上的卡塊上下設置，進入導向套筒23內。
[0050]11、啟動工藝點移送裝置中的電機19，電機19反動，帶動絲桿17轉動，絲桿17轉動，帶動滑塊移動，滑塊帶動吸盤安裝板21遠離石墨舟輸送裝置移動，進行復位，由于壓板15的安裝滑塊與吸盤安裝板21的安裝滑塊設置在同一絲桿17上，且間隔設置，在吸盤安裝板21遠離石墨舟輸送裝置移動的同時，滑塊帶動壓板15靠近石墨舟輸送裝置，待壓板15移動到導向板13的正上方，壓板15上的壓桿16與導向板13上的導向套筒23 對應后，關閉電機19。
[0051 ] 12、啟動驅動壓板15升降的升降氣缸20，升降氣缸20伸出端伸出，帶動壓板15向導向板13靠近，壓桿16伸入導向套筒23內，推動導向套筒23內的工藝點向下運動，待工藝點下方的卡塊與底板7上工藝盲孔12的底部接觸時，升降氣缸20收縮，帶動壓板15遠離導向板13，升降氣缸20復位后，關閉升降氣缸20。
[0052]13、重復 1-12 步驟。
[0053]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。
【主權項】
1.一種全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:包括工藝點上料裝置、石墨舟輸送裝置和工藝點壓裝裝置，所述工藝點上料裝置為所述石墨舟輸送裝置提供工藝點，所述工藝點壓裝裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方。2.如權利要求1所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述工藝點上料裝置包括工藝點排布裝置和工藝點移送裝置，所述工藝點移送裝置設置在所述工藝點排布裝置的正上方。3.如權利要求2所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述工藝點排布裝置包括底座(I)、安裝板(2)和振動料盤(3)，所述安裝板(2)滑動安裝在所述底座(I)上，所述安裝板(2)通過移動裝置驅動實現(xiàn)往復直線運動，兩個所述振動料盤(3)分別位于所述移動裝置的兩側，所述安裝板(2)上開有若干與石墨舟(10)上的工藝孔相對應的盲孔(4)，兩個所述振動料盤(3)的出料口(5)分別與所述安裝板(2)同一端部的兩個所述盲孔(4)同軸設置。4.如權利要求3所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述工藝點移送裝置包括吸盤(6)、驅動吸盤(6)升降的升降裝置和驅動吸盤(6)移動的移動裝置，所述吸盤(6)固定安裝在所述升降裝置上，所述升降裝置滑動安裝在所述移動裝置上。5.如權利要求1所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上。6.如權利要求5所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述石墨舟固定夾具包括底板(7)，所述底板(7)上固定安裝有安裝塊(8)，所述安裝塊(8)上開有直角開口(9)，兩個所述安裝塊(8)對稱設置，所述底板(7)上開有螺紋孔，所述螺紋孔內螺紋安裝有螺釘(11)，所述底板(7)上開有若干與石墨舟(10)上的工藝孔相對應的工藝盲孔(⑵。7.如權利要求1所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述工藝點壓裝裝置包括導向裝置和壓點裝置，所述導向裝置與所述壓點裝置相對設置。8.如權利要求7所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述導向裝置包括導向板(13)和驅動導向板(13)升降的升降裝置，所述導向板(13)固定安裝在所述升降裝置上，所述導向板(13)上開有若干導向孔(14)，若干所述導向孔(14)與石墨舟(10)上的工藝孔相對應，所述導向板(13)上表面導向孔(14)所在位置處固定安裝有導向套筒(23)，所述導向孔(14)與所述導向套筒(23)同軸心。9.如權利要求8所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述壓點裝置包括壓板(15)、驅動壓板(15)升降的升降裝置和驅動壓板(15)移動的移動裝置，所述壓板(15)固定安裝在所述升降裝置上，升降裝置滑動安裝在所述移動裝置上，所述壓板(15)上固定安裝有若干與石墨舟(10)上的工藝孔相對應的壓桿(16)，所述壓桿(16)與所述導向孔(14)同軸心。10.如權利要求3或4或5或9所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述移動裝置為絲桿驅動裝置，包括絲桿(17)，絲桿轉動裝置、具有滑槽的導軌(18)和滑塊，所述絲桿轉動裝置與所述絲桿(17)固定連接，所述滑塊與所述絲桿(17)傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌(18)內。11.如權利要求4或8或9所述的全自動管式PECVD石墨舟工藝點安裝裝置，其特征在于:所述升降裝置為推動缸。
【文檔編號】C23C16/458GK105951059SQ201610475556
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年6月27日
【發(fā)明人】鄒海軍, 吳佳俊, 吳俊 , 王少華
【申請人】常州億晶光電科技有限公司