一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)氣相沉積(CVD)是反應(yīng)氣體在一定條件下分解并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最終生成固態(tài)物質(zhì)沉積在基體表面繼而形成薄膜的一種技術(shù)。在工藝上與其他薄膜沉積技術(shù)相比，具有沉積速度快、膜層質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)，且已廣泛應(yīng)用于電子、光電子、表面改性等領(lǐng)域。該技術(shù)的缺點(diǎn)是沉積工藝溫度過高，一般在(900°C?1200°C )之間，被處理的基體在高溫下易變形、基體晶粒長大、致使基材性能發(fā)生改變，甚至某些相對低熔點(diǎn)的合金基材:如(Al合金)無法涂覆，而PECVD在很大程度上改進(jìn)了 CVD的這些缺點(diǎn)。PECVD技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。PECVD方法區(qū)別于其他CVD方法的特點(diǎn)在于等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進(jìn)氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程，生成活性很高的各種化學(xué)基團(tuán)，因而顯著降低CVD薄膜沉積的溫度范圍，使得原來需要在高溫下才能進(jìn)行的CVD過程得以在低溫下實(shí)現(xiàn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，包括舟槳本體、與所述舟槳本體連接的推送桿，所述推送桿連接在滑動(dòng)箱上，所述滑動(dòng)箱側(cè)面設(shè)有絲杠套，所述絲杠套與設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)絲杠配合，所述傳動(dòng)絲杠與設(shè)置在機(jī)架的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)連接，所述滑動(dòng)箱與設(shè)置在機(jī)架上的滑軌配合，所述舟槳本體上設(shè)有開口向上的滑孔，所述滑孔內(nèi)設(shè)有擋塊，所述擋塊底部與所述舟槳本體之間設(shè)有復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧用于將所述擋塊頂部頂出舟槳，所述擋塊朝向舟槳本體頭部一側(cè)為斜面，所述斜面延伸至滑孔內(nèi)，所述擋塊朝向舟槳尾部一側(cè)為豎直面。
[0005]上述設(shè)計(jì)中利用伸縮的擋塊以及擋塊前面的斜面，在石墨舟放錯(cuò)位置時(shí)，所述擋塊在斜面受力擠壓下縮回，防止撞傷電極及石墨舟；通過傳動(dòng)絲杠驅(qū)動(dòng)舟槳本體運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)。
[0006]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述舟槳本體與推送桿通過連接塊連接，所述舟槳本體與連接塊連接處鉸接有擋板，所述連接塊上設(shè)有水平的調(diào)整螺栓，所述調(diào)整螺栓端部與擋板尾部貼合。所述擋板角度可調(diào)，便于支撐不同形狀的石墨舟，防止石墨舟損壞。
[0007]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋塊側(cè)面設(shè)有滑爪，所述滑爪與設(shè)置在舟槳本體上的滑槽配合，防止擋塊卡死，便于擋塊伸縮順滑。
[0008]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滑動(dòng)箱上設(shè)有上下兩塊夾板，所述滑動(dòng)箱側(cè)面設(shè)有微調(diào)螺栓，所述微調(diào)螺栓頂住所述夾板。所述夾板便于調(diào)整舟槳本體的前后位置，所述微調(diào)螺栓便于調(diào)整舟槳本體的空間位置，防止舟槳本體與設(shè)備碰撞。
[0009]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述舟槳本體頭部為錐面，便于引導(dǎo)舟槳本體進(jìn)入設(shè)備。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型利用伸縮的擋塊以及擋塊前面的斜面，在石墨舟放錯(cuò)位置時(shí)，所述擋塊在斜面受力擠壓下縮回，防止撞傷電極及石墨舟；通過傳動(dòng)絲杠驅(qū)動(dòng)舟槳本體運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)。
【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0012]圖1是本實(shí)用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是本實(shí)用新型的滑動(dòng)箱俯視示意圖。
[0014]圖3是本實(shí)用新型的擋塊部位局部示意圖。
[0015]圖4是本實(shí)用新型的滑動(dòng)箱與傳動(dòng)絲杠配合結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]在圖中1.舟槳本體，2.擋塊，3.擋板，4.調(diào)整螺栓，5.連接塊，6.推送桿，7.夾板，8.微調(diào)螺栓，9.復(fù)位彈簧，10.滑軌，11.傳動(dòng)絲杠，12.馬達(dá)，13.絲杠套，14.機(jī)架，15.滑動(dòng)箱，16.滑孔，17.滑爪，18.滑槽。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型，其中的示意性實(shí)施例以及說明僅用來解釋本實(shí)用新型，但并不作為對本實(shí)用新型的限定。
[0018]實(shí)施例:一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，包括舟槳本體1、與所述舟槳本體I連接的推送桿6，所述推送桿6連接在滑動(dòng)箱15上，所述滑動(dòng)箱15側(cè)面設(shè)有絲杠套13，所述絲杠套13與設(shè)置在機(jī)架14上的傳動(dòng)絲杠11配合，所述傳動(dòng)絲杠11與設(shè)置在機(jī)架14的馬達(dá)12驅(qū)動(dòng)連接，所述滑動(dòng)箱15與設(shè)置在機(jī)架14上的滑軌10配合，所述舟槳本體I上設(shè)有開口向上的滑孔16，所述滑孔16內(nèi)設(shè)有擋塊2，所述擋塊2底部與所述舟槳本體I之間設(shè)有復(fù)位彈簧9，所述復(fù)位彈簧9用于將所述擋塊2頂部頂出舟槳，所述擋塊2朝向舟槳本體I頭部一側(cè)為斜面，所述斜面延伸至滑孔16內(nèi)，所述擋塊2朝向舟槳尾部一側(cè)為豎直面。
[0019]上述設(shè)計(jì)中利用伸縮的擋塊2以及擋塊2前面的斜面，在石墨舟放錯(cuò)位置時(shí)，所述擋塊2在斜面受力擠壓下縮回，防止撞傷電極及石墨舟；通過傳動(dòng)絲杠11驅(qū)動(dòng)舟槳本體I運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)。
[0020]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述舟槳本體I與推送桿6通過連接塊5連接，所述舟槳本體I與連接塊5連接處鉸接有擋板3，所述連接塊5上設(shè)有水平的調(diào)整螺栓4，所述調(diào)整螺栓4端部與擋板3尾部貼合。所述擋板3角度可調(diào)，便于支撐不同形狀的石墨舟，防止石墨舟損壞。
[0021]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述擋塊2側(cè)面設(shè)有滑爪17，所述滑爪17與設(shè)置在舟槳本體I上的滑槽18配合，防止擋塊2卡死，便于擋塊2伸縮順滑。
[0022]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滑動(dòng)箱15上設(shè)有上下兩塊夾板7，所述滑動(dòng)箱15側(cè)面設(shè)有微調(diào)螺栓8，所述微調(diào)螺栓8頂住所述夾板7。所述夾板7便于調(diào)整舟槳本體I的前后位置，所述微調(diào)螺栓8便于調(diào)整舟槳本體I的空間位置，防止舟槳本體I與設(shè)備碰撞。
[0023]作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述舟槳本體I頭部為錐面，便于引導(dǎo)舟槳本體I進(jìn)入設(shè)備。
[0024]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，其特征在于，包括舟槳本體、與所述舟槳本體連接的推送桿，所述推送桿連接在滑動(dòng)箱上，所述滑動(dòng)箱側(cè)面設(shè)有絲杠套，所述絲杠套與設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)絲杠配合，所述傳動(dòng)絲杠與設(shè)置在機(jī)架的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)連接，所述滑動(dòng)箱與設(shè)置在機(jī)架上的滑軌配合，所述舟槳本體上設(shè)有開口向上的滑孔，所述滑孔內(nèi)設(shè)有擋塊，所述擋塊底部與所述舟槳本體之間設(shè)有復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧用于將所述擋塊頂部頂出舟槳，所述擋塊朝向舟槳本體頭部一側(cè)為斜面，所述斜面延伸至滑孔內(nèi)，所述擋塊朝向舟槳尾部一側(cè)為豎直面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，其特征是，所述舟槳本體與推送桿通過連接塊連接，所述舟槳本體與連接塊連接處鉸接有擋板，所述連接塊上設(shè)有水平的調(diào)整螺栓，所述調(diào)整螺栓端部與擋板尾部貼合。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，其特征是，所述擋塊側(cè)面設(shè)有滑爪，所述滑爪與設(shè)置在舟槳本體上的滑槽配合。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，其特征是，所述滑動(dòng)箱上設(shè)有上下兩塊夾板，所述滑動(dòng)箱側(cè)面設(shè)有微調(diào)螺栓，所述微調(diào)螺栓頂住所述夾板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，其特征是，所述舟槳本體頭部為錐面。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片氣相沉積用舟槳設(shè)備，包括舟槳本體、與舟槳本體連接的推送桿，推送桿連接在滑動(dòng)箱上，滑動(dòng)箱側(cè)面設(shè)有絲杠套，絲杠套與設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)絲杠配合，傳動(dòng)絲杠與設(shè)置在機(jī)架的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)連接，滑動(dòng)箱與設(shè)置在機(jī)架上的滑軌配合，舟槳本體上設(shè)有開口向上的滑孔，滑孔內(nèi)設(shè)有擋塊，擋塊底部與舟槳本體之間設(shè)有復(fù)位彈簧，復(fù)位彈簧用于將擋塊頂部頂出舟槳，擋塊朝向舟槳本體頭部一側(cè)為斜面，斜面延伸至滑孔內(nèi)，擋塊朝向舟槳尾部一側(cè)為豎直面。本實(shí)用新型利用伸縮的擋塊以及擋塊前面的斜面，在石墨舟放錯(cuò)位置時(shí)，擋塊在斜面受力擠壓下縮回，防止撞傷電極及石墨舟；通過傳動(dòng)絲杠驅(qū)動(dòng)舟槳本體運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)。
【IPC分類】C23C16/458
【公開號】CN204825048
【申請?zhí)枴緾N201520549334
【發(fā)明人】王世賢, 隆霹顯, 陳志運(yùn), 王文良, 張華 , 梅超, 杜教峰
【申請人】張家港國龍光伏科技有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年7月28日