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一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置的制造方法

文檔序號(hào):10049571閱讀:459來源:國知局
一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及利用抽氣方法實(shí)現(xiàn)納米顆粒蒸發(fā)沉積的裝置,從而獲得更均勻的納米顆粒涂層。
【背景技術(shù)】
[0002]利用液滴蒸發(fā)沉淀的方法將溶液中的納米顆粒沉積在固體基底上,這在印刷、液晶、涂層、生物自組裝及微陣列等領(lǐng)域都有廣泛用途。但當(dāng)溶液自然蒸發(fā)后,沉積下來的粒子厚度并不是均勻的,液滴邊緣位置沉積下來的顆粒濃度比中間區(qū)域的濃度要高得多,這就是著名的“咖啡環(huán)”效應(yīng)。其原因是蒸發(fā)過程中液滴內(nèi)部的流體向邊緣流動(dòng)將大部分的顆粒帶到液滴邊緣并被釘扎住,從而形成顆粒濃度比內(nèi)部高很多的環(huán)形構(gòu)型。在很多應(yīng)用場合人們希望溶質(zhì)顆粒能夠均勻的沉積,避免出現(xiàn)咖啡環(huán)。已有的方法包括添加試劑或施加電場作用,但這些方法只對某些特定的納米顆粒有作用,而且會(huì)改變原有顆粒的性質(zhì)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了消除溶液蒸發(fā)沉淀中的“咖啡環(huán)”現(xiàn)象,實(shí)現(xiàn)顆粒的均勻沉積,本實(shí)用新型提供一種利用抽氣方法的納米顆粒蒸發(fā)沉淀裝置。
[0004]本實(shí)用新型技術(shù)方案如下:
[0005]一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置,其特征在于:所述裝置包括穩(wěn)定基座、控溫平臺(tái)、緩沖平臺(tái)和抽氣系統(tǒng);控溫平臺(tái)設(shè)置在穩(wěn)定基座上;所述的抽氣系統(tǒng)包括抽氣管、抽氣緩沖腔、連接短管、導(dǎo)氣管、真空栗和調(diào)速器;抽氣緩沖腔設(shè)置在抽氣管上,抽氣緩沖腔通過連接短管和導(dǎo)氣管與真空栗連接,真空栗和調(diào)速器固定在緩沖平臺(tái)上;抽氣管的底端位于控溫平臺(tái)上方5?10mm處。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還在于:所述裝置還包括抽氣管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述的抽氣管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括豎直導(dǎo)軌、第一活動(dòng)卡具、連接桿和第二活動(dòng)卡具;所述的豎直導(dǎo)軌固定在穩(wěn)定基座上,第一活動(dòng)卡具設(shè)置在豎直導(dǎo)軌上,第一活動(dòng)卡具和第二活動(dòng)卡具通過連接桿固定連接,抽氣管固定在第二活動(dòng)卡具上。
[0007]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果:本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,無需加入添加劑或施加電場,只是利用簡單的物理抽氣方法,通過改變液滴內(nèi)部流動(dòng)方向,從而可以有效避免液滴蒸發(fā)時(shí)出現(xiàn)的“咖啡環(huán)”現(xiàn)象,使納米顆粒在基底上沉積的更加均勻。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型提供的一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖中:1 一穩(wěn)定基座;2 —控溫平臺(tái);3 —基底;4 一抽氣緩沖腔;5 —第一活動(dòng)卡具;6 —緩沖平臺(tái);7 —調(diào)速器;8 —真空栗;9 一導(dǎo)氣管;10 —連接短管;11 一連接桿;12 —抽氣管;13 —第二活動(dòng)卡具;14 一豎直導(dǎo)軌。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體的結(jié)構(gòu)、原理和工作過程作詳細(xì)說明。
[0011]本實(shí)用新型提供的裝置包括所述裝置包括穩(wěn)定基座1、控溫平臺(tái)2、導(dǎo)管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、緩沖平臺(tái)6和抽氣系統(tǒng);導(dǎo)管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和控溫平臺(tái)2設(shè)置在穩(wěn)定基座1上;所述的抽氣系統(tǒng)包括抽氣管12、抽氣緩沖腔4、連接短管10、導(dǎo)氣管9、真空栗8和調(diào)速器7 ;抽氣緩沖腔4設(shè)置在抽氣管12上,抽氣緩沖腔4通過連接短管10和導(dǎo)氣管9與真空栗8連接,真空栗8和調(diào)速器7固定在緩沖平臺(tái)6上。
[0012]圖1為本實(shí)用新型提供的一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖,該裝置還包括抽氣管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),該機(jī)構(gòu)包括豎直導(dǎo)軌14、第一活動(dòng)卡具5、連接桿11和第二活動(dòng)卡具13 ;所述的豎直導(dǎo)軌固定在穩(wěn)定基座1上,第一活動(dòng)卡具5設(shè)置在豎直導(dǎo)軌上,第一活動(dòng)卡具和第二活動(dòng)卡具通過連接桿11固定連接,抽氣管固定在第二活動(dòng)卡具上。第一活動(dòng)卡具5和第二活動(dòng)卡具13可以沿豎直導(dǎo)軌14上下移動(dòng),從而帶動(dòng)抽氣管上下移動(dòng)。
[0013]本實(shí)用新型的工作過程如下:先將基底放置在控溫平臺(tái)上,然后將納米溶液滴到基底3上;
[0014]將抽氣管12調(diào)節(jié)到液滴上方5?10mm處;設(shè)置控溫平臺(tái)2的加熱溫度為40?60°C,調(diào)速器7的轉(zhuǎn)速范圍為500?1000r/min,開啟控溫平臺(tái)2及真空栗8,在加熱和氣流的共同作用下液滴開始蒸發(fā),并最終形成均勻的納米涂層。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置,其特征在于:所述裝置包括穩(wěn)定基座(1)、控溫平臺(tái)(2)、緩沖平臺(tái)(6)和抽氣系統(tǒng);控溫平臺(tái)(2)設(shè)置在穩(wěn)定基座(1)上;所述的抽氣系統(tǒng)包括抽氣管(12)、抽氣緩沖腔(4)、連接短管(10)、導(dǎo)氣管(9)、真空栗(8)和調(diào)速器(7);抽氣緩沖腔(4)設(shè)置在抽氣管(12)上,抽氣緩沖腔(4)通過連接短管(10)和導(dǎo)氣管(9)與真空栗8連接,真空栗(8)和調(diào)速器(7)固定在緩沖平臺(tái)(6)上;抽氣管的底端位于控溫平臺(tái)上方5?10mm處。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置,其特征在于:所述裝置還包括抽氣管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述的抽氣管調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括豎直導(dǎo)軌(14)、第一活動(dòng)卡具(5)、連接桿(11)和第二活動(dòng)卡具(13);所述的豎直導(dǎo)軌固定在穩(wěn)定基座(1)上,第一活動(dòng)卡具(5)設(shè)置在豎直導(dǎo)軌(14)上,第一活動(dòng)卡具和第二活動(dòng)卡具通過連接桿(11)固定連接,抽氣管固定在第二活動(dòng)卡具上。
【專利摘要】一種基于抽氣方法的納米涂層沉積裝置,用于獲得均勻的納米涂層。所述裝置包括穩(wěn)定基座、控溫平臺(tái)、緩沖平臺(tái)上和抽氣系統(tǒng),控溫平臺(tái)設(shè)置在穩(wěn)定基座上,基底放置在控溫平臺(tái)。抽氣系統(tǒng)包括抽氣管、抽氣緩沖腔、導(dǎo)氣管、真空泵以及調(diào)速器。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,無需加入添加劑或施加電場,只是利用簡單的物理抽氣方法,通過改變液滴內(nèi)部流動(dòng)方向,從而可以有效避免液滴蒸發(fā)時(shí)出現(xiàn)的“咖啡環(huán)”現(xiàn)象,使納米顆粒在基底上沉積的更加均勻。
【IPC分類】C23C24/08
【公開號(hào)】CN204959041
【申請?zhí)枴緾N201520664992
【發(fā)明人】楊權(quán)三, 郝鵬飛, 何楓
【申請人】清華大學(xué)
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年8月28日
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