一種石墨舟的推舟裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨舟的推舟裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體化學(xué)氣相沉積:在沉積室利用輝光放電使其電離后在襯底上進行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法。等離子體增強化學(xué)氣相沉積是:在化學(xué)氣相沉積中，激發(fā)氣體，使其產(chǎn)生低溫等離子體，增強反應(yīng)物質(zhì)的化學(xué)活性，從而進行外延的一種方法。該方法可在較低溫度下形成固體膜。例如在一個反應(yīng)室內(nèi)將基體材料置于陰極上，通入反應(yīng)氣體至較低氣壓(1?600Pa)，基體保持一定溫度，以某種方式產(chǎn)生輝光放電，基體表面附近氣體電離，反應(yīng)氣體得到活化，同時基體表面產(chǎn)生陰極濺射，從而提高了表面活性。在表面上不僅存在著通常的熱化學(xué)反應(yīng)，還存在著復(fù)雜的等離子體化學(xué)反應(yīng)。沉積膜就是在這兩種化學(xué)反應(yīng)的共同作用下形成的。等離子氣相化學(xué)沉積的工藝流程是一個循環(huán)過程，包括(1)裝片；(2)進舟；(3)抽空；(4)恒溫；(5)淀積；(6)抽空；(7)清洗；(8)充氮；(9)退舟；(10)卸片。
[0003]上述步驟(2)進舟是將裝有硅片的石墨舟通過推舟機構(gòu)送入反應(yīng)爐管內(nèi)，步驟
(9)退舟是石墨舟送入反應(yīng)爐管內(nèi)后將推舟機構(gòu)退回，推舟機構(gòu)具有垂直和水平運動，水平運動主要包括水平運動模塊，推舟和裝載機構(gòu)。石墨舟通過機械手放置與裝載機構(gòu)前段；裝載機構(gòu)后端安裝在推舟上，前端處于懸空狀態(tài)；推舟固定在水平運動模塊的滑塊上，通過電機驅(qū)動絲杠實現(xiàn)來回移動，完成進舟與退舟。然而，現(xiàn)有石墨舟裝載機構(gòu)類似于懸臂梁結(jié)構(gòu)形式，剛性較差；承載石墨舟時，前端變形較大；并且在前進過程中，石墨舟存在抖動現(xiàn)象。石墨舟裝載機構(gòu)變形大，如果調(diào)節(jié)不當(dāng)，前進時有可能發(fā)生撞舟；石墨舟抖動，會造成硅片與石墨舟接觸不好，最終影響成膜質(zhì)量。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、整體剛性好、推舟過程中無變形和抖動的石墨舟的推舟裝置。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0006]—種石墨舟的推舟裝置，包括裝載機構(gòu)、水平運動機構(gòu)和推舟，所述推舟固定在所述水平運動機構(gòu)的滑塊上，所述裝載機構(gòu)后端固定于所述推舟上，前端懸空設(shè)置，所述石墨舟放置在所述裝載機構(gòu)的前端，所述裝載機構(gòu)前端與后端之間設(shè)有用于加強裝載機構(gòu)前端剛性的斜拉件。
[0007]作為上述技術(shù)方案的進一步改進:
[0008]所述斜拉件設(shè)為兩組，分設(shè)于所述裝載機構(gòu)的兩側(cè)。
[0009]所述斜拉件包括多個依次相連的拉桿單元，所述拉桿單元包括第一拉桿和第二拉桿，所述第一拉桿的尾部與第二拉桿的頭部鉸接，前一所述拉桿單元的第二拉桿的尾部與后一拉桿單元的第一拉桿的頭部鉸接，最前端的所述拉桿單元的第一拉桿的頭部與裝載機構(gòu)前端連接，最后端的所述拉桿單元的第二拉桿的尾部與所述裝載機構(gòu)后端連接。
[0010]每個所述拉桿單元中，第二拉桿的兩端設(shè)有U形槽，第一拉桿的尾部卡設(shè)于所述U形槽內(nèi)并通過銷軸連接，所述銷軸上設(shè)有防止第一拉桿的尾部脫離所述U形槽的插銷。
[0011 ] 所述斜拉件為鋼絲繩和鉸鏈中的一種。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于:
[0013]本實用新型的石墨舟的推舟裝置，通過在裝載機構(gòu)的兩端設(shè)置斜拉件，提高裝載機構(gòu)的整體剛性，大大加強裝載機構(gòu)前端(懸臂端)剛性，減小了變形，同時改善了石墨舟在前進和后退過程中的抖動現(xiàn)象，在一定程度上避免了因石墨舟進舟過程中抖動而造成的硅片成膜質(zhì)量差的問題。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2是圖1的俯視圖。
[0016]圖3是本實用新型中裝載機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖4是圖3的俯視圖。
[0018]圖5是本實用新型中斜拉件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖6是圖5中A處放大圖。
[0020]圖7是本實用新型中第一拉桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖8是本實用新型中第二拉桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖9是本實用新型中固定塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖中各標(biāo)號表不:
[0024]1、裝載機構(gòu)；11、支承桿；12、安裝座；121、固定塊；122、腰型孔；2、水平運動機構(gòu)；3、推舟；4、石墨舟；5、斜拉件；51、拉桿單元；511、第一拉桿；512、第二拉桿；6、U形槽；7、銷軸；8、插銷。
【具體實施方式】
[0025]以下結(jié)合說明書附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細(xì)說明。
[0026]圖1至圖9示出了本實用新型石墨舟的推舟裝置的一種實施例，該石墨舟的推舟裝置包括包括裝載機構(gòu)1、水平運動機構(gòu)2和推舟3，推舟3固定在水平運動機構(gòu)2的滑塊(圖中未示出)上，裝載機構(gòu)1后端固定于推舟3上，前端懸空設(shè)置，石墨舟4放置在裝載機構(gòu)1的前端，裝載機構(gòu)1前端與后端之間設(shè)有用于加強裝載機構(gòu)1前端剛性的斜拉件5。本實施例中水平運動機構(gòu)2為絲桿機構(gòu)，裝載機構(gòu)1由前端的支承桿11和后端的安裝座12構(gòu)成，安裝座12固定在推舟3上，斜拉件5 —端固定在支承桿11，另一端固定在安裝座12上，由于安裝座12固定在推舟3上，因此斜拉件5對支承桿11 (懸臂端)具有向上的支撐作用，工作時，通過機械手將石墨舟4放置在支承桿11上，然后水平運動機構(gòu)2驅(qū)動推舟3水平移動，推舟3帶動裝載機構(gòu)1前進或后退，從而實現(xiàn)進舟與退舟。本實施例通過在裝載機構(gòu)1的兩端設(shè)置斜拉件5，提高了裝載機構(gòu)1的整體剛性，大大加強了裝載機構(gòu)1前段剛性，減小了變形，同時改善了石墨舟4在前進和后退過程中的抖動現(xiàn)象，從而在一定程度上避免了因石墨舟4進舟過程中抖動而造成的硅片成膜質(zhì)量差的問題。
[0027]本實施例中，斜拉件5設(shè)為兩組，分設(shè)于裝載機構(gòu)1的兩側(cè)，如圖2所示，兩側(cè)的支承桿11上均設(shè)置斜拉件5，確保兩側(cè)支承桿11受力均勻，保證裝載機構(gòu)1整體結(jié)構(gòu)受力均勻。
[0028]本實施例中，斜拉件5包括多個依次相連的拉桿單元51，拉桿單元51包括第一拉桿511和第二拉桿512，第一拉桿511的尾部與第二拉桿512的頭部鉸接，前一拉桿單元51的第二拉桿512的尾部與后一拉桿單元51的第一拉桿511的頭部鉸接，最前端的拉桿單元51的第一拉桿511的頭部與裝載機構(gòu)1前端連接，最后端的拉桿單元51的第二拉桿512的尾部與裝載機構(gòu)1后端連接。每個所述拉桿單元51中，第二拉桿512的兩端設(shè)有U形槽6，第一拉桿511的尾部卡設(shè)于U形槽6內(nèi)并通過銷軸7連接，銷軸7上設(shè)有防止第一拉桿511的尾部脫離U形槽6的插銷8。安裝座12上設(shè)有固定塊121，固定塊121通過螺栓(圖中未示出)固定在安裝座12上，固定塊121設(shè)有可供螺栓穿過的的腰型孔122，這樣固定塊121可以前后移動，進而調(diào)節(jié)拉桿單元51的預(yù)緊力；插銷8用于固定銷軸7，約束銷軸7的軸向運動。此外，第一拉桿511與第二拉桿512的數(shù)量根據(jù)石墨舟4的重量或者裝載機構(gòu)1的長度來確定。
[0029]除本實施例外，第一拉桿511與第二拉桿512之間的連接方式為球面鉸接或者其他常規(guī)的活動連接的方式，此外，斜拉件5還可以為鋼絲繩和鉸鏈中的一種。
[0030]雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均應(yīng)落在本實用新型技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種石墨舟的推舟裝置，包括裝載機構(gòu)(1)、水平運動機構(gòu)(2)和推舟(3)，所述推舟(3)固定在所述水平運動機構(gòu)(2)的滑塊上，所述裝載機構(gòu)(1)后端固定于所述推舟(3)上，前端懸空設(shè)置，所述石墨舟(4)放置在所述裝載機構(gòu)(1)的前端，其特征在于:所述裝載機構(gòu)(1)前端與后端之間設(shè)有用于加強裝載機構(gòu)(1)前端剛性的斜拉件(5)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟的推舟裝置，其特征在于:所述斜拉件(5)設(shè)為兩組，分設(shè)于所述裝載機構(gòu)(1)的兩側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟的推舟裝置，其特征在于:所述斜拉件(5)包括多個依次相連的拉桿單元(51)，所述拉桿單元(51)包括第一拉桿(511)和第二拉桿(512 )，所述第一拉桿(511)的尾部與第二拉桿(512)的頭部鉸接，前一所述拉桿單元(51)的第二拉桿(512)的尾部與后一拉桿單元(51)的第一拉桿(511)的頭部鉸接，最前端的所述拉桿單元(51)的第一拉桿(511)的頭部與裝載機構(gòu)(1)前端連接，最后端的所述拉桿單元(51)的第二拉桿(512)的尾部與所述裝載機構(gòu)(1)后端連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨舟的推舟裝置，其特征在于:每個所述拉桿單元(51)中，第二拉桿(512)的兩端設(shè)有U形槽(6)，第一拉桿(511)的尾部卡設(shè)于所述U形槽(6)內(nèi)并通過銷軸(7 )連接，所述銷軸(7 )上設(shè)有防止第一拉桿(511)的尾部脫離所述U形槽(6 )的插銷(8)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟的推舟裝置，其特征在于:所述斜拉件(5)為鋼絲繩和鉸鏈中的一種。
【專利摘要】本實用新型公開了一種石墨舟的推舟裝置，包括裝載機構(gòu)、水平運動機構(gòu)和推舟，所述推舟固定在所述水平運動機構(gòu)的滑塊上，所述裝載機構(gòu)后端固定于所述推舟上，前端懸空設(shè)置，所述石墨舟放置在所述裝載機構(gòu)的前端，所述裝載機構(gòu)前端與后端之間設(shè)有用于加強裝載機構(gòu)前端剛性的斜拉件。本實用新型采用斜拉件，提高了裝載機構(gòu)的整體剛性，減小了裝載機構(gòu)的變形，改善了石墨舟在前進和后退過程中的抖動現(xiàn)象，在一定程度上避免了因石墨舟進舟過程中抖動而造成的硅片成膜質(zhì)量差的問題。
【IPC分類】C23C16/44
【公開號】CN205024323
【申請?zhí)枴緾N201520756286
【發(fā)明人】張宇, 吳德軼
【申請人】湖南紅太陽光電科技有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年9月28日