板材鍍膜支撐裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種板材鍍膜支撐裝置，包括鍍膜倉(cāng)，鍍膜倉(cāng)頂板具有自轉(zhuǎn)架，鍍膜倉(cāng)底部具有靶材架，還包括基片支撐框，基片支撐框的頂部與自轉(zhuǎn)架連接，鍍膜倉(cāng)內(nèi)壁位于其中部的位置上具有支撐環(huán)臺(tái)，支撐環(huán)臺(tái)上具有兩組支撐滑動(dòng)單元，支撐滑動(dòng)單元包括支撐塊，支撐塊的底部具有滾珠，支撐塊的上表面具有插槽，插槽的一端與支撐塊的側(cè)面貫通，另一端為封閉端，基片支撐框的底部具有與支撐塊對(duì)應(yīng)的插條，插條能從插槽的一端插入插槽內(nèi)。本發(fā)明的有益效果是支撐結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不會(huì)發(fā)生晃動(dòng)，使鍍膜效果更好。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
板材鍍膜支撐裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種板材鍍膜支撐裝置?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的技術(shù)中真空鍍膜時(shí)的工件架均懸掛于鍍膜腔的頂部，對(duì)應(yīng)大型板材而言，由于工件本身體積和重量都較大，因此在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中工件架容易晃動(dòng)不穩(wěn)。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的問(wèn)題是提供一種板材鍍膜支撐裝置，克服了現(xiàn)有技術(shù)中的不足。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:板材鍍膜支撐裝置，包括鍍膜倉(cāng)，所述鍍膜倉(cāng)頂板具有自轉(zhuǎn)架，所述鍍膜倉(cāng)底部具有靶材架，還包括基片支撐框，所述基片支撐框的頂部與所述自轉(zhuǎn)架連接，所述鍍膜倉(cāng)內(nèi)壁位于其中部的位置上具有支撐環(huán)臺(tái)， 所述支撐環(huán)臺(tái)上具有兩組支撐滑動(dòng)單元，所述支撐滑動(dòng)單元包括支撐塊，所述支撐塊的底部具有滾珠，所述支撐塊的上表面具有插槽，所述插槽的一端與所述支撐塊的側(cè)面貫通，另一端為封閉端，所述基片支撐框的底部具有與所述支撐塊對(duì)應(yīng)的插條，所述插條能從所述插槽的一端插入所述插槽內(nèi)。
[0005]進(jìn)一步，所述支撐環(huán)臺(tái)的上表面靠近其內(nèi)沿處具有擋板。
[0006]本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:由于采用上述技術(shù)方案，支撐結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不會(huì)發(fā)生晃動(dòng)，使鍍膜效果更好?！靖綀D說(shuō)明】
[0007]圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2是圖1中A處放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖中:1-鍍膜倉(cāng);2-基片支撐框;3-固定槽;4-支撐環(huán)臺(tái)；5-擋板;6-支撐塊;7-滾珠;8-插槽;9-插條?！揪唧w實(shí)施方式】
[0010]如圖1、2所示，本發(fā)明提供一種板材鍍膜支撐裝置，包括鍍膜倉(cāng)1，鍍膜倉(cāng)1頂板具有自轉(zhuǎn)架(圖中未示)，鍍膜倉(cāng)1底部具有靶材架(圖中未示)，還包括基片支撐框2，基片支撐框2的頂部與自轉(zhuǎn)架連接，鍍膜倉(cāng)1內(nèi)壁位于其中部的位置上具有支撐環(huán)臺(tái)4,支撐環(huán)臺(tái)4上具有兩組支撐滑動(dòng)單元，支撐滑動(dòng)單元包括支撐塊6，支撐塊6的底部具有滾珠7，支撐塊6的上表面具有插槽8,插槽8的一端與支撐塊6的側(cè)面貫通，另一端為封閉端，基片支撐框2的底部具有與支撐塊6對(duì)應(yīng)的插條9,插條9能從插槽8的一端插入插槽8內(nèi)。
[0011]使用時(shí)，首先將基片安裝于基片支撐框2中，基片支撐框2的內(nèi)側(cè)面具有固定槽3， 基片的邊緣能插入固定槽3中，支撐塊6對(duì)基片支撐框2起到支撐的作用，自轉(zhuǎn)架帶動(dòng)基片支撐框2轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，支撐框6隨之沿支撐環(huán)臺(tái)4轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠7的設(shè)置減少了支撐塊6和支撐環(huán)臺(tái)4之間的摩擦阻力。
[0012]支撐環(huán)臺(tái)4的上表面靠近其內(nèi)沿處具有擋板5，擋板5將滾珠7限位于支撐環(huán)臺(tái)4上。
[0013]以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專(zhuān)利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.板材鍍膜支撐裝置，包括鍍膜倉(cāng)，所述鍍膜倉(cāng)頂板具有自轉(zhuǎn)架，所述鍍膜倉(cāng)底部具有靶材架，其特征在于:還包括基片支撐框，所述基片支撐框的頂部與所述自轉(zhuǎn)架連接，所述鍍膜倉(cāng)內(nèi)壁位于其中部的位置上具有支撐環(huán)臺(tái)，所述支撐環(huán)臺(tái)上具有兩組支撐滑動(dòng)單元，所述支撐滑動(dòng)單元包括支撐塊，所述支撐塊的底部具有滾珠，所述支撐塊的上表面具有插槽，所述插槽的一端與所述支撐塊的側(cè)面貫通，另一端為封閉端，所述基片支撐框的底部具有與所述支撐塊對(duì)應(yīng)的插條，所述插條能從所述插槽的一端插入所述插槽內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板材鍍膜支撐裝置，其特征在于:所述支撐環(huán)臺(tái)的上表面靠近其內(nèi)沿處具有擋板。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK106032570SQ201610122491
【公開(kāi)日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年3月3日
【發(fā)明人】孫婧, 同建輝, 李衛(wèi)東
【申請(qǐng)人】天津眾偉科技有限公司