管式pecvd石墨舟工藝點拆卸裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，包括石墨舟輸送裝置、工藝點推出裝置和工藝點收納裝置，工藝點推出裝置設置在石墨舟輸送裝置的正上方，工藝點收納裝置可拆卸安裝在石墨舟輸送裝置的正下方。本發(fā)明包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好裝有工藝點的石墨舟后，使用移動裝置將固定好的石墨舟移動到導向板的正下方，導向板通過升降裝置下移到與石墨舟上工藝點的上表面接觸，最后通過工藝點推出裝置將工藝點推出石墨舟的工藝孔，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了拆卸效率，提高了勞動生產(chǎn)率。
【專利說明】
管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置
技術(shù)領域
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池片制造技術(shù)領域，尤其是涉及一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過程是:將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。
[0003]現(xiàn)有的石墨舟工藝點主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個且對稱分布在安裝部兩端面上，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采用圓弧過渡面，卡塊的根部與安裝部的端面之間分別形成用于卡合硅片的卡槽?，F(xiàn)有的石墨舟在使用到30run(次)時，會出現(xiàn)邊緣發(fā)白現(xiàn)象，且到后期愈發(fā)嚴重，且在做MUL和NY工藝時，工藝點會燒焦，尤其是做MUL工藝時，工藝點燒焦加重，燒焦比例一度超過30%。因此在日常生產(chǎn)中，管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工拆卸，人工工作量非常大，拆卸效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中管式PECVD石墨舟維修及維護較為頻繁，石墨舟長的工藝點較多，若僅靠人工拆卸，人工工作量非常大，拆卸效率較低的問題，提供一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置。
[0005]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:包括石墨舟輸送裝置、工藝點推出裝置和工藝點收納裝置，所述工藝點推出裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方，所述工藝點收納裝置可拆卸安裝在所述石墨舟輸送裝置的正下方。
[0006]進一步的，所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上。
[0007]進一步的，為了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夾具包括底板，所述底板上固定安裝有安裝塊，所述安裝塊上開有直角開口，兩個所述安裝塊對稱設置，所述底板上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘，所述底板上開有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的工藝通孔。
[0008]進一步的，所述工藝點推出裝置包括導向裝置和推出裝置，所述導向裝置與所述推出裝置相對設置。
[0009]進一步的，所述導向裝置包括導向板和驅(qū)動導向板升降的升降裝置，所述導向板固定安裝在所述升降裝置上，所述導向板上開有若干導向孔，若干所述導向孔與石墨舟上的工藝孔相對應。
[0010]進一步的，所述推出裝置包括推板和驅(qū)動推板升降的升降裝置，所述推板固定安裝在所述升降裝置上，所述推板上固定安裝有若干與石墨舟上的工藝孔相對應的推桿，所述推桿與所述導向孔同軸心。
[0011 ]進一步的，為了簡化本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)，所述移動裝置為絲桿驅(qū)動裝置，包括絲桿，絲桿轉(zhuǎn)動裝置、具有滑槽的導軌和滑塊，所述絲桿驅(qū)動裝置與所述絲桿固定連接，所述滑塊與所述絲桿傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌內(nèi)。
[0012]進一步的，為了簡化本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)，所述升降裝置為推動缸。
[0013]進一步的，為了簡化本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)，便于拆卸后的工藝點的收集，所述工藝點收納裝置為收納箱。
[0014]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，在石墨舟固定夾具上安裝固定好裝有工藝點的石墨舟后，使用移動裝置將固定好的石墨舟移動到導向板的正下方，導向板通過升降裝置下移到與石墨舟上工藝點的上表面接觸，最后通過工藝點推出裝置將工藝點推出石墨舟的工藝孔，全部工序均通過機器自動完成，節(jié)省了人力，提高了拆卸效率，提高了勞動生產(chǎn)率。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0016]圖1是本發(fā)明的三維裝配示意圖；
[0017]圖2是本發(fā)明的主視圖；
[0018]圖3是本發(fā)明中石墨舟輸送裝置與導向裝置的三維裝配示意圖；
[0019]圖4是本發(fā)明中石墨舟固定夾具與石墨舟的三維裝配示意圖；
[0020]圖5是本發(fā)明中石墨舟固定夾具的三維裝配示意圖；
[0021]圖6是本發(fā)明中導向板的三維示意圖；
[0022]圖7是本發(fā)明中推板的三維示意圖；
[0023]圖8是石墨舟的俯視圖。
[0024]圖中:1.底板，2.安裝塊，3.直角開口，4.螺釘，5.工藝通孔，6.導向板，7.導向孔，
8.收納箱，9.推板，10.推桿，11.絲桿，12.導軌，13.電機，14.升降氣缸，15.底座，16.支架，
17.橫梁，18.石墨舟。
【具體實施方式】
[0025]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關的構(gòu)成。
[0026]如圖1和圖2所示的一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，包括底座15，底座15上設有兩條平行導軌12，絲桿11轉(zhuǎn)動安裝在底座15上，絲桿11通過電機13驅(qū)動轉(zhuǎn)動，絲桿11上傳動安裝滑塊，滑塊上固定安裝底板I，如圖3所示。兩個底板I間隔安裝，所述底板I上固定安裝有安裝塊2，所述安裝塊2上開有直角開口 3，兩個所述安裝塊2對稱設置，所述底板I上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘4，所述底板I上開有若干與石墨舟18上的工藝孔相對應的工藝通孔5，如圖5所示。
[0027]底座15上底板I所在導軌12的兩側(cè)均固定安裝支架16，支架16上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端固定安裝導向板6，所述導向板6上開有若干導向孔7，如圖6所示，若干所述導向孔7與石墨舟18上的工藝孔相對應，底座15上導向孔7相對的位置處開有落料通孔，落料通孔與工藝通孔5也一一相對，落料通孔的半徑大于工藝通孔5的半徑，容納箱8通過螺釘可拆卸安裝在底座15的下方，與落料通孔相對應。
[0028]所述底座15上通過支架16固定安裝一條橫梁17，橫梁17上固定安裝升降氣缸14，升降氣缸14的伸出端與如圖7所示的推板9固定連接，推板9位于導向板6的正上方，所述推板9上固定安裝有若干與石墨舟18上的工藝孔相對應的推桿10，所述推桿10與所述導向孔7同軸心。
[0029]工作過程:
[0030]1、在石墨舟安裝固定夾具的底板I上固定安裝裝有工藝點的石墨舟18，如圖4所示，安裝好的石墨舟18上的工藝點與底板I上的工藝通孔5—一對應。
[0031 ] 2、啟動石墨舟輸送裝置中的電機13，電機13轉(zhuǎn)動，帶動絲桿11轉(zhuǎn)動，絲桿11轉(zhuǎn)動，帶動滑塊移動，滑塊帶動底板I向?qū)虬?移動，待底板I移動到導向板6的正下方，石墨舟18上的工藝點與導向板6中的導向孔7—一對應時，關閉電機13，由于一根絲桿11上安裝有兩個底板I，兩個底板I間隔設置，在一個底板I位于導向板6正下方時，另一個底板I遠離導向板6，方便在底板I上安裝石墨舟18。
[0032]3、啟動驅(qū)動導向板6升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動導向板6向?qū)虬?正下方的底板I移動，待導向板6的下表面與石墨舟18中工藝點的上表面接觸時，關閉升降氣缸14。
[0033]4、啟動驅(qū)動推板9升降的升降氣缸14，升降氣缸14伸出端伸出，帶動推板9向?qū)虬?靠近，推桿10伸入導向孔7內(nèi)，推動石墨舟18工藝孔中的工藝點向下運動，待工藝點脫離石墨舟18上的工藝孔后，升降氣缸14收縮，帶動推板9遠離導向板6，升降氣缸14復位后，關閉升降氣缸14。
[0034]5、工藝點脫離石墨舟18上的工藝孔后，進入底板I上的工藝通孔5內(nèi)，再通過底座15上的落料通孔，最終進入容納箱8，待容納箱8內(nèi)裝滿工藝點后，拆下容納箱8，更換容納箱8。
[0035]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項】
1.一種管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:包括石墨舟輸送裝置、工藝點推出裝置和工藝點收納裝置，所述工藝點推出裝置設置在所述石墨舟輸送裝置的正上方，所述工藝點收納裝置可拆卸安裝在所述石墨舟輸送裝置的正下方。2.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述石墨舟輸送裝置包括石墨舟固定夾具和驅(qū)動石墨舟固定夾具移動的移動裝置，所述石墨舟固定夾具滑動安裝在所述移動裝置上。3.如權(quán)利要求2所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述石墨舟固定夾具包括底板(I)，所述底板(I)上固定安裝有安裝塊(2)，所述安裝塊(2)上開有直角開口(3)，兩個所述安裝塊(2)對稱設置，所述底板(I)上開有螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋安裝有螺釘(4)，所述底板(I)上開有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對應的工藝通孔(5)。4.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述工藝點推出裝置包括導向裝置和推出裝置，所述導向裝置與所述推出裝置相對設置。5.如權(quán)利要求4所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述導向裝置包括導向板(6)和驅(qū)動導向板(6)升降的升降裝置，所述導向板(6)固定安裝在所述升降裝置上，所述導向板(6)上開有若干導向孔(7)，若干所述導向孔(7)與石墨舟(18)上的工藝孔相對應。6.如權(quán)利要求5所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述推出裝置包括推板(9)和驅(qū)動推板(9)升降的升降裝置，所述推板(9)固定安裝在所述升降裝置上，所述推板(9)上固定安裝有若干與石墨舟(18)上的工藝孔相對應的推桿(10)，所述推桿(10)與所述導向孔(7)同軸心。7.如權(quán)利要求2所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述移動裝置為絲桿驅(qū)動裝置，包括絲桿(11)，絲桿轉(zhuǎn)動裝置、具有滑槽的導軌(12)和滑塊，所述絲桿(11)驅(qū)動裝置與所述絲桿(11)固定連接，所述滑塊與所述絲桿(11)傳動連接，所述滑塊滑動安裝在所述導軌(12)內(nèi)。8.如權(quán)利要求5或6所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述升降裝置為推動缸。9.如權(quán)利要求1所述的管式PECVD石墨舟工藝點拆卸裝置，其特征在于:所述工藝點收納裝置為收納箱(8)。
【文檔編號】C23C16/458GK105951060SQ201610481307
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年6月27日
【發(fā)明人】鄒海軍, 吳佳俊, 吳俊 , 王少華
【申請人】常州億晶光電科技有限公司