一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，包括上拋盤，所述上拋盤的一端面固接一水冷盤，上拋盤的另一端面上設(shè)置有上盤架，所述水冷盤與上拋盤上多處共同連接有傳感器襯套，所述傳感器襯套內(nèi)設(shè)有溫度傳感器，所述溫度傳感器的導(dǎo)線與一水銀滑環(huán)的活動(dòng)端相連，所述水銀滑環(huán)的活動(dòng)端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上盤架連接并同步旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能對(duì)拋光盤實(shí)時(shí)直接檢測(cè)，利用多點(diǎn)溫度檢測(cè)，提高了對(duì)拋光盤實(shí)現(xiàn)精密的溫度控制，嚴(yán)格控制拋光盤的形變，保證了加工質(zhì)量及精度。
【專利說明】
一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]本發(fā)明上拋光盤特殊水冷結(jié)構(gòu)及溫度控制技術(shù)，主要應(yīng)用在電子專用加工設(shè)備雙面拋光機(jī)中。由于在拋光過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱，由于溫度的變化必然會(huì)導(dǎo)致拋光盤發(fā)生形變，進(jìn)而影響加工質(zhì)量，因此必須嚴(yán)格控制拋光盤的溫度。近年來為了加大IC芯片產(chǎn)量，降低單元制造成本，硅片的尺寸趨向大直徑化，對(duì)硅片的質(zhì)量要求也越來越嚴(yán)，對(duì)于用來進(jìn)行硅片雙面拋光加工的拋光設(shè)備，必須嚴(yán)格控制拋盤的形變。
[0003]目前市場(chǎng)上的同類拋光機(jī)，上拋盤具有水冷功能的很少，且多是對(duì)進(jìn)出水溫度進(jìn)行檢測(cè)，來控制盤面的溫度。不能直接對(duì)盤面測(cè)溫，測(cè)溫不準(zhǔn)且存在延時(shí)，因此不能有效控制盤面溫度，保證工件的加工質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，提高對(duì)拋光盤實(shí)現(xiàn)精密的溫度控制，嚴(yán)格控制拋光盤的形變，保證了加工質(zhì)量及精度。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，包括上拋盤，所述上拋盤的一端面固接一水冷盤，上拋盤的另一端面上設(shè)置有上盤架，所述水冷盤與上拋盤上多處共同連接有傳感器襯套，所述傳感器襯套內(nèi)設(shè)有溫度傳感器，所述溫度傳感器的導(dǎo)線與一水銀滑環(huán)的活動(dòng)端相連，所述水銀滑環(huán)的活動(dòng)端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上盤架連接并同步旋轉(zhuǎn)。
[0006]進(jìn)一步的，所述上盤架的上端和下端分別固接旋轉(zhuǎn)接頭支撐套和水冷盤，所述旋轉(zhuǎn)接頭支撐套內(nèi)側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有心軸，所述心軸下端固接有十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)，所述水銀滑環(huán)固接于十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)的內(nèi)孔中，水銀滑環(huán)下方設(shè)有軸承密封蓋，所述溫度傳感器的導(dǎo)線穿過軸承密封蓋與水銀滑環(huán)的活動(dòng)端相連，所述軸承密封蓋與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套下端面卡接配合。
[0007]進(jìn)一步的，所述水銀滑環(huán)的活動(dòng)端固接有夾緊板，所述夾緊板下端面與一同步桿固接，所述同步桿的一端設(shè)置于軸承密封蓋的孔內(nèi)，用于水銀滑環(huán)的活動(dòng)端與軸承密封蓋同步旋轉(zhuǎn)。
[0008]進(jìn)一步的，所述水銀滑環(huán)的固定端上的導(dǎo)線通過心軸內(nèi)的穿線孔向上引出。
[0009]進(jìn)一步的，所述心軸上端固接有法蘭，所述法蘭上設(shè)有穿線孔并與心軸內(nèi)的穿線孔相配合對(duì)應(yīng)，用于穿入水銀滑環(huán)的固定端上的導(dǎo)線。
[0010]進(jìn)一步的，所述法蘭與一旋轉(zhuǎn)密封套固接在一起，所述旋轉(zhuǎn)密封套與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套之間設(shè)有多個(gè)密封圈，多個(gè)密封圈之間的環(huán)形間隙形成進(jìn)水通道和出水通道，用于上拋盤的冷卻。[0011 ]進(jìn)一步的，所述水冷盤內(nèi)設(shè)有冷卻水循環(huán)水道。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能對(duì)拋光盤實(shí)時(shí)直接檢測(cè)，利用多點(diǎn)溫度檢測(cè)，提高了對(duì)拋光盤實(shí)現(xiàn)精密的溫度控制，嚴(yán)格控制拋光盤的形變，保證了加工質(zhì)量及精度，并且本發(fā)明的溫度傳感器導(dǎo)線的同步布線方式，能有效避免溫度傳感器導(dǎo)線扭曲或損壞，大大延長使用壽命。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的整體裝配結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為圖1中Q處的測(cè)溫結(jié)構(gòu)局部放大圖。
[0014]圖中標(biāo)號(hào)說明:1、上拋盤，2、上盤架，3、水冷盤，4、軸承密封蓋，5、同步桿，6、夾緊板，7、水銀滑環(huán)，8、十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)，9、旋轉(zhuǎn)接頭支撐套，1、密封圈，11、旋轉(zhuǎn)密封套，12、心軸，13、法蘭，14、傳感器襯套，15、溫度傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來詳細(xì)說明本發(fā)明。
[0016]參照?qǐng)D1和圖2所示，一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，包括上拋盤I，所述上拋盤I的一端面固接一水冷盤3，上拋盤I的另一端面上設(shè)置有上盤架2，所述水冷盤3與上拋盤I上多處共同連接有傳感器襯套14，在本實(shí)施例中設(shè)有兩處，傳感器襯套14同時(shí)插入水冷盤3與上拋盤I中，并通過螺紋緊固件緊固在一起，所述傳感器襯套14內(nèi)設(shè)有溫度傳感器15，溫度傳感器15的一部分通過螺母鎖在傳感器襯套14內(nèi)，所述溫度傳感器15的導(dǎo)線與一水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端相連，所述水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上盤架2連接并同步旋轉(zhuǎn)。
[0017]所述上盤架2的上端和下端分別固接旋轉(zhuǎn)接頭支撐套9和水冷盤3，所述旋轉(zhuǎn)接頭支撐套9內(nèi)側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有心軸12，所述心軸12下端固接有十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)8，所述水銀滑環(huán)7固接于十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)8的內(nèi)孔中，水銀滑環(huán)7下方設(shè)有軸承密封蓋4，所述溫度傳感器15的導(dǎo)線穿過軸承密封蓋4與水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端相連，所述軸承密封蓋4與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套9下端面卡接配合。
[0018]所述水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端固接有夾緊板6，所述夾緊板6下端面與一同步桿5固接，所述同步桿5的一端設(shè)置于軸承密封蓋4的孔內(nèi)，用于水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端與軸承密封蓋4同步旋轉(zhuǎn)，夾緊板6、同步桿5、軸承密封蓋4和旋轉(zhuǎn)接頭支撐套9構(gòu)成傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得水銀滑環(huán)7的活動(dòng)端與上盤架2同步旋轉(zhuǎn)，避免溫度傳感器導(dǎo)線扭曲或損壞。
[0019]所述水銀滑環(huán)7的固定端上的導(dǎo)線通過心軸12內(nèi)的穿線孔向上引出。
[0020]所述心軸12上端固接有法蘭13，所述法蘭13上設(shè)有穿線孔并與心軸12內(nèi)的穿線孔相配合對(duì)應(yīng)，用于穿入水銀滑環(huán)7的固定端上的導(dǎo)線。
[0021]所述法蘭13與一旋轉(zhuǎn)密封套11固接在一起，所述旋轉(zhuǎn)密封套11與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套9之間設(shè)有四個(gè)密封圈10，四個(gè)密封圈10之間的環(huán)形間隙形成進(jìn)水通道和出水通道，用于上拋盤I的冷卻。
[0022]所述水冷盤3內(nèi)設(shè)有冷卻水循環(huán)水道。
[0023]此外，需要說明的是，除非特別說明或者指出，否則說明書中的術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個(gè)組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個(gè)組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。
[0024]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，包括上拋盤(I)，其特征在于，所述上拋盤(I)的一端面固接一水冷盤(3)，上拋盤(I)的另一端面上設(shè)置有上盤架(2)，所述水冷盤(3)與上拋盤(I)上多處共同連接有傳感器襯套(14)，所述傳感器襯套(14)內(nèi)設(shè)有溫度傳感器(15)，所述溫度傳感器(15)的導(dǎo)線與一水銀滑環(huán)(7)的活動(dòng)端相連，所述水銀滑環(huán)(7)的活動(dòng)端通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與上盤架(2 )連接并同步旋轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上盤架(2)的上端和下端分別固接旋轉(zhuǎn)接頭支撐套(9)和水冷盤(3)，所述旋轉(zhuǎn)接頭支撐套(9)內(nèi)側(cè)通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有心軸(12)，所述心軸(12)下端固接有十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)(8)，所述水銀滑環(huán)(7)固接于十字萬向節(jié)下關(guān)節(jié)(8)的內(nèi)孔中，水銀滑環(huán)(7)下方設(shè)有軸承密封蓋(4)，所述溫度傳感器(15)的導(dǎo)線穿過軸承密封蓋(4)與水銀滑環(huán)(7)的活動(dòng)端相連，所述軸承密封蓋(4)與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套(9)下端面卡接配合。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水銀滑環(huán)(7)的活動(dòng)端固接有夾緊板(6)，所述夾緊板(6)下端面與一同步桿(5)固接，所述同步桿(5)的一端設(shè)置于軸承密封蓋(4)的孔內(nèi)，用于水銀滑環(huán)(7)的活動(dòng)端與軸承密封蓋(4)同步旋轉(zhuǎn)。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水銀滑環(huán)(7)的固定端上的導(dǎo)線通過心軸(12)內(nèi)的穿線孔向上引出。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述心軸(12)上端固接有法蘭(13)，所述法蘭(13)上設(shè)有穿線孔并與心軸(12)內(nèi)的穿線孔相配合對(duì)應(yīng)，用于穿入水銀滑環(huán)(7)的固定端上的導(dǎo)線。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述法蘭(13)與一旋轉(zhuǎn)密封套(11)固接在一起，所述旋轉(zhuǎn)密封套(11)與旋轉(zhuǎn)接頭支撐套(9 )之間設(shè)有多個(gè)密封圈(10)，多個(gè)密封圈(10)之間的環(huán)形間隙形成進(jìn)水通道和出水通道，用于上拋盤(I)的冷卻。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙面拋光機(jī)的上盤溫度檢測(cè)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水冷盤(3)內(nèi)設(shè)有冷卻水循環(huán)水道。
【文檔編號(hào)】B24B29/02GK106041698SQ201610566986
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年7月19日
【發(fā)明人】喬衛(wèi)民, 李方俊, 翟新, 馬艷
【申請(qǐng)人】蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司