一種石墨舟定位裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池自動化設備的固定機構的技術領域，更具體地說，是涉及一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片設備中的石墨舟定位裝置。
【背景技術】
[0002]PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n)-等離子體增強化學氣相沉積法，是利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使硅片升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經(jīng)一秕化學和等離子體反應，在硅片上形成固態(tài)薄膜。
[0003]石墨舟是石墨模具，石墨模具本身是一種載體，可以把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型。石墨模具是選用人造石墨經(jīng)機械加工而成的。所以石墨模具有時成為石墨舟，也有稱為石墨船的。
[0004]石墨舟作為硅片載體電極，硅片必須放置在石墨舟上才能進行鍍膜工藝。在硅太陽能電池制造過程中，在進行硅片表面鍍膜時，首先將未鍍膜的硅片插入到石墨舟中，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備(簡稱PECVD設備)腔體中，采用合適的PECVD工藝對硅片進行鍍膜。鍍膜結束后，從真空鍍膜設備腔體中取出石墨舟然后再將鍍膜的硅片從石墨舟取下來。
[0005]現(xiàn)有PECVD真空鍍膜工序之前或之后都會用到石墨舟。在石墨舟定位后對其上的硅片進行裝卸?，F(xiàn)有的石墨舟傳輸定位主要有以下特點:石墨舟的輸送多采用伺服馬達，成本較高；石墨舟的定位采用較多的傳感器，成本較高；石墨舟夾緊定位時采用氣缸力直接作用在舟片上，容易損傷舟片。
[0006]基于以上問題，有必要設計一種新的石墨舟定位裝置。
【實用新型內容】
[0007]本實用新型提供一種在石墨舟自動裝卸片時將石墨舟精確定位和固定的定位裝置。
[0008]本實用新型提供一種石墨舟定位裝置，該定位裝置包括:至少一承托機構，在豎直方向固定石墨舟，該承托機構包括:固定石墨舟的托板、承托氣缸、至少一承托導桿，所述承托導桿一端與承托氣缸連接，所述承托導桿另一端與所述托板連接；至少一 X夾緊定位機構，與承托機構并列設置，X夾緊定位機構包括:與承托氣缸平行設置的X定位氣缸、至少一定位導桿，所述定位導桿一端與X定位氣缸連接，所述定位導桿另一端與所述托板連接、套設在定位導桿上的固定環(huán)；至少一 Y夾緊定位機構，包括:Y定位導軌、至少一 Y定位夾緊氣缸、至少一 Υ定位夾緊桿，與對應的連接Υ定位夾緊氣缸連接、限位裝置，連接在Υ定位導軌上。
[0009]其中，所述石墨舟定位裝置還包括固定板，所述承托氣缸、X定位氣缸、Υ定位夾緊氣缸均固定在該固定板。
[0010]其中，所述承托機構還包括將承托導桿與所述固定板配合的承托軸承；所述X夾緊定位機構也包括將定位導桿與所述固定板配合的X直線軸承，所述固定環(huán)套設在定位導桿與X直線軸承的連接處。
[0011]其中，所述石墨舟定位裝置還包括固定在托板上的第一框形板和第二框形板，所述承托導桿的一端部固定在第一框形板上，所述定位導桿的一端部固定在第二框形板上。
[0012]其中，所述承托機構包括連接在定位導桿一端部的承托連接件，所述承托連接件與所述X連接件平行且相鄰設置。
[0013]其中，所述X夾緊定位機構還包括固定在所述托板上的定位夾緊板。
[0014]其中，所述X夾緊定位機構還包括固定在所述定位夾緊板上的至少一電極感應傳感器。
[0015]其中，所述X夾緊定位機構還包括與X定位氣缸連接的X壓縮彈簧；所述Y夾緊定位機構，也包括與Y定位夾緊氣缸的Y壓縮彈簧。
[0016]其中，所述X夾緊定位機構還包括連接在X壓縮彈簧和X定位氣缸之間的X連接件；所述Y夾緊定位機構還包括連接在Y壓縮彈簧和Y定位夾緊氣缸之間的Y連接件。
[0017]其中，所述石墨舟定位裝置還包括還包括檢測部分，該檢測部分包括多個傳感器。
[0018]本實用新型首先通過承托機構將石墨舟在豎直方向(Z方向)固定，再通過X夾緊定位機構調節(jié)石墨舟在X方向的精度，Y夾緊定位機構調節(jié)石墨舟在Y方向的精度，承托結構、X夾緊定位機構、Y夾緊定位機構均通過氣缸來固定調節(jié)，通過本定位裝置在自動化設備中實現(xiàn)石墨舟的自動裝卸片時，將石墨舟精確定位和固定。
【附圖說明】
[0019]圖1為本石墨舟定位裝置的立體結構示意圖；
[0020]圖2為圖1所示石墨舟定位裝置的主視圖；
[0021]圖3為圖1所示石墨舟定位裝置的俯視圖；
[0022]圖4為圖1所示石墨舟定位裝置的右視圖。
[0023]圖中各序號所對應的標注名稱如下:
[0024]石墨舟1、托板3、導桿31-32、承托氣缸4、固定板2、承托軸承6、承托導桿5、第一框形板23、承托連接件7、X定位氣缸8、定位導桿9、X直線軸承14、第二框形板22、固定環(huán)
10、定位夾緊板13、電極感應傳感器12、X壓縮彈簧11、X連接件24、Y定位導軌15、Y定位夾緊氣缸16、Y定位夾緊桿17、限位裝置18、Y壓縮彈簧19、Y連接件20。
【具體實施方式】
[0025]石墨舟1由多個按規(guī)則排列的石墨舟片及固定裝置組合而成，本實用新型揭示一種石墨舟定位裝置，本定位裝置用于定位夾緊石墨舟1，如圖1所示，定義:水平沿著石墨舟片方向定義為X方向，垂直石墨舟片方向定義為Y方向，空間垂直于X方向和Y方向定義為Z方向。
[0026]本石墨舟定位裝置包括三個部分:承托機構，用于將石墨舟托住，進而將石墨舟1在豎直方向上(Z軸)進行定位；夾緊定位機構，包括:x方向上的夾緊定位機構和Y方向上的夾緊定位機構，且石墨舟1的每一端均具有一 X夾緊定位機構和一 Y夾緊定位機構，也就是本石墨舟共具有兩個X夾緊定位機構和兩個Y夾緊定位結構；安全檢測部分，主要是提供石墨舟充分的保護，以免在操作中對石墨舟和機械手造成損壞，造成不必要的經(jīng)濟損失，安全監(jiān)測部分包括固定在石墨舟1兩側的多個21傳感器，通過傳感器21檢測石墨舟位置是否正確，以確保石墨舟安全，避免經(jīng)濟損失。
[0027]同時參閱圖2，本定位裝置上設有固定板2及與固定板2配合的部件(圖未示)，所述承托機構和夾緊定位機構由該固定板2及與固定板2配合的部件固定在本定位裝置上。
[0028]所述承托機構位于石墨舟1的兩側，也就是說承托機構具有兩組，每一承托機構包括:托板3，位于石墨舟1端部且用于固定石墨舟1，每個托板3通過兩導桿31、32將石墨舟的一端固定在該托板3上；承托氣缸4，固定在固定板2上，用于驅動承托機構帶動石墨舟1運動；兩承托軸承6，位于承托氣缸4的兩側，該承托軸承6固定在固定板2上；兩承托導桿5，每個承托導桿5穿過對應的承托軸承6并固定在第一框形板23上；承托連接件7，連接承托氣缸4和兩承托導桿5，所述每一承托導桿5 —端與承托連接件7連接，承托導桿5另一端與第一框形板23連接。
[0029]同時參閱圖3，所述X夾緊定位機構位于石墨舟1的兩側，也就是說X夾緊定位機構具有兩組，X夾緊定位機構實際與承托機構并列設置，每一 X夾緊定位機構包括:與承托氣缸4平行設置的X定位氣缸8，該X定位氣缸8也位于固定板2上；兩定位導桿9，每一定位導桿9與對應的承托導桿5平行設置，且定位導桿9的直徑小于承托導桿5的直徑；兩X直線軸承14，每一 X直線軸承14也與對應的承托直線軸承6平行設置，X直線軸承14固定在固定板2上，每個定位導桿9穿過對應的承托X直線軸承14并固定在第二框形板22上，其中，第一框形板23和第二框形板22均固定在托板3上；固定