一種新型高效鍍鋁設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍鋁設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種新型高效鍍鋁設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍鋁機(jī)是在真空條件下，利用電子束加熱待蒸材料，使之氣化蒸發(fā)后凝結(jié)在晶片表面上成膜的設(shè)備，主要包括真空系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和高壓發(fā)生裝置，然而目前國(guó)內(nèi)現(xiàn)有鍍鋁設(shè)備普遍存在產(chǎn)能低，能耗高，蒸發(fā)舟間距寬，鋁蒸發(fā)窗口窄的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種提高鋁鍍層的厚度，降低鋁絲的損耗，提高了設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)速度的新型高效鍍鋁設(shè)備。
[0004]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型一種新型高效鍍鋁設(shè)備，其特征在于:所述鍍鋁設(shè)備包括依次相連的制冷系統(tǒng)、卷繞系統(tǒng)、真空艙體、真空栗組、配電柜以及和所述制冷系統(tǒng)連接的制冷機(jī)；
[0005]所述卷繞系統(tǒng)包括卷繞小車(chē)，所述卷繞小車(chē)墻板上由上游至下游依次設(shè)置有放卷裝置、螺紋微量展平輥、蒸發(fā)擋板、主輥、高速在線光密度檢測(cè)儀、張力輥、壓臂和收卷裝置，所述蒸發(fā)擋板和所述主輥以及所述壓臂上分別設(shè)有橡膠展平輥；所述放卷裝置和所述螺紋微量展平輥之間、所述螺紋微量展平輥與所述蒸發(fā)擋板之間、所述主輥和所述高速在線光密度檢測(cè)儀之間、所述張力輥和所述壓臂之間以及所述壓臂上橡膠展平輥的兩側(cè)分別設(shè)有鏡面輥，所述卷繞系統(tǒng)通過(guò)西門(mén)子伺服電機(jī)提供動(dòng)力；
[0006]所述真空艙體內(nèi)相鄰坩禍間距為80mm。
[0007]其中所述制冷機(jī)包括一臺(tái)8平方米強(qiáng)力低溫水汽捕捉制冷機(jī)、一臺(tái)4平方米強(qiáng)力低溫水汽捕捉制冷機(jī)和一臺(tái)每小時(shí)水流量2立方米循環(huán)制冷機(jī)。
[0008]其中所述真空栗組包括三臺(tái)抽速每小時(shí)630立方米旋片栗、兩臺(tái)抽速每小時(shí)35立方米真空維持栗、五臺(tái)抽速每小時(shí)20000立方米羅茨栗、兩臺(tái)抽速每小時(shí)4320立方米羅茨栗和.三臺(tái)抽速每小時(shí)50000立方米擴(kuò)散栗。
[0009]其中所述蒸發(fā)擋板上方兩側(cè)圍板之間間距為400mm。
[0010]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)不同之處在于本實(shí)用新型取得了如下技術(shù)效果:
[0011]1、本實(shí)用新型的鍍鋁機(jī)將原有的蒸發(fā)舟(坩禍)距離由10mm變成80mm，此距離的縮短大大增加了鍍膜的均勻度，可讓均勻度提高20% ；
[0012]2、鍍膜窗口由原來(lái)的300mm變成400mm，增加了鋁蒸汽與膜的結(jié)合窗口寬度，大大增加了鍍膜的效率，減少附著在圍板上的凝集鋁塊，相比以前的鍍膜窗口，鍍同樣長(zhǎng)寬的薄膜可節(jié)約鋁絲20% ;
[0013]3、通過(guò)減少蒸發(fā)舟(坩禍)之間的距離，增大鍍膜窗口，可讓總體的鍍膜效率提高35%左右，經(jīng)實(shí)驗(yàn)證實(shí)最高鍍膜速度由840M/min增快到1100M/min，達(dá)到國(guó)內(nèi)最快的鍍膜速度，同時(shí)3300寬幅也是目前國(guó)內(nèi)最寬的。
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型新型高效鍍鋁設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實(shí)用新型新型高效鍍鋁設(shè)備卷繞架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為本實(shí)用新型新型高效鍍鋁設(shè)備真空艙體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為本實(shí)用新型新型高效鍍鋁設(shè)備薄膜鍍鋁示意圖；
[0019]圖5為本實(shí)用新型高效鍍鋁設(shè)備內(nèi)蒸發(fā)箱結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖6為本實(shí)用新型高效鍍鋁設(shè)備鍍鋁結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖7為本實(shí)用新型高效鍍鋁設(shè)備鍍鋁薄膜在卷繞系統(tǒng)上纏卷示意圖。
[0022]附圖標(biāo)記說(shuō)明:1-卷繞系統(tǒng)；1-1-卷繞小車(chē)；1-2_西門(mén)子伺服電機(jī)；1-3_放卷裝置；1-4-收卷裝置；1-5-壓臂；1-6-螺紋微量展平輥；1-7-蒸發(fā)擋板；1-8-鏡面輥；1_9_橡膠展平輥；1-10_高速在線光密度檢測(cè)儀；1-11-主輥；1-12-張力輥；2_真空艙體；2-1_控制臺(tái)；2-2_變壓器；2-3_正電極；2-4_頻閃擋板；2-5_蒸發(fā)箱；2_6_送絲架；2_7_正電極擋板；2-8_長(zhǎng)正電極；2-9_短正電極；2-10_坩禍(氮化硼);2-11_長(zhǎng)負(fù)電極；2_12_短負(fù)電極；2-13-負(fù)電極固定板；3_真5?栗組；4_制冷系統(tǒng)；5_薄膜；6_第一圍板；7_第二圍板；8_配電柜；9_制冷機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明。
[0024]新型高效鍍鋁機(jī)(見(jiàn)圖1-6)，包含卷繞系統(tǒng)1，真空艙體2，真空栗組3，制冷系統(tǒng)4，配電柜8，制冷機(jī)9 ;
[0025]鍍膜之前，先把卷徑1000的塑料薄膜5安放于放卷裝置1-3上，然后將卷繞系統(tǒng)I開(kāi)進(jìn)真空艙體2，隨后通過(guò)真空栗組3將真空艙體2內(nèi)的空氣抽出，當(dāng)真空艙體2內(nèi)的真空度達(dá)到2.0*10 4mbar時(shí)，真空艙體2內(nèi)蒸發(fā)箱2_5開(kāi)始加熱，加熱到1700°C時(shí)，卷繞系統(tǒng)I的各輥開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)(機(jī)器開(kāi)動(dòng)時(shí)，薄膜5由放卷裝置1-3經(jīng)過(guò)鏡面輥1-8，向上經(jīng)過(guò)螺紋微量展平輥1-6，再由上方鏡面輥1-8途經(jīng)蒸發(fā)擋板1-7上方，再通過(guò)橡膠展平輥1-9，回卷到主輥1-11，主輥1-11內(nèi)部通過(guò)冷卻系統(tǒng)4提供-130°C的低溫冷卻，將剛鍍好的薄膜進(jìn)行冷卻并回卷到鏡面輥1-8，續(xù)而通過(guò)高速光密度在線測(cè)厚儀1-10，上傳到張力輥1-12，向下通過(guò)鏡面輥1-8，再通過(guò)壓臂1-5上的的橡膠展平輥1-9，下傳給鏡面輥1-8，傳到收卷裝置1-4，完成穿膜(參見(jiàn)圖7);
[0026]放裝置卷1-3通過(guò)西門(mén)子伺服電機(jī)1-2將薄膜傳送到橡膠展平輥1-9，當(dāng)蒸發(fā)擋板1-7打開(kāi)時(shí)，開(kāi)始鍍膜，鍍上鋁的薄膜5通過(guò)主輥1-11冷卻，經(jīng)過(guò)主輥1-11后，薄膜5通過(guò)在線測(cè)厚儀1-10進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)薄膜5的鍍鋁厚度，來(lái)調(diào)節(jié)蒸發(fā)箱內(nèi)坩禍(氮化硼)2-10的功率大小來(lái)調(diào)節(jié)薄膜鍍鋁層的厚度均勻。通過(guò)壓臂1-5的展平后由收卷架1-4將鍍好鋁的薄膜收成卷狀，當(dāng)放卷1-3上的薄膜完全鍍完后，停止蒸發(fā)箱的加熱，隨后停止真空栗組的運(yùn)行，打開(kāi)卷繞小車(chē)，取出鍍好的薄膜，完成一個(gè)周期的生產(chǎn)。
[0027]以上所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型高效鍍鋁設(shè)備，其特征在于:所述鍍鋁設(shè)備包括依次相連的制冷系統(tǒng)、卷繞系統(tǒng)、真空艙體、真空栗組、配電柜以及和所述制冷系統(tǒng)連接的制冷機(jī)； 所述卷繞系統(tǒng)包括卷繞小車(chē)，所述卷繞小車(chē)墻板上由上游至下游依次設(shè)置有放卷裝置、螺紋微量展平輥、蒸發(fā)擋板、主輥、高速在線光密度檢測(cè)儀、張力輥、壓臂和收卷裝置，所述蒸發(fā)擋板和所述主輥以及所述壓臂上分別設(shè)有橡膠展平輥；所述放卷裝置和所述螺紋微量展平輥之間、所述螺紋微量展平輥與所述蒸發(fā)擋板之間、所述主輥和所述高速在線光密度檢測(cè)儀之間、所述張力輥和所述壓臂之間以及所述壓臂上橡膠展平輥的兩側(cè)分別設(shè)有鏡面輥，所述卷繞系統(tǒng)通過(guò)西門(mén)子伺服電機(jī)提供動(dòng)力； 所述真空艙體內(nèi)相鄰坩禍間距為80mm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型高效鍍鋁設(shè)備，其特征在于:所述制冷機(jī)包括一臺(tái)8平方米強(qiáng)力低溫水汽捕捉制冷機(jī)、一臺(tái)4平方米強(qiáng)力低溫水汽捕捉制冷機(jī)和一臺(tái)每小時(shí)水流量2立方米循環(huán)制冷機(jī)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型高效鍍鋁設(shè)備，其特征在于:所述真空栗組包括三臺(tái)抽速每小時(shí)630立方米旋片栗、兩臺(tái)抽速每小時(shí)35立方米真空維持栗、五臺(tái)抽速每小時(shí)20000立方米羅茨栗、兩臺(tái)抽速每小時(shí)4320立方米羅茨栗和.三臺(tái)抽速每小時(shí)50000立方米擴(kuò)散栗O4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型高效鍍鋁設(shè)備，其特征在于:所述蒸發(fā)擋板上方兩側(cè)圍板之間間距為400mm。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型高效鍍鋁設(shè)備，其目的在于解決現(xiàn)有真空鍍鋁機(jī)生產(chǎn)效率低，成本高，減少?gòu)U品率的問(wèn)題，鍍鋁設(shè)備包括依次相連的制冷系統(tǒng)、卷繞系統(tǒng)、真空艙體、真空泵組、配電柜以及和制冷系統(tǒng)連接的制冷機(jī)；卷繞系統(tǒng)包括卷繞小車(chē)，卷繞小車(chē)墻板上由上游至下游依次設(shè)置有放卷裝置、螺紋微量展平輥、蒸發(fā)擋板、主輥、高速在線光密度檢測(cè)儀、張力輥、壓臂和收卷裝置，蒸發(fā)擋板和主輥以及壓臂上分別設(shè)有橡膠展平輥；放卷裝置和螺紋微量展平輥之間、螺紋微量展平輥與蒸發(fā)擋板之間、主輥和高速在線光密度檢測(cè)儀之間、張力輥和壓臂之間以及壓臂上橡膠展平輥的兩側(cè)分別設(shè)有鏡面輥，卷繞系統(tǒng)通過(guò)西門(mén)子伺服電機(jī)提供動(dòng)力；真空艙體內(nèi)相鄰坩堝間距為80mm。
【IPC分類(lèi)】C23C14/30
【公開(kāi)號(hào)】CN204727940
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520375704
【發(fā)明人】曾文東, 陳中修, 陳中翰
【申請(qǐng)人】上海英冠鍍膜科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年10月28日
【申請(qǐng)日】2015年6月4日