一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型一種旋轉(zhuǎn)靶材生產(chǎn)過程中的在線高壓自動吹積瘤裝置，特別涉及一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在真空等離子噴涂旋轉(zhuǎn)靶材過程中，少量過熔粉末會凝結(jié)在噴咀上形成積瘤，不及時處理，積瘤會濺射到靶材上，使靶材出現(xiàn)大面積積瘤導(dǎo)致報廢。目前，公知的處理積瘤的方式為:在發(fā)現(xiàn)噴咀處出現(xiàn)積瘤后，暫停等離子噴涂設(shè)備運行，采用人工手動方式去除噴咀上的積瘤。由于制造旋轉(zhuǎn)靶材特別是大尺寸、高純度的靶材周期較長，經(jīng)常停機除積瘤不僅會大幅度提高了生產(chǎn)靶材的時間成本和人力成本，而且頻繁暫停等離子噴涂作業(yè)會導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)靶材粉末的結(jié)合強度和致密性大幅度降低。
[0003]為解決上述技術(shù)問題，本申請人在先申請的實用新型專利申請?zhí)?201420243774.2中闡述的技術(shù)方案，其可以在不暫停等離子噴涂作業(yè)情況下，自動吹除在等離子噴涂過程噴咀上產(chǎn)生的積瘤，大幅度降低了噴涂大尺寸、高純度旋轉(zhuǎn)靶材的時間和人力成本，間接提高了旋轉(zhuǎn)靶材的結(jié)合強度和致密性。但該技術(shù)方案中所公開的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置其結(jié)構(gòu)固定，進而無法針對需求進行調(diào)節(jié)。
[0004]因此在現(xiàn)有靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置上，如何進一步完善、升級靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置的對不同需求的適應(yīng)性，消除固定結(jié)構(gòu)帶來的種種不便是目前靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置中研發(fā)人員的重要課題之一。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，消除固定結(jié)構(gòu)帶來適應(yīng)性差、維修不便等技術(shù)問題。
[0006]為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:
[0007]—種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及脈沖電磁閥，及位于噴涂罐內(nèi)的吹氣架，所述吹氣架與等離子噴嘴連接，所述吹氣架包括至少三根吹氣嘴，所述各吹氣嘴可調(diào)節(jié)的設(shè)置在離子噴嘴上，各吹氣嘴呈L形狀，該吹氣嘴一端為吹氣端，且該吹氣端位于等離子噴嘴前方并其令吹氣方向與離子噴嘴的噴涂方向垂直。
[0008]進一步，所述各吹氣嘴通過調(diào)節(jié)架鎖固在離子噴嘴的側(cè)壁上，而所述調(diào)節(jié)架上開設(shè)有與螺釘配合實現(xiàn)與離子噴嘴配合鎖固的鎖孔，該調(diào)節(jié)架上穿設(shè)有與吹氣嘴相適配的定位孔，所述定位孔側(cè)壁延伸形成相對設(shè)置的兩調(diào)節(jié)耳，兩調(diào)節(jié)耳上均穿設(shè)有調(diào)節(jié)孔，所述兩調(diào)節(jié)孔內(nèi)設(shè)置同一螺栓且該螺栓與螺母配合形成能對吹氣嘴夾持力調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)，用于實現(xiàn)調(diào)節(jié)該吹氣嘴吹氣端相對于離子噴嘴的高度及角度。
[0009]進一步，所述相鄰兩吹氣嘴設(shè)置在同一個調(diào)節(jié)架的兩端處。
[0010]本實用新型在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上形成可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)，令其適應(yīng)度高、便于工作人員操作等優(yōu)點。具體的說，所述空氣壓縮機通過送氣管和減壓閥與儲氣罐進氣口連接，保證儲氣罐內(nèi)充滿氣體并處于恒定高壓狀態(tài)，而儲氣罐出氣口與脈沖電池閥進氣口連接，脈沖電磁閥出氣口與吹氣架相連。在等離子噴涂作業(yè)過程中，噴槍將會根據(jù)旋轉(zhuǎn)靶材的長度通過行走機構(gòu)的傳動進行往返水平運動，當(dāng)?shù)入x子噴槍行走至正好超出旋轉(zhuǎn)靶材兩端的位置時，由等離子噴涂系統(tǒng)控制柜向脈沖電磁閥發(fā)出控制信號，實現(xiàn)對著等離子噴槍的噴嘴上面進行吹氣，到噴涂靶材兩端，脈沖開啟，氣流會對噴嘴上的積瘤進行清潔，可防止積瘤，進而有效防止因積瘤產(chǎn)生的靶材報廢，進而在吹氣架在使用及安裝是需通過調(diào)節(jié)螺栓、螺母配合的緊度來調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)在對各吹氣嘴的夾持力度，在吹氣嘴的調(diào)節(jié)時令兩調(diào)節(jié)耳分離，進而工作人員可手動調(diào)節(jié)各吹氣嘴吹氣端相對于離子噴嘴的高度及角度，待調(diào)整完畢后在將螺母與螺栓鎖緊，令兩調(diào)節(jié)耳緊貼合，增加對吹氣嘴的夾持力度。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型實施例中結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實用新型實施例中所述吹氣架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是圖2立體圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0015]實施例:一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該該自吹積瘤裝置包括位于位于噴涂罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及脈沖電磁閥，及位于噴涂罐內(nèi)的吹氣架，所述吹氣架與等離子噴嘴連接，申請?zhí)?201420243774.2在先申請的公開文獻中已經(jīng)公開，再此不在贅述。
[0016]請參閱圖1及圖2所示，前述吹氣架1包括至少三根吹氣嘴11，所述各吹氣嘴11可調(diào)節(jié)的設(shè)置在離子噴嘴A上，各吹氣嘴11呈L形狀，該吹氣嘴11 一端位于等離子噴嘴A前方并其令吹氣方向與離子噴嘴A的噴涂方向垂直；具體的說，所述吹氣架1可包括多個吹氣嘴11，而吹氣嘴11優(yōu)選數(shù)量為3-5個，但是因本新型安裝的靶材等離子噴涂的等離子噴嘴A為圓形結(jié)構(gòu)，且該等離子噴嘴A的噴涂端面上間隔設(shè)置有三個送粉口 A1，本實施例中所述吹氣嘴11的數(shù)量為三個，且分布在等離子噴嘴A周側(cè)呈三角形分布，各吹氣嘴11位于等離子噴嘴A端面的相鄰兩送粉口 A1之間的間隔處，形成各吹氣嘴吹氣方向與離子噴嘴的噴涂方向垂直。
[0017]結(jié)合圖2及圖3所示，前述各吹氣嘴11通過調(diào)節(jié)架2鎖固在離子噴嘴A的側(cè)壁上，而所述調(diào)節(jié)架2上開設(shè)有與螺釘配合實現(xiàn)與離子噴嘴配合鎖固的鎖孔21，該調(diào)節(jié)架2上穿設(shè)有與吹氣嘴11相適配的定位孔，所述定位孔側(cè)壁延伸形成相對設(shè)置的兩調(diào)節(jié)耳22，兩調(diào)節(jié)耳22上均穿設(shè)有調(diào)節(jié)孔，所述兩調(diào)節(jié)孔內(nèi)設(shè)置同一螺栓3且該螺栓3與螺母4配合形成能對吹氣嘴夾持力調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)，用于實現(xiàn)調(diào)節(jié)該吹氣嘴吹氣端相對于離子噴嘴A的高度及角度。具體的說，所述吹氣架1中各吹氣嘴11在使用及安裝是需通過調(diào)節(jié)螺栓3、螺母4配合的緊度來調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)在對各吹氣嘴11的夾持力度，在吹氣嘴11的調(diào)節(jié)時令兩調(diào)節(jié)耳22分離，進而工作人員可手動調(diào)節(jié)各吹氣嘴11吹氣端相對于離子噴嘴A的高度及角度，待調(diào)整完畢后在將螺母4與螺栓3鎖緊，令兩調(diào)節(jié)耳22緊貼合，增加對吹氣嘴11的夾持力度，實現(xiàn)對各吹氣嘴11的定位。
[0018]以上所記載，僅為利用本創(chuàng)作技術(shù)內(nèi)容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創(chuàng)作所做的修飾、變化，皆屬本創(chuàng)作主張的專利范圍，而不限于實施例所揭示者。
【主權(quán)項】
1.一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及脈沖電磁閥，及位于噴涂罐內(nèi)的吹氣架，所述吹氣架與等離子噴嘴連接，其特征在于:所述吹氣架包括至少三根吹氣嘴，其中相鄰兩個吹氣嘴設(shè)置在同一個調(diào)節(jié)架的兩端處，所述各吹氣嘴可調(diào)節(jié)的設(shè)置在離子噴嘴上，各吹氣嘴呈L形狀，該吹氣嘴一端為吹氣端，且該吹氣端位于等離子噴嘴前方并其令吹氣方向與離子噴嘴的噴涂方向垂直。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于:所述各吹氣嘴通過調(diào)節(jié)架鎖固在離子噴嘴的側(cè)壁上，而所述調(diào)節(jié)架上開設(shè)有與螺釘配合實現(xiàn)與離子噴嘴配合鎖固的鎖孔，該調(diào)節(jié)架上穿設(shè)有與吹氣嘴相適配的定位孔，所述定位孔側(cè)壁延伸形成相對設(shè)置的兩調(diào)節(jié)耳，兩調(diào)節(jié)耳上均穿設(shè)有調(diào)節(jié)孔，所述兩調(diào)節(jié)孔內(nèi)設(shè)置同一螺栓且該螺栓與螺母配合形成能對吹氣嘴夾持力調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)，用于實現(xiàn)調(diào)節(jié)該吹氣嘴吹氣端相對于離子噴嘴的高度及角度。
【專利摘要】本實用新型公開一種可調(diào)節(jié)式的靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及脈沖電磁閥，及位于噴涂罐內(nèi)的吹氣架，所述吹氣架與等離子噴嘴連接，所述吹氣架包括至少三根吹氣嘴，所述各吹氣嘴可調(diào)節(jié)的設(shè)置在離子噴嘴上，各吹氣嘴呈L形狀，該吹氣嘴一端為吹氣端，且該吹氣端位于等離子噴嘴前方并其令吹氣方向與離子噴嘴的噴涂方向垂直。本實用新型在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上形成可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)，令其適應(yīng)度高、便于工作人員操作等優(yōu)點。
【IPC分類】C23C4/134
【公開號】CN204959021
【申請?zhí)枴緾N201520489730
【發(fā)明人】石煜, 羅永春, 曾墩風(fēng)
【申請人】廈門映日新材料科技有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年7月9日