一種cigs薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光伏技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射已發(fā)展為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中最主要的技術(shù)之一。在磁控濺射鍍膜過(guò)程中，從靶材濺射出來(lái)的高能粒子除了向基片凝聚、形成薄膜之外，不可避免的會(huì)有一部分沉積到陰極靶材四周及腔室遮罩或其它部件上。隨著濺射鍍膜的反復(fù)進(jìn)行，濺射室腔體表面的沉積物越來(lái)越厚，進(jìn)而導(dǎo)致不得不花費(fèi)大量的人力物力清除。
[0003]目前行業(yè)內(nèi)的遮擋裝置設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)偏于繁瑣、重量過(guò)重，成本高，鍍膜效果不好等問(wèn)題，生產(chǎn)過(guò)程中很容易出現(xiàn)遮擋裝置短路，產(chǎn)生異常放電，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，在陰極靶材及沉積基片之間設(shè)計(jì)一種遮擋裝置，在濺射鍍膜過(guò)程中，該遮擋裝置能夠?qū)㈥帢O靶材和沉積基片之間的空間區(qū)域及靶材與陰極腔體封閉起來(lái)，并有效阻斷沉積粒子向?yàn)R射室內(nèi)壁及靶材四壁沉積，降低濺射室的污染，且陽(yáng)極腔體不需要匹配的輔助擋板。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:
[0006]一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，包括側(cè)擋板和底板，側(cè)擋板由兩塊側(cè)板拼合形成圍擋，該圍擋的兩端位于拐角處設(shè)置有1/4圓弧狀的圍板結(jié)構(gòu)，所述側(cè)擋板有兩塊，兩塊側(cè)擋板圍合形成一側(cè)面敞口的長(zhǎng)方體，底板上具有一個(gè)半圓形缺口，所述底板有兩塊，底板卡設(shè)于兩塊側(cè)擋板之間，底板與側(cè)擋板的兩個(gè)1/4圓弧圍合形成完整的圓孔。
[0007]該設(shè)計(jì)打破傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念，只需陰極靶材四周安裝遮擋裝置，不需要在陽(yáng)極區(qū)域另行設(shè)置遮擋板，遮擋板的使用數(shù)量減少，可縮短維護(hù)時(shí)間，降低維護(hù)人員負(fù)荷，降低遮擋板與腔體陰陽(yáng)極短路風(fēng)險(xiǎn)，從而提高濺射效率。
[0008]本實(shí)用新型遮擋裝置與陰極腔體壁的接觸方式為點(diǎn)接觸，打破傳統(tǒng)的遮擋板直接與陰極腔體壁面接觸。接觸面越多，隨著濺射發(fā)生，遮擋板表層會(huì)被不斷濺鍍膜，隨之遮擋板溫度升高，產(chǎn)生形變，導(dǎo)致與腔體壁發(fā)生短路風(fēng)險(xiǎn)增加。遮擋板數(shù)量增加，相應(yīng)也會(huì)提高短路風(fēng)險(xiǎn)。
[0009]本實(shí)用新型設(shè)計(jì)陰極遮擋裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與陰極腔體壁不在一個(gè)水平面。其中側(cè)擋板開(kāi)口大小及角度匹配待鍍物襯底濺鍍膜范圍，襯底附近腔體僅有很小一部分被濺鍍膜，設(shè)備維護(hù)時(shí)，及時(shí)清理即可。
[0010]優(yōu)通過(guò)控制側(cè)擋板的開(kāi)口位置、角度，限制成膜范圍，獲得理想的膜層質(zhì)量。選地，所述側(cè)擋板由兩塊側(cè)板垂直拼合形成L形圍擋。
[0011]優(yōu)選所述CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置的基材采用鋁5052材質(zhì)，或其它材質(zhì)(具有質(zhì)量輕、硬度高、耐酸堿腐蝕)，表面進(jìn)行噴砂或熔射處理。
[0012]所述側(cè)擋板的外側(cè)壁上安裝有冷卻管。冷卻管用銅管或其它管材冷卻水管固定在側(cè)擋板背面，達(dá)到冷卻作用。
[0013]本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)后，具有如下技術(shù)效果:
[0014]本實(shí)用新型所述遮擋裝置設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用輕便，可縮短維護(hù)時(shí)間，降低維護(hù)人員負(fù)荷，有效將濺射腔室內(nèi)污染降到最低，降低短路風(fēng)險(xiǎn)，可提高制品膜層質(zhì)量及濺射效率。
【附圖說(shuō)明】
[0015]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0016]圖1顯示了本實(shí)用新型所述CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置的整體結(jié)構(gòu)；
[0017]圖2顯示了本實(shí)用新型所述側(cè)擋板的結(jié)構(gòu)；
[0018]圖3顯示了本實(shí)用新型所述側(cè)擋板上安裝冷卻管的結(jié)構(gòu)；
[0019]圖4顯示了本實(shí)用新型所述CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置的使用狀態(tài)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]為使本實(shí)用新型的目的和技術(shù)方案更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋緦?shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無(wú)需創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0021]一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，包括側(cè)擋板1、底板2、冷卻管3等技術(shù)特征。
[0022]實(shí)施例1
[0023]如圖1、4所示，一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，包括側(cè)擋板和底板，側(cè)擋板由兩塊側(cè)板拼合形成圍擋，該圍擋的兩端位于拐角處設(shè)置有1/4圓弧狀的圍板結(jié)構(gòu)，所述側(cè)擋板有兩塊，兩塊側(cè)擋板圍合形成一側(cè)面敞口的長(zhǎng)方體，底板上具有一個(gè)半圓形缺口，所述底板有兩塊，底板卡設(shè)于兩塊側(cè)擋板之間，底板與側(cè)擋板的兩個(gè)1/4圓弧圍合形成完整的圓孔。
[0024]實(shí)施例2
[0025]如圖2、4所示，本實(shí)施例對(duì)實(shí)施例1進(jìn)一步改進(jìn)，所述側(cè)擋板由兩塊側(cè)板垂直拼合形成L形圍擋。
[0026]實(shí)施例3
[0027]本實(shí)施例對(duì)實(shí)施例1進(jìn)一步改進(jìn)，所述CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置的基材采用鋁5052材質(zhì)。
[0028]實(shí)施例4
[0029]如圖3-4所示，本實(shí)用新型以圓柱靶材為例，但是可適用于方形靶材、圓形靶材，安裝如圖4所示。本實(shí)施例對(duì)實(shí)施例1進(jìn)一步改進(jìn)，所述側(cè)擋板的外側(cè)壁上安裝有冷卻管。
[0030]本技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，除非另外定義，這里使用的所有術(shù)語(yǔ)(包括技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))具有與本實(shí)用新型所屬領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員的一般理解相同的意義。還應(yīng)該理解的是，諸如通用字典中定義的那些術(shù)語(yǔ)應(yīng)該被理解為具有與現(xiàn)有技術(shù)的上下文中的意義一致的意義，并且除非像這里一樣定義，不會(huì)用理想化或過(guò)于正式的含義來(lái)解釋。
[0031]本實(shí)用新型中所述的“連接”的含義可以是部件之間的直接連接也可以是部件間通過(guò)其它部件的間接連接。
[0032]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，其特征在于，包括側(cè)擋板和底板，側(cè)擋板由兩塊側(cè)板拼合形成圍擋，該圍擋的兩端位于拐角處設(shè)置有1/4圓弧狀的圍板結(jié)構(gòu)，所述側(cè)擋板有兩塊，兩塊側(cè)擋板圍合形成一側(cè)面敞口的長(zhǎng)方體，底板上具有一個(gè)半圓形缺口，所述底板有兩塊，底板卡設(shè)于兩塊側(cè)擋板之間，底板與側(cè)擋板的兩個(gè)1/4圓弧圍合形成完整的圓孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，其特征在于，所述側(cè)擋板由兩塊側(cè)板垂直拼合形成L形圍擋。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，其特征在于，所述CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置采用鋁5052材質(zhì)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，其特征在于，所述側(cè)擋板的外側(cè)壁上安裝有冷卻管。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種CIGS薄膜電池生產(chǎn)線磁控濺射用遮擋裝置，包括側(cè)擋板和底板，側(cè)擋板由兩塊側(cè)板拼合形成圍擋，該圍擋的兩端位于拐角處設(shè)置有1/4圓弧狀的圍板結(jié)構(gòu)，所述側(cè)擋板有兩塊，兩塊側(cè)擋板圍合形成一側(cè)面敞口的長(zhǎng)方體，底板上具有一個(gè)半圓形缺口，所述底板有兩塊，底板卡設(shè)于兩塊側(cè)擋板之間，底板與側(cè)擋板的兩個(gè)1/4圓弧圍合形成完整的圓孔。本實(shí)用新型所述遮擋裝置設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用輕便，可縮短維護(hù)時(shí)間，降低維護(hù)人員負(fù)荷，有效將濺射腔室內(nèi)污染降到最低，降低短路風(fēng)險(xiǎn)，可提高制品膜層質(zhì)量及濺射效率。
【IPC分類】C23C14/35
【公開(kāi)號(hào)】CN204999966
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520699643
【發(fā)明人】陸傳達(dá), 畢磊
【申請(qǐng)人】南京漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月27日
【申請(qǐng)日】2015年9月10日