一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于薄膜太陽(yáng)能光伏電池技術(shù)領(lǐng)域，應(yīng)用于PECVD沉積爐內(nèi)進(jìn)電組件定位壓緊，特別涉及一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，為使每個(gè)電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝保持穩(wěn)定性，需要等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。因此要求每次在工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位后，需要操作人員戴著高溫手套對(duì)18根進(jìn)電組件一一插進(jìn)鎖座、壓緊鎖座手柄；在工件架拉出沉積爐前又需要對(duì)18根進(jìn)電組件進(jìn)行手動(dòng)拔出。
[0003]然而，由于生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)出爐時(shí)的高溫和時(shí)間的嚴(yán)格控制，操作人員的操作不規(guī)范，進(jìn)電組件接頭易松動(dòng)和被拔掉、卡槽缺少緩沖部分而造成受力不均勻等原因，使進(jìn)電組件的使用周期大大縮短，嚴(yán)重影響了進(jìn)電組件的壽命。其次，由于現(xiàn)有鍍金圓柱電極頭在插拔進(jìn)電組件的時(shí)候，容易把圓柱表面的一層鍍金給刮傷，從而易氧化和反射。在每次出現(xiàn)反射，查看工件架電極頭氧化磨損及松動(dòng)情況和銅壓板氧化情況都需要使用2mm內(nèi)六角擰松鎖座上的兩個(gè)緊固螺絲，拆下鎖座，這時(shí)就容易出現(xiàn)以下兩個(gè)問(wèn)題:1、內(nèi)六角滑絲；2、鎖座卡死。每次出現(xiàn)上述情況不僅費(fèi)時(shí)而且費(fèi)力，都需要使用注射器滴入潤(rùn)滑油，一個(gè)人使用鯉魚鉗來(lái)回晃動(dòng)，一個(gè)人使用鯉魚鉗使勁往外拽，才能拆下鎖座，給操作人員帶來(lái)諸多不便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置。
[0005]本實(shí)用新型還提供了一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置的安裝方法。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]本一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置，包括:
[0008]進(jìn)電組件保護(hù)機(jī)構(gòu)，其包括套設(shè)并固定于進(jìn)電組件上的可在進(jìn)電組件作業(yè)過(guò)程中對(duì)進(jìn)電組件起到杜絕應(yīng)力集中進(jìn)而360度保護(hù)的喇叭口卡槽；
[0009]自動(dòng)定位進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)，其包括錐形六角緊固電極頭、錐形電極母頭、安裝于電極桿上的屏蔽管和套設(shè)于屏蔽管上的可使進(jìn)電組件自動(dòng)定位同時(shí)方便查看錐形六角緊固電極頭狀況的定位喇叭口鎖座，所述錐形電極母頭由錐面自動(dòng)定位連接所述錐形六角緊固電極頭；
[0010]自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)，其為在PECVD工序中工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位的同時(shí)使進(jìn)電組件自動(dòng)壓緊、工藝結(jié)束出爐時(shí)工件架離開沉積爐限位的同時(shí)使進(jìn)電組件自動(dòng)松開的杠桿自動(dòng)壓緊機(jī)構(gòu)。
[0011 ] 作為優(yōu)化，所述喇叭口卡槽與進(jìn)電組件的接觸部分采用圓弧結(jié)構(gòu)。
[0012]作為優(yōu)化，所述喇叭口卡槽通過(guò)前固定塊、后固定塊、內(nèi)六角螺栓I和螺母I固定。
[0013]作為優(yōu)化，所述自動(dòng)定位進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)還包括安裝于電極桿上的絕緣管，所述定位喇叭口鎖座通過(guò)過(guò)盈配合安裝于屏蔽管上。
[0014]作為優(yōu)化，所述杠桿自動(dòng)壓緊機(jī)構(gòu)包括套設(shè)于進(jìn)電組件上并將壓緊力傳遞給錐形電極母頭的壓緊彈簧、直接作用于壓緊彈簧的彈簧壓柄、活動(dòng)銷軸、活動(dòng)銷軸套和杠桿壓桿，所述杠桿壓桿前后兩端垂直通過(guò)氣焊焊接在活動(dòng)銷軸的活動(dòng)銷軸套上。
[0015]作為優(yōu)化，還包括可調(diào)節(jié)橫板和可調(diào)節(jié)基板，所述彈簧壓柄通過(guò)內(nèi)六角螺絲II和螺母II固定在可調(diào)節(jié)橫板上，所述活動(dòng)銷軸連接可調(diào)節(jié)基板，可調(diào)節(jié)基板由內(nèi)六角螺栓固定在沉積爐底板上。
[0016]上述一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置的安裝方法，包括以下步驟:
[0017]1)在非晶硅薄膜太陽(yáng)能PECVD工件架電極桿上旋轉(zhuǎn)錐形六角緊固電極頭，并把非晶硅薄膜太陽(yáng)能PECVD屏蔽管、絕緣管安裝在電極桿上，注意把屏蔽管、絕緣管安裝到位；
[0018]2)將定位喇叭口鎖座通過(guò)過(guò)盈配合安裝在屏蔽管上；
[0019]3)將壓緊彈簧、喇叭口卡槽順序套在進(jìn)電組件上，然后把進(jìn)電組件螺母套上，再把進(jìn)電組件螺旋擰緊安裝在沉積爐內(nèi)，最后由前固定塊、后固定塊固定喇叭口卡槽，再使用內(nèi)六角螺栓I和螺母I固定；
[0020]4)將焊接在活動(dòng)軸銷套上的杠桿壓桿以及彈簧壓柄、可調(diào)節(jié)基板通過(guò)活動(dòng)銷軸連接在一條軸線上，然后使用內(nèi)六角螺栓固定可調(diào)節(jié)基板在沉積爐底板上，再把彈簧壓柄通過(guò)內(nèi)六角螺絲II和螺母II固定在焊接杠桿壓桿的可調(diào)節(jié)橫板上，最后把帶有壓緊彈簧的進(jìn)電組件推進(jìn)彈簧壓柄槽口內(nèi)；
[0021 ] 5)將PECVD工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位的同時(shí)工件架槽鋼對(duì)杠桿壓桿的壓力，通過(guò)彈簧壓柄作用于壓緊彈簧，再由壓緊彈簧把壓緊力傳遞給錐形電極母頭，錐形電極母頭在安裝在屏蔽管的喇機(jī)口鎖座內(nèi)由于切向力作用自動(dòng)向中軸線偏移定位，進(jìn)而起到自定位自動(dòng)壓緊作用，從而實(shí)現(xiàn)了工件架進(jìn)爐進(jìn)電組件自動(dòng)定位、自動(dòng)壓緊；
[0022]6)工藝結(jié)束出爐時(shí)，由于工件架離開沉積爐限位的同時(shí)使進(jìn)電組件自動(dòng)松開。
[0023]作為優(yōu)化，針對(duì)個(gè)別電極頭氧化松動(dòng)磨損情況，在工藝前后直接通過(guò)內(nèi)六角套筒進(jìn)行擰緊或卸下更換。
[0024]作為優(yōu)化，所述進(jìn)電組件為18根。
[0025]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0026]本實(shí)用新型，設(shè)計(jì)科學(xué)，在不影響原有功能的前提下，減少生產(chǎn)和維護(hù)所需人力物力，提高進(jìn)電組件的使用壽命，減少生產(chǎn)成本。具體為:
[0027]1、通過(guò)設(shè)置喇叭口卡槽，可以在進(jìn)電組件作業(yè)過(guò)程中對(duì)進(jìn)電組件起到杜絕應(yīng)力集中進(jìn)而360。的保護(hù)作用；
[0028]2、通過(guò)設(shè)置喇叭口鎖座，可以使進(jìn)電組件自動(dòng)定位同時(shí)方便查看電極頭的狀況及工件架清洗時(shí)起到防止電極進(jìn)水；
[0029]3、通過(guò)設(shè)置錐型六角緊固電極頭，可以獲得更大的有效接觸面積、較小的磨損、良好的抗氧化性、更方便的緊固方式；
[0030]4、通過(guò)設(shè)置自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)，可以自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件保證電極接觸穩(wěn)定性；
[0031]5、在PECVD工序，工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位的同時(shí)使18根進(jìn)電組件自動(dòng)定位、自動(dòng)壓緊；工藝結(jié)束出爐時(shí)，工件架離開沉積爐限位的同時(shí)使18根進(jìn)電組件自動(dòng)松開；該裝置在能夠不影響目前工藝要求的情況下，保護(hù)電極接觸的穩(wěn)定性和進(jìn)電組件物理特性，提高電極頭和進(jìn)電組件壽命，延長(zhǎng)使用周期，大大提高設(shè)備稼動(dòng)率，降低產(chǎn)品報(bào)廢率，減少人體的勞動(dòng)強(qiáng)度；可以大幅度的降低成本，對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)具有極大的推廣價(jià)值。
【附圖說(shuō)明】
[0032]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置及其安裝方法作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0033]圖1是本實(shí)用新型一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖2是圖1中的喇叭口卡槽主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖3是圖1中的喇叭口卡槽俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖4是圖1中的前固定塊結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖5是圖1中的后固定塊結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖6是圖1中的錐形六角緊固電極頭主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖7是圖1中的錐形六角緊固電極頭右視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0040]圖8是圖1中的錐形電極母頭主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041]圖9是圖1中的錐形電極母頭左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖10是圖1中的錐形六角緊固電極頭和錐形電極母頭配合結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖11是圖1中的喇叭口鎖座主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0044]圖12是圖1中的喇叭口鎖座右視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0045]圖13是圖1中的自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0046]圖14是圖1中的自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)的仰視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0047]圖中:1為進(jìn)電組件、2為進(jìn)電組件保護(hù)機(jī)構(gòu)、2.1為喇叭口卡槽、2.2為前固定塊、2.3為后固定塊、2.4為內(nèi)六角螺栓1、2.5為螺母1、3為自動(dòng)定位進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)、3.1為屏蔽管、3.2為絕緣管、3.3為錐形六角緊固電極頭、3.4為錐形電極母頭、3.5為喇叭口鎖座、4為自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)、4.1為壓緊彈簧、4.2為彈簧壓柄、4.3為可調(diào)節(jié)橫板、4.4為內(nèi)六角螺絲I1、4.5為螺母I1、4.6為活動(dòng)銷軸、4.7為活動(dòng)銷軸套、4.8為杠桿壓桿、4.9為可調(diào)節(jié)基板、4.10為內(nèi)六角螺栓。
【具體實(shí)施方式】
[0048]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0049]每個(gè)電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝的穩(wěn)定性，需要等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。根據(jù)杠桿原理，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種新型的自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置，在不影響原有功能的前提下，減少生產(chǎn)和維護(hù)所需人力物力，提高進(jìn)電組件的使用壽命，減少生產(chǎn)成本。另外，本自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置可以使電極接觸更好。
[0050]如圖1至圖14所示，本一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置，包括