一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于薄膜太陽(yáng)能光伏電池技術(shù)領(lǐng)域，應(yīng)用于PECVD工件架保養(yǎng)維護(hù)，特別涉及一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，為使每個(gè)電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝保持穩(wěn)定性，需要等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。因此，要求定期不定期進(jìn)行工件架保養(yǎng)維護(hù)。工件架保養(yǎng)維護(hù)過(guò)程中，經(jīng)常發(fā)現(xiàn)電極桿與電極塊和電極塊與正極板的連接易出現(xiàn)松動(dòng)氧化情況，造成導(dǎo)通電阻增大，載流能力下降，進(jìn)而在工藝中易出現(xiàn)反射、鍍膜不良、功率過(guò)低狀況。由于作業(yè)空間狹小，現(xiàn)有電極塊上三顆沉頭螺絲和現(xiàn)有電極塊絕緣盒上四顆內(nèi)六角螺絲難以拆卸和安裝且電極塊絕緣盒密封性能不佳。
[0003]另外，在工件架出爐、下料、移動(dòng)過(guò)程中，鍍膜形成的膜層會(huì)脫落形成硅粉等，因此工件架清洗時(shí)，高壓水槍噴出的高壓水柱夾雜硅粉等有可能進(jìn)入電極塊絕緣盒內(nèi)和絕緣盒縫隙之間，這樣就為PECVD鍍膜埋下了隱患:鍍膜時(shí)，由于靠近電極塊前四氟塊處的屏蔽管完全裸露出來(lái)，沒(méi)有采取有效預(yù)防措施，在疊加電場(chǎng)下出現(xiàn)反射，造成屏蔽管異常鍍膜，嚴(yán)重影響工藝?yán)^續(xù)進(jìn)行，導(dǎo)致產(chǎn)品功率過(guò)低，甚至報(bào)廢。所以下一次工件架使用之前花費(fèi)較多時(shí)間和人力去進(jìn)行屏蔽管異常鍍膜的處理，由于固定側(cè)板的螺絲桿的阻礙且空間狹小，造成屏蔽管的兩個(gè)支撐鋁塊上緊固屏蔽管螺栓拆裝利用現(xiàn)有的工具進(jìn)行操作十分不便，而且會(huì)嚴(yán)重縮短屏蔽管和電極側(cè)板的使用次數(shù)，增加工件架的清洗頻次，從而造成人力、物力等成本增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置。
[0005]本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]—種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置，包括電極桿、套設(shè)于電極桿上的屏蔽管、通過(guò)內(nèi)六角螺栓I連接固定屏蔽管的支撐鋁塊、正極板和電極塊，還包括:
[0007]屏蔽管絕緣套，其套設(shè)于工件架屏蔽管上、且緊貼后端支撐鋁塊；
[0008]四氟塊，其安裝于屏蔽管和屏蔽管絕緣套尾端；
[0009]密封插口式電極塊絕緣盒體，其上開口通過(guò)過(guò)盈配合安裝于正極板上，且其一側(cè)帶有四氟塊密封插槽，帶有四氟塊密封插槽一側(cè)安裝于四氟塊上；
[0010]以及，密封插口式電極塊絕緣盒蓋，其通過(guò)插口、插槽安裝于密封插口式電極塊絕緣盒體上；
[0011]所述正極板上設(shè)有正極板凹槽，所述電極塊為通孔式電極塊，該通孔式電極塊通過(guò)過(guò)盈配合安裝、并通過(guò)內(nèi)六角螺柱固定于正極板凹槽內(nèi)；
[0012]所述電極桿尾端通過(guò)內(nèi)六角螺栓II固定于通孔式電極塊底部。
[0013]作為優(yōu)化，所述通孔式電極塊上設(shè)有3個(gè)圓柱形通孔。
[0014]作為優(yōu)化，所述內(nèi)六角螺柱和內(nèi)六角螺栓II均為3個(gè)。
[0015]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0016]本實(shí)用新型，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)科學(xué)、使用方便，主要有以下優(yōu)點(diǎn):
[0017]1、通過(guò)通孔式電極塊的設(shè)置，為在工件架保養(yǎng)維護(hù)電極塊更換作業(yè)過(guò)程中起到方便快捷拆卸的作用，且通孔式電極塊通過(guò)過(guò)盈配合安裝、并通過(guò)內(nèi)六角螺柱固定于正極板凹槽內(nèi)，可以起到增大電極塊與工件架正極板的有效接觸面積的作用，避免原有結(jié)構(gòu)易出現(xiàn)螺絲松動(dòng)而產(chǎn)生接觸不良，從而保證電極塊的物理特性，杜絕接觸不良造成產(chǎn)品功率過(guò)低，且可以方便快捷更換電極塊，避免原有結(jié)構(gòu)由于作業(yè)空間狹小，更換較為困難；
[0018]2、通過(guò)設(shè)置密封插口式電極塊絕緣盒體和密封插口式電極塊絕緣盒蓋，一、通過(guò)將帶四氟塊密封插槽一體的密封插口式電極塊絕緣盒體上開口過(guò)盈配合安裝在正極板上可以避免因清洗工件架時(shí)，絕緣盒進(jìn)水造成電極塊及電極塊與電極桿有效接觸面的氧化；
二、可以使密封插口式電極塊絕緣盒體和密封插口式電極塊絕緣盒蓋，兩者通過(guò)插槽交錯(cuò)疊加和倒角咬合實(shí)現(xiàn)密封，防止因電極塊絕緣盒密封不良而漏射頻與屏蔽管和正極板與屏蔽管形成的疊加電場(chǎng)，造成屏蔽管異常鍍膜，進(jìn)而造成產(chǎn)品報(bào)廢同時(shí)方便觀察電極桿與電極塊連接及氧化情況和快捷更換電極桿電極塊；
[0019]3、通過(guò)設(shè)置屏蔽管絕緣套，其為防止鍍膜時(shí)，由于靠近電極塊前四氟塊處的屏蔽管完全裸露出來(lái)，沒(méi)有采取有效預(yù)防措施，在疊加電場(chǎng)作用下易出現(xiàn)反射，造成異常鍍膜，嚴(yán)重影響工藝?yán)^續(xù)進(jìn)行，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢；
[0020]4、本實(shí)用新型能夠在不影響目前工藝要求的情況下，有效快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常，保護(hù)電極接觸的穩(wěn)定性和屏蔽管物理特性，提高電極桿、電極塊和屏蔽管壽命，延長(zhǎng)使用周期，大大提高設(shè)備稼動(dòng)率，降低產(chǎn)品報(bào)廢率，減少人體的勞動(dòng)強(qiáng)度；可以大幅度的降低成本，對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)具有極大的推廣價(jià)值。
【附圖說(shuō)明】
[0021]下面結(jié)合附圖對(duì)一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0022]圖1是一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2是圖1中通孔式電極塊的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3是圖1中通孔式電極塊的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4是圖1中通孔式電極塊的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒體的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒體的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖7是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒體的仰視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖8是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒蓋的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖9是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒蓋的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖10是圖1中密封插口式電極塊絕緣盒蓋的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖11是圖1中屏蔽管絕緣套的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖12是圖1中屏蔽管絕緣套的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖13是圖1中四氟塊的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖14是圖1中四氟塊的左視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0036]圖中:1為電極桿、2為屏蔽管、3為支撐鋁塊、4為內(nèi)六角螺栓1、5為屏蔽管絕緣套、6為四氟塊、7為正極板、8為內(nèi)六角螺柱、9為正極板凹槽、10為電極塊、11為內(nèi)六角螺栓I1、12為密封插口式電極塊絕緣盒體、13為密封插口式電極塊絕緣盒蓋、14為通孔、15為四氟塊密封插槽。
【具體實(shí)施方式】
[0037]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0038]如圖1-圖14所示，一種快捷更換電極桿電極塊防止屏蔽管鍍膜異常的裝置，包括電極桿1、套設(shè)于電極桿I上的屏蔽管2、通過(guò)內(nèi)六角螺栓I 4連接固定屏蔽管2的支撐鋁塊3、正極板7和電極塊10，還包括:
[0039]屏蔽管絕緣套5，其