劃片機(jī)主軸緊固裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及緊固裝置，具體涉及劃片機(jī)主軸緊固裝置及裝調(diào)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]切割機(jī)是一種半導(dǎo)體后封裝關(guān)鍵設(shè)備，其作用是將器件分割成單個的電路單元或?qū)⒋蟪叽绮牧戏蛛x成小尺寸材料。切割機(jī)的工作機(jī)理是砂輪刀片的強(qiáng)力磨削，在切割過程中高速運(yùn)轉(zhuǎn)的砂輪刀片與被加工件進(jìn)行接觸，通過幾個方向的進(jìn)給運(yùn)動完成切割過程。其中主軸的作用就是完成砂輪刀片的固定和高速旋轉(zhuǎn)，由于半導(dǎo)體材料或器件切割加工精度要求很高，屬于超精密加工范疇，砂輪刀片的穩(wěn)定性尤其重要，刀片與被加工件之間的垂直度是影響切割質(zhì)量的重要因素之一。
[0003]切割機(jī)主軸是一種軸類零件，其固定及端面調(diào)整是切割機(jī)設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵點(diǎn)之一，如何能在保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的情況下完成微米級精度調(diào)節(jié)也是設(shè)備設(shè)計(jì)的難點(diǎn)。目前大多數(shù)軸類零部件固定多數(shù)采用端面鎖緊或法蘭固定的方式，這樣對主軸外形精度又有較高的要求，本實(shí)用新型就是設(shè)計(jì)一種穩(wěn)定的卡緊固定裝置，在不增加主軸制造成本的基礎(chǔ)上完成主軸的固定及前段刀盤端面的精度調(diào)整。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種劃片機(jī)主軸緊固裝置，可以完成劃片機(jī)主軸的穩(wěn)定緊固，該裝置還可以方便有效的進(jìn)行主軸刀盤端面的平面精度調(diào)整，保證刀盤與被加工件之間的垂直度要求。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)整的劃片機(jī)主軸緊固裝置，包括固定基座，固定基座上固定主軸座；固定基座與主軸座之間有調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)螺釘；主軸與刀盤穿過主軸座；壓板將主軸卡緊在主軸座上。
[0006]優(yōu)選的，所述固定基座與主軸座之間通過調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)螺釘固定，所述主軸與主軸座之間為間隙配合，壓板與主軸座之間通過緊定螺釘夾緊主軸。
[0007]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)塊的數(shù)量為三個。
[0008]本實(shí)用新型還提供上述劃片機(jī)主軸緊固裝置的裝調(diào)方法，包括如下步驟:
[0009]I)將下端的調(diào)節(jié)塊鎖緊，先調(diào)節(jié)左右兩個調(diào)整塊，對主軸前端刀盤進(jìn)行水平方向的平行度調(diào)整；
[0010]2)通過下端調(diào)整塊進(jìn)行刀盤豎直方向的平行度調(diào)整。
[0011]優(yōu)選的，所述刀盤端面與進(jìn)給方向平行度要求為不大于2 μ m。
[0012]優(yōu)選的，所述刀盤端面與被加工平面垂直度要求為不大于2 μπι。
[0013]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)塊的固定調(diào)節(jié)螺釘要求使用力矩扳手鎖緊，鎖緊扭矩范圍33?45Ν.m0
[0014]該裝置組裝時先將主軸固定座通過調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)螺釘緊定，然后將主軸穿過主軸座中心孔，調(diào)整好先后位置，將壓板利用緊定螺釘夾緊主軸，完成整個裝置的固定；當(dāng)進(jìn)行主軸刀盤端面調(diào)整時，先松動調(diào)節(jié)螺釘，然后將旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)塊，調(diào)節(jié)固定基座與主軸座之間的間隙大小，實(shí)現(xiàn)主軸前端刀盤端面的水平方向與豎直方向的平行度調(diào)節(jié)。調(diào)節(jié)過程中，注意需要鎖緊調(diào)節(jié)螺釘后再進(jìn)行精度檢測，利用力矩扳手使用標(biāo)準(zhǔn)的扭矩將三個緊定螺釘緊定。
[0015]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:提供一種劃片機(jī)主軸緊固裝置，可以完成切割機(jī)主軸的穩(wěn)定緊固，以及主軸刀盤端面的平面精度調(diào)整，保證刀盤與被加工件之間的垂直度要求。
[0016]本實(shí)用新型系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本較低，加工方便，緊固穩(wěn)定，容易調(diào)節(jié)，空間需求?。槐緦?shí)用新型可通過調(diào)節(jié)塊的外螺紋對主軸刀盤端面進(jìn)行較高機(jī)械精度調(diào)整。使用本裝置的切割機(jī)可提高主軸的穩(wěn)定性，并方便有效的進(jìn)行主軸刀盤端面精度控制。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型劃片機(jī)主軸緊固裝置的爆炸圖；
[0018]圖2是本實(shí)用新型裝調(diào)過程原理的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0020]本實(shí)用新型具體實(shí)施的技術(shù)方案是:
[0021]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型提供一種可調(diào)節(jié)劃片機(jī)主軸緊固裝置，包括固定基座1、主軸座2、調(diào)節(jié)塊3、調(diào)節(jié)螺釘31、壓板4、緊定螺釘41、主軸5及刀盤6 ;通過調(diào)節(jié)塊3外螺紋33調(diào)節(jié)主軸座2與固定基座I的平面間隙21對主軸6前端刀盤7的平面進(jìn)行精度調(diào)整。
[0022]所述固定基座I與主軸座2之間通過調(diào)節(jié)塊3和調(diào)節(jié)螺釘31固定，所述主軸6與主軸座2之間為間隙21配合，壓板4與主軸座2之間通過緊定螺釘41夾緊主軸5。
[0023]所述調(diào)節(jié)塊3的數(shù)量為三個。
[0024]本實(shí)用新型還提供上述主軸緊固裝置的裝調(diào)方法，包括如下步驟:
[0025]I)將下端的調(diào)節(jié)塊鎖緊，先調(diào)節(jié)左右兩個調(diào)整塊，對主軸前端刀盤進(jìn)行水平方向的平行度調(diào)整；
[0026]2)通過下端調(diào)整塊進(jìn)行刀盤豎直方向的平行度調(diào)整。
[0027]所述刀盤端面與進(jìn)給方向平行度要求為不大于2 μ mo
[0028]所述刀盤端面與被加工平面垂直度要求為不大于2 μ m。
[0029]所述調(diào)節(jié)塊的固定調(diào)節(jié)螺釘要求使用力矩扳手鎖緊，鎖緊扭矩范圍33?45N.m。
[0030]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.劃片機(jī)主軸緊固裝置，其特征在于，包括固定基座，固定基座上固定主軸座；固定基座與主軸座之間有調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)螺釘；主軸與刀盤穿過主軸座；壓板將主軸卡緊在主軸座上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機(jī)主軸緊固裝置，其特征在于，所述固定基座與主軸座之間通過調(diào)節(jié)塊和調(diào)節(jié)螺釘固定，所述主軸與主軸座之間為間隙配合，壓板與主軸座之間通過緊定螺釘夾緊主軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃片機(jī)主軸緊固裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)塊的數(shù)量為三個。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種可調(diào)節(jié)劃片機(jī)主軸緊固裝置，包括固定基座、主軸座、調(diào)節(jié)塊、壓板、調(diào)節(jié)螺釘和主軸及刀盤；通過調(diào)節(jié)塊外螺紋調(diào)節(jié)主軸座與固定基座的平面間隙對主軸前端刀盤的平面進(jìn)行精度調(diào)整。本實(shí)用新型還提供上述切割機(jī)主軸卡緊固定裝置的裝調(diào)方法，包括如下步驟：1)將下端的調(diào)節(jié)塊鎖緊，先調(diào)節(jié)左右兩個調(diào)整塊，對主軸前端刀盤進(jìn)行水平方向的平行度調(diào)整；2)通過下端調(diào)整塊進(jìn)行刀盤豎直方向的平行度調(diào)整。本實(shí)用新型提供的可調(diào)節(jié)劃片機(jī)主軸緊固裝置及裝調(diào)方法，通過調(diào)節(jié)螺紋實(shí)現(xiàn)對主軸刀盤平面的調(diào)節(jié)，結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、安裝精度高，且裝調(diào)后整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，形變小，節(jié)約結(jié)構(gòu)成本。
【IPC分類】B24B41-04, H01L21-67
【公開號】CN204308745
【申請?zhí)枴緾N201420485227
【發(fā)明人】顧迎峰, 王駿, 李丹
【申請人】江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年8月26日