更長于第一固定片2301的水平延伸部和垂直延伸部的連接長度S1，使得展開水平延伸部和垂直延伸部之間的角度所需的彎曲剛性雖然更高，但能夠以以更長的方式形成的第二固定片2302的水平延伸部的彎曲位移來抵消連接長度S1的剛性增加量，因此，可以減少形成一個(gè)壓力腔室C2的邊界的內(nèi)側(cè)固定片2301和外側(cè)固定片2302與隔膜底板110的連接部Cm向底板110施加的力量的偏差eel。
[0074]像這樣，通過調(diào)節(jié)固定片的水平延伸部的長度，來緩解由隔膜底板110和固定片130、230的連接部Cm中產(chǎn)生作用的應(yīng)力的不均衡ee、eel，從而在隔膜底板110和固定片130,230相遇的壓力腔室C1、C2、C3、……的邊界區(qū)域Cm中，也能施加通過壓力腔室C1、C2、C3、……的壓力來導(dǎo)入的準(zhǔn)確的加壓力P，因此，可以獲得在整個(gè)板面中，借助準(zhǔn)確施加加壓力來準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)晶片的拋光厚度，來提高晶片的拋光品質(zhì)的效果。
[0075]另一方面，根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施形態(tài)，雖然未圖示，但針對固定片130的一部分以上，垂直延伸部131可對垂直于底板110的板面的面以傾斜的方式向上延伸，水平延伸部132可對平行于底板110的板面的面以傾斜方式向側(cè)方面延伸而成。
[0076]而且，如圖2所示的現(xiàn)有的隔膜10的固定片13x4，固定片130的垂直延伸部131和水平延伸部132可分別形成兩個(gè)以上13a(13al、13a2)，13b(13bl、13b2)。并且，固定片130、130’(包括)的水平延伸部132均向相同的徑向向內(nèi)的方向延伸而成。在附圖中，雖然以固定片130的水平延伸部132所延伸的第一方向D1向徑向向內(nèi)的方向延伸而成的結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行了說明，但第一方向D1可以為徑向向外的方向，也可以為相對于與隔膜底板110相平行的平面，傾斜45度以內(nèi)的方向。并且，如圖10所示，還可以在垂直延伸部131和水平延伸部132之間包括中間延伸部133，上述中間延伸部133可以在垂直延伸部131和水平延伸部132之間，相對于底板110向傾斜45度以上的方向延伸。此時(shí)，優(yōu)選地，中間延伸部133的傾斜角與長度及位置，對所有固定片130以相同的方式形成。并且，如圖11所示，可在水平延伸部132’形成直線形態(tài)的彎折部132x或曲線形態(tài)的彎折部。雖然未圖示，但也可在垂直延伸部131形成彎折部。
[0077]并且，本實(shí)用新型的固定片130的水平延伸部132均向相同的第一方向D1延伸而成。其中，第一方向D1當(dāng)然包括如徑向向內(nèi)的方向或徑向向外的方向的存在于一個(gè)平面上的方向，但如圖11所示，形成直線形態(tài)的彎折部132x或曲線形態(tài)的彎折部，從而包括彎折方向D1’的方向成分。
[0078]其中，可在水平延伸部132’形成有彎折部132x。在這種情況下，優(yōu)選地，從垂直延伸部131開始形成有彎折部132’的區(qū)間的長度xl和其形態(tài)均對固定片130以相同的方式指定，由此，當(dāng)向壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5施加壓力P時(shí)，引導(dǎo)固定片130均變形為相同的模式。
[0079]另一方面，雖然未圖示，但可在垂直延伸部131形成有彎折部。在此情況下，優(yōu)選地，同樣從隔膜底板110的板面開始形成有彎折部的長度和形態(tài)均對固定片130以相同的方式指定。
[0080]像這樣，隨著隔膜100的所有固定片130的水平延伸部132均向相同的第一方向Dl、D1’排列，若為了實(shí)施化學(xué)機(jī)械拋光工序而向分割為多個(gè)的壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5供給空氣壓力，使得隔膜底板110因向下方的壓力P而發(fā)生膨脹，并從以虛線表示的位置110p (圖9)至晶片拋光面與拋光墊相接觸的位置向下移動(dòng)約2?3mm左右的距離d，則與隔膜底板110相接觸的固定片130的垂直延伸部131中的力量的方向13d均以相同的方式向壓力腔室施加，從而均恒定引導(dǎo)各壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5的底面的變形模式(變形方向及形態(tài))，因此，可以獲得隨著壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5來將底面的垂直及膨脹的差異最小化的優(yōu)點(diǎn)。
[0081]像這樣，在本實(shí)用新型中，各壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5的底面均受相同的方向的受力，從而將底面的變形量的差異最小化，因此，可以獲得防止向晶片導(dǎo)入的加壓力不因各壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5的底面的變形狀態(tài)而歪曲，且能夠通過與向壓力腔室Cl、C2、C3、C4、C5導(dǎo)入的壓力P成正比的加壓力來向晶片W的板面準(zhǔn)確地導(dǎo)入的效果。因此，在本實(shí)用新型中，可以更加容易且準(zhǔn)確地控制向晶片W施加的加壓力，從而可以獲得體現(xiàn)能夠更加準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)晶片W的拋光厚度的化學(xué)機(jī)械拋光工序的有益效果。以上，雖然通過優(yōu)選的實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了例示性的說明，但本實(shí)用新型并不局限于這種特定的實(shí)施例，可以在本實(shí)用新型所提出的技術(shù)思想，具體地，在記載于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍的范疇內(nèi)實(shí)施多種形態(tài)的修改、變更或改善。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于，包括: 底板，對晶片的板面進(jìn)行施壓； 側(cè)面，從上述底板的邊緣向上側(cè)折彎而成；以及 固定片，包括多個(gè)垂直延伸部和水平延伸部，上述多個(gè)垂直延伸部在上述側(cè)面和上述底板的中心之間以環(huán)形向上延伸而成，上述水平延伸部從上述多個(gè)垂直延伸部的上端部水平延伸，上述水平延伸部與上述承載頭的本體部相結(jié)合，在上述底板和上述本體部之間形成多個(gè)壓力腔室，上述水平延伸部從上述底板的中心越遠(yuǎn)則形成得越長。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述水平延伸部的長度尺寸以與上述垂直延伸部相隔底板中心的距離成正比的方式設(shè)定。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述水平延伸部均朝向相同的第一方向延伸而成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述第一方向?yàn)閺较蛳騼?nèi)和徑向向外中的任意一個(gè)方向。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述固定片的上述水平延伸部隨著遠(yuǎn)離上述底板的中心，交替地朝向徑向向內(nèi)和徑向向外中的任意一個(gè)方向。6.一種化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于，包括: 底板，對晶片的板面進(jìn)行施壓； 側(cè)面，從上述底板的邊緣向上側(cè)折彎而成；以及 固定片，包括多個(gè)垂直延伸部和水平延伸部，上述多個(gè)垂直延伸部在上述側(cè)面和上述底板的中心之間以環(huán)形向上延伸而成，上述水平延伸部從上述多個(gè)垂直延伸部的上端部水平延伸，在上述垂直延伸部中，從相鄰的第一垂直延伸部和第二垂直延伸部的上端部水平延伸的第一水平延伸部和第二水平延伸部相向地延伸，并借助結(jié)合部件與上述承載頭的本體部相結(jié)合，相對遠(yuǎn)離上述底板中心的上述第一水平延伸部的長度短于相對接近上述底板中心的上述第二水平延伸部的長度； 在上述底板和上述本體部之間形成有由上述固定片分割成多個(gè)的壓力腔室。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述固定片在上述垂直延伸部和上述水平延伸部之間形成有中間延伸部。8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 在上述水平延伸部形成有彎折部。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭的隔膜，其特征在于， 上述多個(gè)固定片的從上述垂直延伸部到形成上述彎折部的區(qū)間的剖面形狀均相同。10.一種化學(xué)機(jī)械拋光裝置的承載頭，其特征在于，包括: 本體部，從外部接收旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；以及 權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的隔膜，定位于上述本體部，并與上述本體部一同旋轉(zhuǎn)，在上述本體部和上述隔膜之間形成有壓力腔室，在化學(xué)機(jī)械拋光工序中，通過上述壓力腔室的壓力控制，對位于底面的晶片向下方進(jìn)行施壓。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械拋光裝置用承載頭的隔膜，包括：底板，對晶片的板面進(jìn)行施壓；側(cè)面，從底板的邊緣向上側(cè)折彎而成；以及固定片，包括多個(gè)垂直延伸部和水平延伸部，上述多個(gè)垂直延伸部在上述側(cè)面和上述底板的中心之間以環(huán)形向上延伸而成，上述水平延伸部從多個(gè)垂直延伸部的上端部水平延伸，上述水平延伸部與承載頭的本體部相結(jié)合，并在上述底板和上述本體部之間形成多個(gè)壓力腔室，水平延伸部從底板的中心越遠(yuǎn)則形成得越長，其以變得更長的水平延伸部的變低的上下方向的彎曲位移來收容由于水平延伸部和垂直延伸部之間的連接部的圓周方向的周長變長而變高的彎曲剛性，從而可分別減少每個(gè)固定片與隔膜底板相連接的部分的應(yīng)力變動(dòng)幅度。
【IPC分類】B24B37/34
【公開號】CN204954603
【申請?zhí)枴緾N201520543473
【發(fā)明人】趙玟技, 孫準(zhǔn)皓
【申請人】K.C.科技股份有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年7月24日