一種噴硼源支架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種液體噴吹支架技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及噴硼源支架領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在電子生產(chǎn)中，進(jìn)行硼擴(kuò)散大多用的是勻膠機(jī)，雖然過(guò)程中感覺(jué)很均勻，可出爐后得到的結(jié)果顯示卻是不均勻的，因此參數(shù)的一致性并不是很好，并且物料耗用較多，操作繁復(fù)不簡(jiǎn)便，基于這些原因，我們考慮通過(guò)噴硼的方式來(lái)解決現(xiàn)有硼源不均勻的問(wèn)題。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)對(duì)噴硼方式的研究主要是噴硼是否均勻等方面，例如CN204295523U —種硼砂噴吹裝置，包括底座，底座上開(kāi)有固定孔并固定安裝有噴射桶，噴射桶的內(nèi)部設(shè)有喇叭狀的分流器、并且分流器的內(nèi)壁上焊接有若干導(dǎo)向葉片，分流器的闊端位于噴射桶的端面上、窄端開(kāi)口并連通至噴射桶的另一端；噴射桶的另一端固定安裝有導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管的一端穿過(guò)噴射桶導(dǎo)入分流器、另一端固定并連通分氣罩，分流器的窄端開(kāi)口連通至噴射桶并設(shè)有進(jìn)氣口，分氣罩的端部設(shè)有進(jìn)氣口。該專(zhuān)利以直射的方式解決了無(wú)縫鋼管生產(chǎn)領(lǐng)域噴吹的硼砂沒(méi)有擴(kuò)散角以及隨毛管管徑變化時(shí)更換噴吹裝置，一定程度上節(jié)約了物料，同時(shí)提高了先前噴硼均勻的程度。但該實(shí)用新型為固體粉末噴吹裝置，不適用于電子生產(chǎn)領(lǐng)域中的半導(dǎo)體中硼擴(kuò)涂源，其次硼和氮?dú)獠荒芡耆蛛x開(kāi)來(lái)，其混合物對(duì)產(chǎn)品的參數(shù)一致性也有一定的影響，并且在操作時(shí)不能夠靈活調(diào)節(jié)硼源和氮?dú)鈬娚淇冢蛊浼葴?zhǔn)確又簡(jiǎn)便的對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種噴硼源支架，解決現(xiàn)有電子生產(chǎn)領(lǐng)域中的硼擴(kuò)散問(wèn)題，本實(shí)用新型對(duì)噴硼源的支架進(jìn)行設(shè)計(jì)，使之在操作時(shí)可靈活調(diào)節(jié)硼源和氮?dú)鈬娚淇?，使其既?zhǔn)確又簡(jiǎn)便的對(duì)準(zhǔn)產(chǎn)品，既節(jié)約材料又噴灑硼源均勻，最終使參數(shù)的一致性得到很大提尚。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:
[0006]—種噴硼源支架，其特征在于，包括支撐板、支撐桿、氮?dú)鈬婎^、硼源管和燒杯支架，所述支撐板上垂直連接有所述支撐桿，所述支撐桿上依次安裝有所述氮?dú)鈬婎^和所述燒杯支架，所述硼源管一端與所述氮?dú)鈬婎^端部形成負(fù)壓區(qū)，另一端伸入所述燒杯支架上的燒杯內(nèi)。
[0007]本實(shí)用新型支架結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，可靈活調(diào)節(jié)，從而達(dá)到嚴(yán)格控制每片半導(dǎo)體上硼源的噴量，達(dá)到提高產(chǎn)品參數(shù)一致性的目的。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn):
[0009]進(jìn)一步，所述支撐板上設(shè)置有滑動(dòng)裝置，所述滑動(dòng)裝置包括滑塊和軌道，所述軌道設(shè)置在所述支撐板上，所述軌道上安裝有滑塊，所述支撐桿垂直安裝在所述滑塊上，采用本步的有益效果是在支撐板上設(shè)有軌道和滑塊，滑塊可在軌道上上下滑動(dòng)，從而帶動(dòng)支撐桿上下進(jìn)行位置調(diào)節(jié)；
[0010]進(jìn)一步，所述氮?dú)鈬婎^與所述支撐桿之間連接有氮?dú)鈬婎^夾持塊，所述燒杯支架與所述支撐桿之間連接有燒杯夾持塊，采用本步的有益效果是氮?dú)鈬婎^夾持塊和燒杯夾持塊可在支撐桿上來(lái)回移動(dòng)，從而可調(diào)整氮?dú)鈬婎^和燒杯支架之間的位置距離；
[0011]進(jìn)一步，所述硼源管形成負(fù)壓區(qū)的一端為尖嘴噴頭，采用本步的有益效果是尖嘴噴頭的設(shè)計(jì)有利于控制硼源管出口的硼源噴出量，尖嘴噴頭與氮?dú)鈬婎^貼近有利于通過(guò)氮?dú)鈿饬鲗⑴鹪磭姙⒕鶆颍?br>[0012]進(jìn)一步，所述氮?dú)鈬婎^與所述硼源管之間固定連接有L型實(shí)心管，采用本步的有益效果是通過(guò)實(shí)心管固定氮?dú)鈬婎^和硼源管之間的位置，讓它們始終不會(huì)分離過(guò)遠(yuǎn)，防止操作時(shí)硼源管發(fā)生滑動(dòng)松開(kāi)或抖動(dòng)，更加有利于通過(guò)控制氮?dú)鈮毫Υ笮∵M(jìn)而控制硼源噴灑面積；
[0013]進(jìn)一步，所述氮?dú)鈬婎^與所述硼源管為石英材質(zhì)，采用本步的有益效果是因?yàn)槭⒉馁|(zhì)耐酸耐高溫，遇化學(xué)制劑不易腐蝕的特點(diǎn)；
[0014]進(jìn)一步，所述燒杯支架包括燒杯調(diào)節(jié)桿、底盤(pán)和燒杯圈，所述燒杯調(diào)節(jié)桿與所述燒杯夾持塊螺紋連接，且燒杯調(diào)節(jié)桿下方依次安裝有所述燒杯圈、底盤(pán)，所述燒杯圈位于底盤(pán)上方，采用本步的有益效果是燒杯調(diào)節(jié)桿上部與燒杯夾持塊連接部分設(shè)有螺紋，有利于調(diào)節(jié)燒杯支架的高度，使燒杯可以靈活適應(yīng)硼源管的高度；
[0015]進(jìn)一步，所述氮?dú)鈬婎^夾持塊和燒杯夾持塊上均分別設(shè)有橫向調(diào)節(jié)槽和縱向調(diào)節(jié)槽，并分別配有用于緊固的螺栓，采用本步的有益效果是橫向調(diào)節(jié)槽用于調(diào)節(jié)氮?dú)鈬婎^夾持塊和燒杯夾持塊在支撐桿上面前后移動(dòng)，氮?dú)鈬婎^夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓用于調(diào)節(jié)氮?dú)鈬婎^的高度和確定位置后的緊固作用，燒杯夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓用于調(diào)節(jié)燒杯支架的高度和確定為之后的緊固作用；
[0016]進(jìn)一步，所述氮?dú)鈬婎^上方連接有空心管，所述空心管與氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)裝置連接，采用本步的有益效果是通過(guò)氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫Υ笮?，進(jìn)而控制硼源管的硼源量和硼源噴灑面積。
[0017]本實(shí)用新型工作原理:
[0018]本實(shí)用新型在使用時(shí)，通過(guò)虹吸原理，氮?dú)馔ㄟ^(guò)壓力調(diào)節(jié)裝置經(jīng)過(guò)空心管吹進(jìn)氮?dú)鈬娮靸?nèi)，抵達(dá)硼源管尖嘴噴頭位置形成負(fù)壓，由于壓力差的存在，硼源液體從燒杯中通過(guò)硼源管吸入上升再?gòu)募庾靽婎^位置噴灑而出，同時(shí)在氮?dú)庥绊懴?，硼源在一定范圍?nèi)噴灑均勻，這樣既解決了噴吹不勻的問(wèn)題，也減少了物料的耗用，提高了加工效率。
[0019]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0020]1.本實(shí)用新型支架結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在支撐板上設(shè)有軌道和滑塊，滑塊可在軌道內(nèi)上下滑動(dòng)，從而帶動(dòng)支撐桿上的氮?dú)鈬婎^夾持塊和燒杯夾持塊上下移動(dòng)進(jìn)行調(diào)整，尖嘴噴頭的設(shè)計(jì)有利于控制硼源管出口的硼源噴出量，尖嘴噴頭與氮?dú)鈬婎^貼近更加有利于充分利用氮?dú)鈿饬鲗⑴鹪磭姙⒕鶆颉?br>[0021]2.本實(shí)用新型在氮?dú)鈬婎^和硼源管之間固定有實(shí)心管，使氮?dú)鈬婎^和尖嘴噴頭始終不會(huì)分離過(guò)遠(yuǎn)，以防止操作時(shí)硼源管發(fā)生滑動(dòng)松開(kāi)或抖動(dòng)，硼源噴灑面積不均勻或者失控。
[0022]3.本實(shí)用新型的氮?dú)鈬婎^和硼源管采用石英材質(zhì)，是因?yàn)槭⒉馁|(zhì)耐酸耐高溫，遇化學(xué)制劑不易腐蝕的特點(diǎn)，可延長(zhǎng)支架的使用壽命。
[0023]4.本實(shí)用新型設(shè)有用于調(diào)節(jié)氮?dú)鈬婎^夾持塊和燒杯夾持塊在支撐桿上面前后移動(dòng)的橫向調(diào)節(jié)槽，和用于調(diào)節(jié)氮?dú)鈬婎^的高度和確定位置后的緊固作用的氮?dú)鈬婎^夾持塊上的縱向調(diào)節(jié)槽和螺栓，在靈活調(diào)節(jié)支架零件的同時(shí)確保了穩(wěn)固性。
[0024]5.本實(shí)用新型通過(guò)氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)氮?dú)鈮毫Υ笮?，進(jìn)而控制硼源管的硼源量和硼源噴灑面積。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種噴硼源支架的正視圖；
[0026]圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種噴硼源支架的側(cè)視圖；
[0027]圖3為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種噴硼源支架的俯視圖；
[0028]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0029]1.支撐板，
[0030]2.軌道，
[0031]3.滑塊，
[0032]4.支撐桿，
[0033]5.氮?dú)鈬婎^夾持塊，
[0034]6.燒杯夾持塊，
[0035]7.氮?dú)鈬婎^，
[0036]8.硼源管，
[0037]9.尖嘴噴頭，
[0038]10.燒杯支架，
[0039]11.實(shí)心管，
[0040]12.燒杯調(diào)節(jié)桿，
[0041]13.燒杯，
[0042]14.燒杯圈，
[0043]15.底盤(pán)，
[0044]16.螺栓，
[0045]17.橫向調(diào)節(jié)槽，
[0046]18.豎向調(diào)節(jié)槽，
[0047]19.螺紋，
[0048]20.空心管，
[0049]21.氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0050]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。
[0051]本實(shí)用新型為一種噴硼源支架，包括支撐板、支撐桿、氮?dú)鈬婎^、硼源