氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【背景技術(shù)】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種玻璃鍍膜時(shí)向?yàn)R射腔室中供給氣體的氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)，具體地說(shuō)是一種在玻璃鍍膜時(shí)向?yàn)R射腔室中供給單一氣體或多種混合氣體的氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0002]在鍍膜玻璃鍍膜生產(chǎn)中，使濺射靶材沉積在濺射腔室內(nèi)的玻璃板上，根據(jù)需要向?yàn)R射腔室中供給單一或混合的工業(yè)氣體，例如氬氣、氧氣、氮?dú)?，這些工業(yè)氣體在有一些情況中是為了保護(hù)濺射靶材穩(wěn)定地附著在玻璃表面形成鍍膜，在有一些情況下是為了與濺射靶材或玻璃材料反應(yīng)形成附著在玻璃表面的鍍膜，例如，向?yàn)R射腔室中供給氮?dú)?，在玻璃表面形成氮化硅鍍膜；又例如濺射靶材是銅，工業(yè)氣體是氧氣，可以在玻璃表面形成氧化銅鍍膜，但是在這種情況下，需要供給到濺射腔室內(nèi)的氧氣量不僅很小，而且需要氧氣均勻分散到惰性氣體中，才能夠保證在玻璃板表面形成薄且均勻的氧化銅鍍膜。
[0003]在現(xiàn)有的鍍膜玻璃生產(chǎn)中，將工業(yè)氣體分成多個(gè)供氣段，每一個(gè)供氣段將一種或均勻混合多種工業(yè)氣體供給到濺射腔室內(nèi)。但是各供氣段之間的供氣量往往不能保證相同，各供氣段的氣體混合均勻程度也不相同，導(dǎo)致生產(chǎn)出來(lái)的鍍膜玻璃上各位置處的鍍膜的密度和厚度不一致。
[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)，不僅能夠精確控制各供氣段向該濺射腔室噴射的混合氣體量，而且可以使各供氣段供給的混合氣體的混合比和供氣量一致。
[0005]在本實(shí)用新型中，該氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)具有一個(gè)控制裝置，和多個(gè)供氣段，每個(gè)供氣段具有一個(gè)混合腔，該混合腔與多個(gè)供氣管連接，每個(gè)供氣管上具有一個(gè)電動(dòng)閥和一個(gè)流量計(jì)，并與一個(gè)工業(yè)氣體供氣源相連接。
[0006]在本實(shí)用新型中，控制裝置接收各流量計(jì)的信號(hào)，控制各電動(dòng)閥的開(kāi)度，控制各工業(yè)氣體進(jìn)入混合腔的數(shù)量和比例，同時(shí)控制進(jìn)入各混合腔的混合氣體混合比和氣體量相一致，向?yàn)R射腔室內(nèi)供給工業(yè)氣體。
[0007]本實(shí)用新型能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
[0008]圖面說(shuō)明
[0009]圖1是本實(shí)用新型氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]在圖1中，該氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)具有一個(gè)控制裝置6，和多個(gè)供氣段(圖1中繪出了兩個(gè)供氣段)，每個(gè)供氣段具有一個(gè)包括一系列噴氣口的噴氣管1，一個(gè)混合腔2，該混合腔2與多個(gè)供氣管7連接，每個(gè)供氣管7上具有一個(gè)電動(dòng)閥4和一個(gè)流量計(jì)3，并與一個(gè)工業(yè)氣體供氣源5相連接。
[0011]在該氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)中，控制裝置6接收各流量計(jì)4的信號(hào)，控制各電動(dòng)閥3的開(kāi)度，從而控制各工業(yè)氣體進(jìn)入混合腔2的量和比例，同時(shí)控制進(jìn)入各混合腔2的混合氣體混合比和氣體量相一致，向?yàn)R射腔室內(nèi)供給工業(yè)氣體。
[0012]在工作中，該氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)，其特征在于具有一個(gè)控制裝置，和多個(gè)供氣段，每個(gè)供氣段具有一個(gè)包括一系列噴氣口的噴氣管，一個(gè)混合腔，該混合腔與多個(gè)供氣管連接，每個(gè)供氣管上具有一個(gè)電動(dòng)閥和一個(gè)流量計(jì)，并與一個(gè)工業(yè)氣體供氣源5相連接，該控制裝置接收各流量計(jì)的信號(hào)，控制各電動(dòng)閥的開(kāi)度。
【專(zhuān)利摘要】一種氣體流量計(jì)閥系統(tǒng)，具有一個(gè)控制裝置，和多個(gè)供氣段，每個(gè)供氣段具有一個(gè)混合腔，該混合腔與多個(gè)供氣管連接，每個(gè)供氣管上具有一個(gè)電動(dòng)閥和一個(gè)流量計(jì)，并與一個(gè)工業(yè)氣體供氣源相連接，該控制裝置接收各流量計(jì)的信號(hào)，控制各電動(dòng)閥的開(kāi)度，能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
【IPC分類(lèi)】C23C14/34, C23C14/54, C03C17/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204625781
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520305687
【發(fā)明人】劉勇
【申請(qǐng)人】北京冠華東方玻璃科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2015年5月13日