一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到半導(dǎo)體硅晶片的制造領(lǐng)域，具體的說是一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體硅拋光片制造過程中，為了使硅晶片背面更好地吸雜，需要背面損傷設(shè)備通過高壓噴砂的方式，在硅晶片背面產(chǎn)生軟損傷。背面軟損傷設(shè)備是使用濕法噴砂的原理，即一定量的砂子，與18兆純水按比例混合于設(shè)備自帶儲液槽內(nèi)并攪拌均勻使用。目前，國內(nèi)外背面軟損傷工藝用砂子普遍使用日本FUJ頂I公司產(chǎn)的FQ3000或FQ2000型，其主要成分是A1203。背面軟損傷砂子價格昂貴，每臺噴砂設(shè)備每月消耗砂子近百萬左右。主要成分是Al2O3的背面軟損傷砂子與水混合后，極易沉淀。目前，國內(nèi)外多數(shù)半導(dǎo)體硅片制造廠商，背損傷設(shè)備噴砂對硅片背面軟損傷過程中，對砂子均不回收；噴在硅片表面的砂子隨著沖洗硅片的純水直接排入下水管道，這樣一方面會造成極大的浪費(fèi)，另外一方面還極易造成下水管道的堵塞。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)中濕法噴砂工序中的砂子不回收導(dǎo)致的原材料浪費(fèi)以及下水管道堵塞問題，本實(shí)用新型提供了一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，包括由橫向支撐桿和縱向支撐桿支撐加固的不銹鋼槽體，不銹鋼槽體的底部設(shè)置有萬向腳輪，上部設(shè)置有推車把手，在不銹鋼槽體長度方向的兩端分別設(shè)置有與下水管道連接的出水口和與噴砂設(shè)備排液口連接的進(jìn)水口，不銹鋼槽體的內(nèi)部設(shè)置有兩塊不銹鋼隔斷溢流板，兩塊不銹鋼隔斷溢流板將不銹鋼槽體的內(nèi)部空間依次分隔成一級沉淀槽、二級沉淀槽和三級沉淀槽，且一級沉淀槽靠近進(jìn)水口，三級沉淀槽靠近出水口。
[0005]所述兩塊不銹鋼隔斷溢流板的頂部為鋸齒狀。
[0006]所述進(jìn)水口的位置高于兩塊不銹鋼隔斷溢流板的頂部位置，出水口的位置低于兩塊不銹鋼隔斷溢流板的頂部位置。
[0007]所述一級沉淀槽為不銹鋼槽體的一半，二級沉淀槽和三級沉淀槽大小相同。
[0008]本實(shí)用新型中，不銹鋼槽體、橫向支撐桿、縱向支撐桿、萬向腳輪和推車把手等焊接在一起，組成一個不銹鋼槽體小推車。槽體總大小根據(jù)設(shè)備后部空間、背面噴砂機(jī)臺數(shù)量、回收砂子清理周期等有關(guān)，若一臺噴砂機(jī)，場地夠用，I至2個月左右清理沉淀槽一次的話，槽體總大小可設(shè)計(jì)為1.5m長、0.7m寬、0.6m高左右即可。不銹鋼槽體壁厚和隔斷溢流板壁厚均采用5_左右厚的304不銹鋼即可。為了增加隔斷溢流板溢流效果，可將隔斷溢流板上方做成鋸齒狀。橫向支撐桿和縱向支撐桿的數(shù)量、尺寸可根據(jù)槽體大小而定，結(jié)實(shí)耐用即可。進(jìn)水口上下位置要比隔斷溢流板稍高，出水口上下位置比隔斷溢流板稍低，左右位置居中即可，進(jìn)水口和出水口直徑參照背面噴砂設(shè)備排水口直徑。
[0009]有益效果:本實(shí)用新型可以放置在噴砂設(shè)備后邊合適位置，將噴砂設(shè)備排液口通過管道接在進(jìn)水口上，出水口通過管道連接在下水管道上。這樣，當(dāng)噴砂設(shè)備帶有砂子的砂液源源不斷的流入回收裝置時，先后經(jīng)過一級、二級和三級沉淀后，剩余幾乎不帶砂子的水會通過回收裝置出水口排至下水管道。通過本回收裝置，可以回收90%以上的砂子，大大降低生產(chǎn)成本，而且還避免直接排至下水管道從而造成管道堵塞、環(huán)保等問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、環(huán)保節(jié)能、使用方便、安全可靠等的優(yōu)點(diǎn)。此外，其它回收價值高、易沉淀的類似砂液設(shè)備均可采用此回收裝置進(jìn)行回收。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型的側(cè)視圖；
[0012]附圖標(biāo)記:1、萬向腳輪，2、橫向支撐桿，3、縱向支撐桿，4、出水口，5、推車把手，6、不銹鋼槽體，601、一級沉淀槽，602、二級沉淀槽，603、三級沉淀槽，7、不銹鋼隔斷溢流板，8、進(jìn)水口。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖所示，一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，包括由橫向支撐桿2和縱向支撐桿3支撐加固的不銹鋼槽體6，兩種支撐桿的數(shù)量根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置，不銹鋼槽體6的底部設(shè)置有萬向腳輪1，上部設(shè)置有推車把手5，在不銹鋼槽體6長度方向的兩端分別設(shè)置有與下水管道連接的出水口 4和與噴砂設(shè)備排液口連接的進(jìn)水口 8，不銹鋼槽體6的內(nèi)部設(shè)置有兩塊不銹鋼隔斷溢流板7，兩塊不銹鋼隔斷溢流板7將不銹鋼槽體6的內(nèi)部空間依次分隔成一級沉淀槽601、二級沉淀槽602和三級沉淀槽603，且一級沉淀槽601靠近進(jìn)水口 8，三級沉淀槽603靠近出水口 4。
[0014]以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的限定和改進(jìn):
[0015]如，所述兩塊不銹鋼隔斷溢流板7的頂部為鋸齒狀，從而增強(qiáng)隔斷溢流板溢流效果;
[0016]又如，所述進(jìn)水口 8的位置高于兩塊不銹鋼隔斷溢流板7的頂部位置，出水口 4的位置低于兩塊不銹鋼隔斷溢流板7的頂部位置，進(jìn)水口 8和出水口 4位于不銹鋼槽體6兩側(cè)的居中即可，進(jìn)水口 8和出水口 4直徑參照背面噴砂設(shè)備排水口直徑；
[0017]再如，所述一級沉淀槽601為不銹鋼槽體6的一半，二級沉淀槽602和三級沉淀槽603大小相同。
[0018]本實(shí)用新型所述的濕法噴砂工藝砂子回收裝置的操作方式是:將該回收裝置放置在噴砂設(shè)備后邊合適位置，將噴砂設(shè)備排液口通過管道接在回收裝置的進(jìn)水口 8，回收裝置的出水口 4通過管道連接在下水管道上。這樣，當(dāng)噴砂設(shè)備帶有砂子的砂液源源不斷的流入回收裝置，先后經(jīng)過一級、二級和三級沉淀后，剩余幾乎不帶砂子的水會通過回收裝置出水口 4排至下水管道。使用一段時間后，當(dāng)砂子沉淀槽體高度一半以上時，可將小車拆掉推到非生產(chǎn)區(qū)域，用鏟子將一級、二級和三級沉淀槽內(nèi)的砂子鏟到不銹鋼槽子內(nèi)，放置在烘箱內(nèi)烘干，用篩子過濾以待使用。為了避免因回收裝置拆走期間的停機(jī)，可做成2個同樣的回收裝置循環(huán)使用。通過本回收裝置，可以回收90%以上的砂子，大大降低生產(chǎn)成本，而且還避免直接排至下水管道從而造成管道堵塞、不環(huán)保等問題?？傊?，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、環(huán)保節(jié)能、使用方便、安全可靠等的優(yōu)點(diǎn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，其特征在于:包括由橫向支撐桿(2)和縱向支撐桿(3)支撐加固的不銹鋼槽體(6)，不銹鋼槽體(6)的底部設(shè)置有萬向腳輪(1)，上部設(shè)置有推車把手(5)，在不銹鋼槽體(6)長度方向的兩端分別設(shè)置有與下水管道連接的出水口(4)和與噴砂設(shè)備排液口連接的進(jìn)水口(8)，不銹鋼槽體(6)的內(nèi)部設(shè)置有兩塊不銹鋼隔斷溢流板(7)，兩塊不銹鋼隔斷溢流板(7)將不銹鋼槽體(6)的內(nèi)部空間依次分隔成一級沉淀槽(601 )、二級沉淀槽(602)和三級沉淀槽(603)，且一級沉淀槽(601)靠近進(jìn)水口(8 )，三級沉淀槽(603 )靠近出水口( 4 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，其特征在于:所述兩塊不銹鋼隔斷溢流板(7)的頂部為鋸齒狀。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，其特征在于:所述進(jìn)水口(8)的位置高于兩塊不銹鋼隔斷溢流板(7)的頂部位置，出水口(4)的位置低于兩塊不銹鋼隔斷溢流板(7)的頂部位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，其特征在于:所述一級沉淀槽(601)為不銹鋼槽體(6 )的一半，二級沉淀槽(602 )和三級沉淀槽(603 )大小相同。
【專利摘要】一種硅晶片背面濕法噴砂用砂子回收裝置，在不銹鋼槽體長度方向的兩端分別設(shè)置有與下水管道連接的出水口和與噴砂設(shè)備排液口連接的進(jìn)水口，不銹鋼槽體的內(nèi)部設(shè)置有兩塊不銹鋼隔斷溢流板，且兩塊不銹鋼隔斷溢流板將不銹鋼槽體的內(nèi)部空間依次分隔成一級沉淀槽、二級沉淀槽和三級沉淀槽。本實(shí)用新型使砂液流入回收裝置時，先后經(jīng)過一級、二級和三級沉淀后，剩余幾乎不帶砂子的水會通過回收裝置出水口排至下水管道。通過本回收裝置，可以回收90%以上的砂子，大大降低生產(chǎn)成本，而且還避免直接排至下水管道從而造成管道堵塞、環(huán)保等問題，具有結(jié)構(gòu)簡單、環(huán)保節(jié)能、使用方便、安全可靠等的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】B24C9/00
【公開號】CN204843881
【申請?zhí)枴緾N201520475568
【發(fā)明人】李戰(zhàn)國, 史建強(qiáng), 鄧德翼, 李建剛
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月6日