一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種研磨設(shè)備，特別是一種石英片球面研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]晶振片主要應(yīng)用在膜厚控制儀器領(lǐng)域，薄薄圓圓的晶振片來源于多面體石英棒，先被切成六面體棒，再經(jīng)過反復(fù)的切割和研磨，石英棒最終被做成一堆薄薄的石英片，每個石英片經(jīng)切邊、拋光和清洗，最后鍍上金屬電極成為晶振片，適用于不同應(yīng)力膜料的鍍膜控制。
[0003]—片合格的石英片，在加工過程中的研磨是保證其精度的關(guān)鍵，通常的石英片的研磨結(jié)構(gòu)中包括上、下研磨盤及傳動支架。上研磨盤由盤體和位于盤體中且與盤體絕緣的鋼制芯桿構(gòu)成，芯桿上端有孔，而傳動支架與芯桿間通過銅桿連接，銅桿端部位于芯桿上端的孔中且芯桿可繞銅桿轉(zhuǎn)動，傳動支架與下研磨盤均分別由相應(yīng)的驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動，而銅桿通過傳動支架的帶動會帶動上研磨盤做一定的運動；通常的石英片的研磨方式是把石英片放置于上、下研磨盤中進行球面研磨，過程中下研磨盤旋轉(zhuǎn)，上研磨盤在沿下研磨盤軸心點到預(yù)定的某一點間的直線軌跡上做往復(fù)移動，且同時在該過程中隨下研磨盤旋轉(zhuǎn)而轉(zhuǎn)動，從而將其中的石英片研磨成預(yù)定尺寸。
[0004]在上述過程中，銅桿與芯桿的孔的內(nèi)壁會不斷摩擦，不僅銅桿與芯桿間會產(chǎn)生較大的摩擦力使上研磨盤隨下研磨盤轉(zhuǎn)動不迅速、不均勻，而且銅桿相比芯桿較軟，因而銅桿端部與芯桿接觸的部分會很快磨損，磨損后會造成傳動支架偏移，導(dǎo)致其角度改變，使上研磨盤在下研磨盤上的移動偏離原定軌跡，從而使上、下研磨盤間的摩擦產(chǎn)生非均勻、非對稱的磨損，上、下研磨盤間的的吻合度產(chǎn)生較大的變化，在研磨過程中造成石英片跳動，導(dǎo)致廢片增加，成品合格率降低，從而成本也大大增加，因而有必要針對上述問題進行改進。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，可大大減低廢片產(chǎn)生。
[0006]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，包括上研磨盤、芯桿及銅桿，上研磨盤中設(shè)有通孔，所述芯桿固定于該通孔中，且芯桿與通孔間設(shè)有絕緣層，其特征在于:所述芯桿的端部設(shè)有安裝孔，安裝孔內(nèi)固定有軸承，所述銅桿的端部與軸承的內(nèi)圈配合。
[0008]所述芯桿包括較細(xì)的桿部及較粗的頭部，所述桿部位于所述通孔中，且頭部凸出于上研磨盤的表面，所述安裝孔位于頭部。
[0009]所述上研磨盤包括圓臺形的盤體及與盤體固定的圓軸體，所述通孔貫通盤體及圓軸體。
[0010]所述圓軸體的直徑范圍是8mm—20mm。
[0011]所述芯桿的頭部外側(cè)包覆有一層絕緣體。
[0012]本實用新型的有益效果是:本實用新型公開了一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，包括上研磨盤、芯桿及銅桿，上研磨盤中設(shè)有通孔，所述芯桿固定于該通孔中，且芯桿及通孔間設(shè)有絕緣層，所述芯桿的端部設(shè)有安裝孔，安裝孔內(nèi)固定有軸承，所述銅桿的端部與軸承的內(nèi)圈配合，通過上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)上研磨盤在運動過程中，芯桿與銅桿間不會再有直接摩擦產(chǎn)生，因而芯桿與銅桿間的摩擦力會很小，因而上研磨盤隨下研磨盤轉(zhuǎn)動時旋轉(zhuǎn)更快更均勻；避免了銅桿與芯桿間的直接摩擦，因而銅桿的端部不會有較大的磨損，傳動支架不易下垂而導(dǎo)致其角度改變，保持最佳的研磨軌跡。
【附圖說明】
[0013]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0014]圖1是本實用新型的俯視不意圖；
[0015]圖2是本實用新型的仰視示意圖；
[0016]圖3是本實用新型的正視示意圖。
【具體實施方式】
[0017]下面詳細(xì)描述本實用新型的實施例，所述的實施例示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。
[0018]在本實用新型的描述中，需要說明的是，對于方位詞，如有術(shù)語“中心”，“橫向”、“縱向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”等指示方位和位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于敘述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定方位構(gòu)造和操作，不能理解為限制本實用新型的具體保護范圍。
[0019]此外，如有術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或隱含指明技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隱含包括一個或者多個該特征，在本實用新型描述中，“數(shù)個”的含義是兩個或兩個以上，除非另有明確具體的限定。
[0020]在本實用新型中，除另有明確規(guī)定和限定，如有術(shù)語“組裝”、“相連”、“連接”術(shù)語應(yīng)作廣義去理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；也可以是機械連接；可以是直接相連，也可以是通過中間媒介相連，可以是兩個元件內(nèi)部相連通。對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述的術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
[0021]在實用新型中，除非另有規(guī)定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“之下”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅是表示第一特征水平高度高于第二特征的高度。第一特征在第二特征“之上”、“之下”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度低于第二特征。
[0022]參照圖1至圖3，本實用新型公開了一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，包括上研磨盤1、芯桿2及銅桿(圖中未視出)，上研磨盤I包括圓臺形的盤體3及固定于盤體3—面中心處的圓軸體4，上研磨盤I中的通孔貫通盤體3及圓軸體4，芯桿2包括較細(xì)的圓桿部及較粗的頭部，所述圓桿部位于所述通孔(圖中未視出)中，且桿部與通孔間設(shè)有絕緣層，因為本芯桿2及銅桿是作為探測石英片頻率用的，因而必須避免芯桿2及銅桿與上研磨盤I連接而發(fā)生導(dǎo)通，因此，除了桿部與通孔間設(shè)有絕緣層，芯桿的頭部外側(cè)包覆有一層絕緣體。芯桿2頭部較粗且凸出于上研磨盤I的表面，因而便于設(shè)置用于安裝軸承5的安裝孔，安裝孔內(nèi)固定有軸承5，所述銅桿的端部與軸承5的內(nèi)圈配合，而軸承5的外圈則與芯桿2上的安裝孔的內(nèi)壁相固定。
[0023]作為本實施例的優(yōu)選設(shè)計，圓軸體4的直徑是14 _，但是圓軸體4的直徑并不是固定不變的，圓軸體4的直徑是與需要研磨的石英片的大小是相配的。當(dāng)石英片小，圓軸體4的直徑也可小為8_ ;當(dāng)石英片大，圓軸體4的直徑也可大為20_。
[0024]以上對本實用新型實施例所提供的一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，進行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想；同時，對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實用新型的思想，在【具體實施方式】及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實用新型的限制。
【主權(quán)項】
1.一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，包括上研磨盤、芯桿及銅桿，上研磨盤中設(shè)有通孔，所述芯桿固定于該通孔中，且芯桿與通孔間設(shè)有絕緣層，其特征在于:所述芯桿的端部設(shè)有安裝孔，安裝孔內(nèi)固定有軸承，所述銅桿的端部與軸承的內(nèi)圈配合。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述芯桿包括較細(xì)的桿部及較粗的頭部，所述桿部位于所述通孔中，且頭部凸出于上研磨盤的表面，所述安裝孔位于頭部。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述上研磨盤包括圓臺形的盤體及與盤體固定的圓軸體，所述通孔貫通盤體及圓軸體。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述圓軸體的直徑范圍是8mm—20mmο5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述芯桿的頭部外側(cè)包覆有一層絕緣體。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石英片研磨設(shè)備電極連接結(jié)構(gòu)，包括上研磨盤、芯桿及銅桿，上研磨盤中設(shè)有通孔，所述芯桿固定于該通孔中，且芯桿及通孔間設(shè)有絕緣層，其特征在于：所述芯桿的端部設(shè)有安裝孔，安裝孔內(nèi)固定有軸承，所述銅桿的端部與軸承的內(nèi)圈配合，通過上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)上研磨盤在運動過程中，芯桿與銅桿間不會再有直接摩擦產(chǎn)生，因而芯桿與銅桿間的摩擦力會很小，因而上研磨盤隨下研磨盤轉(zhuǎn)動時旋轉(zhuǎn)更快更均勻；避免了銅桿與芯桿間的直接摩擦，因而銅桿的端部不會有較大的磨損，傳動支架不易下垂而導(dǎo)致其角度改變，保持最佳的研磨軌跡。
【IPC分類】B24B37/34
【公開號】CN204800450
【申請?zhí)枴緾N201520422923
【發(fā)明人】肖共和, 陳愿勤
【申請人】中山市泰威技術(shù)開發(fā)有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年6月18日