生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氣相沉積爐，具體涉及一種生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]生產(chǎn)氮化硼制品的工藝中需要使用到氣相沉積爐，常規(guī)的氣相沉積爐一般采用旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)使模具在爐體內(nèi)部進(jìn)行公轉(zhuǎn)，在加熱的條件下進(jìn)行氣相沉積，而由于只能夠進(jìn)行公轉(zhuǎn)，使得模具和產(chǎn)品的受熱不夠均勻，在氣相沉積過程中容易產(chǎn)生殘次品，造成氮化硼制品的質(zhì)量不穩(wěn)定。所以，需要設(shè)計(jì)出一種能夠?qū)⒛＞哌M(jìn)行高效公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的集成旋轉(zhuǎn)模塊，確保氮化硼制品的產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性，提高氣相沉積爐的生產(chǎn)效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題就在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，它能夠?qū)崿F(xiàn)模具的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)同時(shí)旋轉(zhuǎn)，能夠使氮化硼制品的氣相沉積作業(yè)更加高效和均勻，提高生產(chǎn)效率，確保產(chǎn)品質(zhì)量；并且旋轉(zhuǎn)的能耗低、結(jié)構(gòu)簡單，工作成本和后期維護(hù)成本低，工作穩(wěn)定高效。
[0004]為解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，包括沉積爐的圓柱體形爐體，爐體的頂壁為吊盤，吊盤上設(shè)有排氣口，爐體的底板上設(shè)有進(jìn)氣口，還包括頂壁下方的階梯型上行外齒套，頂壁中央設(shè)有豎向的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸下部圓周外側(cè)套接于階梯型上行外齒套的豎向中軸線上，旋轉(zhuǎn)軸下端的圓周外側(cè)通過鎖緊螺母與階梯型上行外齒套的下端固定連接；旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)階梯型上行外齒套與旋轉(zhuǎn)軸一起轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0006]旋轉(zhuǎn)軸圓周外側(cè)的階梯型上行外齒套上設(shè)有若干個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿，一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿外側(cè)的階梯型上行外齒套上設(shè)有若干個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿，二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿外側(cè)的階梯型上行外齒套上設(shè)有若干個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿；所有一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿排列呈現(xiàn)的環(huán)形的軸線與旋轉(zhuǎn)軸的軸線重合；
[0007]所述一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的上部均通過軸承與階梯型上行外齒套轉(zhuǎn)動(dòng)連接；旋轉(zhuǎn)軸通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)階梯型上行外齒套和所有的一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)；一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿能過通過軸承與階梯型上行外齒套發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)桿的自轉(zhuǎn)；
[0008]一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿上端的高度從上至下依次為一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿；
[0009]每個(gè)一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的上端分別設(shè)有一級(jí)齒輪、二級(jí)齒輪和三級(jí)齒輪；
[0010]吊盤的下側(cè)面設(shè)置有外套件，外套件設(shè)置于階梯型上行外齒套的圓周外側(cè)；外套件下部的內(nèi)側(cè)設(shè)有圓環(huán)形的三階內(nèi)齒套，外套件中部的內(nèi)側(cè)面設(shè)有圓環(huán)形的二階內(nèi)齒套，外套件上部的內(nèi)側(cè)面設(shè)有圓環(huán)形的一階內(nèi)齒套，所述三階內(nèi)齒套、二階內(nèi)齒套和一階內(nèi)齒套分別與三級(jí)齒輪、二級(jí)齒輪和一級(jí)齒輪的遠(yuǎn)旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面嚙合。這樣，當(dāng)轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)階梯型上行外齒套轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所有的旋轉(zhuǎn)桿隨著轉(zhuǎn)動(dòng)體進(jìn)行公轉(zhuǎn)，同時(shí)，三階內(nèi)齒套、二階內(nèi)齒套和一階內(nèi)齒套分別驅(qū)動(dòng)三級(jí)齒輪、二級(jí)齒輪和一級(jí)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使所有的一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿進(jìn)行自轉(zhuǎn)；這樣，在所有的旋轉(zhuǎn)桿發(fā)生自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿上的模具和待加工產(chǎn)品進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，提高氣相沉積爐的沉積效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0011]優(yōu)選的，一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的中部和下部設(shè)有用于懸掛模具的掛架。
[0012]優(yōu)選的，旋轉(zhuǎn)軸的上端通過傳動(dòng)皮帶與步進(jìn)電機(jī)的輸出軸配合。
[0013]進(jìn)一步的，步進(jìn)電機(jī)通過減速機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸和階梯型上行外齒套發(fā)生公轉(zhuǎn)。
[0014]優(yōu)選的，外套件與吊盤的下側(cè)面固定連接。
[0015]優(yōu)選的，階梯型上行外齒套上均布設(shè)置有6個(gè)一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、12個(gè)二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿和16個(gè)三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿。
[0016]優(yōu)選的，一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿和三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的直徑均為10cm。
[0017]優(yōu)選的，旋轉(zhuǎn)軸的直徑為20cm左右或更大，視吊件重量而定。
[0018]優(yōu)選的，所有一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為70cm ;所有二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為130cm ;所有三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿的軸線排列呈現(xiàn)的環(huán)形的直徑為190cm ;爐體的直徑為240cm。
[0019]優(yōu)選的，爐體的內(nèi)壁上設(shè)有加熱模塊。加熱模塊為電加熱模塊，為氣相沉積爐提供高溫環(huán)境。
[0020]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果為:
[0021]本實(shí)用新型生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，能夠?qū)崿F(xiàn)模具的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)同時(shí)旋轉(zhuǎn)，能夠使氮化硼制品的氣相沉積作業(yè)更加高效和均勻，提高生產(chǎn)效率，確保產(chǎn)品質(zhì)量；
[0022]本實(shí)用新型生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，旋轉(zhuǎn)的能耗低、結(jié)構(gòu)簡單，工作成本和后期維護(hù)成本低，工作穩(wěn)定高效；
[0023]本實(shí)用新型生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，采用內(nèi)齒套驅(qū)動(dòng)齒輪和旋轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)桿的自轉(zhuǎn)，整套結(jié)構(gòu)只需要旋轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)，使得驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)簡單高效，節(jié)約能耗，降低設(shè)備復(fù)雜程度，便于沉積爐的高效運(yùn)行和后期維護(hù)。
【附圖說明】
[0024]圖1為本實(shí)用新型生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖2為本實(shí)用新型階梯型上行外齒套的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖3為圖1中AA線剖視圖。
[0027]圖4為圖1中B部分局部放大圖。
[0028]圖中:1、三階內(nèi)齒套；2、排氣口 ；3、三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿；4、三級(jí)齒輪；5、二階內(nèi)齒套；6、吊盤；7、二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿；8、二級(jí)齒輪；9、一階內(nèi)齒套；10、一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿；11、一級(jí)齒輪；12、旋轉(zhuǎn)軸；13、外套件；14、鎖緊螺母；15、進(jìn)氣口 ；16、加熱模塊；17、爐體；18、階梯型上行外齒套。
【具體實(shí)施方式】
[0029]實(shí)施例1
[0030]如圖1至圖4所示，本實(shí)用新型為生產(chǎn)氮化硼制品的氣相沉積爐的集成旋轉(zhuǎn)模塊，包括沉積爐的圓柱體形爐體17，爐體17的頂壁為吊盤6，吊盤6上設(shè)有排氣口 2，爐體17的底板上設(shè)有進(jìn)氣口 15，還包括頂壁下方的階梯型上行外齒套18，頂壁中央設(shè)有豎向的旋轉(zhuǎn)軸12，旋轉(zhuǎn)軸12下部圓周外側(cè)套接于階梯型上行外齒套18的豎向中軸線上，旋轉(zhuǎn)軸12下端的圓周外側(cè)通過鎖緊螺母14與階梯型上行外齒套18的下端固定連接；旋轉(zhuǎn)軸12的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)階梯型上行外齒套18與旋轉(zhuǎn)軸12 —起轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0031]旋轉(zhuǎn)軸12圓周外側(cè)的階梯型上行外齒套18上設(shè)有6個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿10，一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿10外側(cè)的階梯型上行外齒套18上設(shè)有12個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿7，二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿7外側(cè)的階梯型上行外齒套18上設(shè)有16個(gè)豎向呈環(huán)形并列設(shè)置的三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿3 ;所有一級(jí)旋轉(zhuǎn)桿10排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有二級(jí)旋轉(zhuǎn)桿7排列呈現(xiàn)的環(huán)形、所有三級(jí)旋轉(zhuǎn)桿3排