接地彈片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種接地裝置，尤指一種用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積室的接地彈片。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposit1n，PECVD)是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種化學(xué)氣相沉積稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。
[0003]在PECVD沉積過(guò)程中，需要將承載基板的基座接地，如圖1所示，在現(xiàn)有技術(shù)中大多通過(guò)接地金屬片10連接基座和接地端子，多數(shù)情況下該接地金屬片經(jīng)過(guò)一道彎折。由于在PECVD沉積過(guò)程中基座需要進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致接地金屬片繞其連接處和彎折處扭轉(zhuǎn)，所以現(xiàn)有技術(shù)中的接地端子存在易折斷的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的局限，而提供一種接地彈片，其能夠不易折斷，便于加工，使等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的主要技術(shù)手段在于:提供一種接地彈片，適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室中承載基板接地連接，其包括:第一端，所述第一端與所述承載基板的基座電性連接；第二端，所述第二端與所述等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的接地端子電性連接；以及螺旋部，所述螺旋部電性連接所述第一端和所述第二端，所述螺旋部隨所述基座的升降而伸縮。本實(shí)用新型的技術(shù)方案采用一個(gè)螺旋狀的接地彈片代替經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬片，這樣改進(jìn)的益處在于螺旋狀的接地彈片在基座運(yùn)動(dòng)時(shí)每一個(gè)部分的彎折角度都遠(yuǎn)小于現(xiàn)有技術(shù)中經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬?gòu)椘?，這樣本實(shí)用新型的接地彈片可以經(jīng)過(guò)更多次的彎折而不斷裂。
[0006]本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于:螺旋部為呈螺旋狀的金屬片。
[0007]本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于:第一端和所述第二端均設(shè)有連接部。
[0008]本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于:第一端中的所述連接部為安裝孔。
[0009]本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)在于:第二端中的所述連接部為安裝卡槽。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為現(xiàn)有的用于PECVD的接地金屬片；
[0011]圖2為本實(shí)用新型接地彈片的一側(cè)視圖；
[0012]圖3為本實(shí)用新型接地彈片安裝完成后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]本實(shí)用新型的發(fā)明人發(fā)現(xiàn):在現(xiàn)有技術(shù)中，現(xiàn)有技術(shù)中采用的接地金屬片大多經(jīng)過(guò)一道彎折。由于在PECVD沉積過(guò)程中基座需要進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致接地金屬片繞其連接處和彎折處扭轉(zhuǎn)，易于折斷。因此，本實(shí)用新型的發(fā)明人對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行了改進(jìn)，提供一種為螺旋狀的接地彈片，以解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在各個(gè)問(wèn)題。
[0014]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0015]需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0016]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型的接地彈片20包括:與用于承載基板的基座30電性連接的第一端21 ;與等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的接地端子40電性連接的第二端22 ;螺旋部23，電性連接第一端21和第二端22。螺旋部23可隨基板30的升降而伸縮。在本實(shí)施例中，為增強(qiáng)接地彈片20的彈性，該螺旋部23為呈螺旋狀的金屬片，進(jìn)一步地，接地彈片20的材質(zhì)優(yōu)選為鋁或者不銹鋼。第一端21上設(shè)有供與基座30連接的連接部211，第二和第二端22上設(shè)有供與接地端子40連接的連接部221，在本實(shí)施例中，第一端21的連接部211可以是安裝孔211，第二端22的連接部221可以是安裝卡槽221，在安裝時(shí)，通過(guò)提供的螺接元件(例如螺釘、螺栓等)與連接部211配合而將第一端21與基座30連接，以及通過(guò)提供的螺接元件(例如螺釘、螺栓等)與連接部221配合而將第二端22與接地端子40連接。
[0017]如圖3所示，本實(shí)用新型的接地彈片20設(shè)置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)室中，將承載基板的基座30和接地端子40電性連接，基座30可在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積室中升降運(yùn)動(dòng)。當(dāng)基座30運(yùn)動(dòng)時(shí)由于第一端21和第二端22分別與基座30和接地端子40連接，所以螺旋部23隨基座30的運(yùn)動(dòng)而伸縮。本實(shí)用新型的技術(shù)方案采用一個(gè)螺旋狀的接地彈片20代替現(xiàn)有技術(shù)中經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬片，這樣改進(jìn)的益處在于螺旋狀的接地彈片20在基座30運(yùn)動(dòng)時(shí)每一個(gè)部分的彎折角度都遠(yuǎn)小于現(xiàn)有技術(shù)中經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬?gòu)椘?，這樣本實(shí)用新型的接地彈片20可以經(jīng)過(guò)更多次的彎折而不斷
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[0018]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型做任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種接地彈片，適用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室中承載基板接地連接，其特征在于，所述接地彈片包括: 第一端，所述第一端與所述承載基板的基座電性連接； 第二端，所述第二端與所述等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的接地端子電性連接；以及 螺旋部，所述螺旋部電性連接所述第一端和所述第二端，所述螺旋部隨所述基座的升降而伸縮。
2.如權(quán)利要求1所述的接地彈片，其特征在于:所述螺旋部為呈螺旋狀的金屬片。
3.如權(quán)利要求1所述的接地彈片，其特征在于:所述第一端和所述第二端均設(shè)有連接部。
4.如權(quán)利要求3所述的接地彈片，其特征在于:所述第一端中的所述連接部為安裝孔。
5.如權(quán)利要求3所述的接地彈片，其特征在于:所述第二端中的所述連接部為安裝卡槽。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種接地彈片，其設(shè)置于反應(yīng)室中，將承載基板的基座和接地端子電性連接，所述基座可在所述反應(yīng)室中升降運(yùn)動(dòng)，其特征在于所述接地彈片包括：與所述基座電性連接的第一端；與所述接地端子電性連接的第二端；螺旋部，該螺旋部電性連接第一端和第二端，所述螺旋部隨所述基座的運(yùn)動(dòng)而伸縮。本實(shí)用新型的技術(shù)方案采用一個(gè)螺旋狀的接地彈片代替經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬片，這樣改進(jìn)的益處在于螺旋狀的接地彈片在基座運(yùn)動(dòng)時(shí)每一個(gè)部分的彎折角度都大大小于現(xiàn)有技術(shù)中經(jīng)過(guò)一道彎折的接地金屬?gòu)椘@樣本實(shí)用新型的接地彈片可以經(jīng)過(guò)更多次的彎折而不斷裂。
【IPC分類(lèi)】C23C16-458
【公開(kāi)號(hào)】CN204356401
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420725647
【發(fā)明人】龔慶, 呂世偉, 鐘承業(yè)
【申請(qǐng)人】上海和輝光電有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2014年11月27日