一種硅錠研磨裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種研磨裝置，具體涉及一種硅錠研磨裝置，屬于機械技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在半導(dǎo)體鍍膜、太陽能鍍膜生產(chǎn)中，會用到大量的多晶硅靶材，多晶硅靶材主要由多晶硅片拼接綁定而成。多晶硅片一般由提拉硅或壓鑄硅來加工，提拉硅或壓鑄硅原料一般會加工成方形的的錠狀，但由開方機切出來的錠狀表面粗糙度達不到產(chǎn)品的要求，需要通過研磨后獲得。目前的方法多采用銑磨機或加工中心類似的設(shè)備安裝金剛石砂輪進行銑磨，這種方法均要通過相應(yīng)的工裝進行裝夾后才能進行，同時還要有專用的冷卻液進行冷卻加工。這種方法設(shè)備投資小，效率高，成本低。
[0003]在公告號為CN201998067U的中國專利文獻中提出了一種單晶硅片研磨機的研磨盤，如圖1所不，該研磨盤包括包括基盤6，基盤6與動力輸出設(shè)備9相連接，基盤6的下方設(shè)置有球墨鑄鐵研磨層7，整個研磨盤的下面是與之相適配的底盤8，單晶硅片就放在底盤8上，動力輸出設(shè)備9驅(qū)動整個研磨盤轉(zhuǎn)動，研磨單晶硅片。該技術(shù)方案雖然會使得研磨精度高，不造成原料浪費。但是該技術(shù)方案將磨盤置于硅片的上方研磨，因磨盤體積大且沉，會占據(jù)大量空間，在研磨過程中將產(chǎn)生很大的振動和噪聲，同時容易造成支撐支架的損壞，影響設(shè)備的使用。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種硅錠研磨裝置，該硅錠研磨裝置能夠節(jié)省設(shè)備占用的空間和材料損耗，并且能夠減少在研磨過程中產(chǎn)生的振動和噪聲，操作簡單，研磨效果好。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]—種硅錠研磨裝置，包括重力調(diào)節(jié)裝置、硅錠固定裝置、導(dǎo)輪架和研磨盤構(gòu)成；所述重力調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于硅錠固定裝置的上方，所述導(dǎo)輪架設(shè)置于硅錠固定裝置的邊緣位置，所述研磨盤設(shè)置于硅錠固定裝置的下方。
[0007]其中，所述重力調(diào)節(jié)裝置為一壓塊。
[0008]其中，所述硅錠固定裝置為一圓形底板，所述硅錠固定裝置中部設(shè)置有一方形通孔，所述方形通孔的四周分別設(shè)置有擋板，所述硅錠固定裝置上表面上設(shè)置有螺孔，所述擋板為立式L型板，在其水平面上設(shè)置有一第一腰形孔，螺釘穿過所述螺孔和第一腰形孔以固定住擋板，從而將硅錠固定在硅錠固定裝置的中間位置。
[0009]其中，所述導(dǎo)輪架包括固定板和兩導(dǎo)輪，所述固定板為一直角三角形板，所述直角三角形板的斜邊為內(nèi)凹弧形邊，所述兩個導(dǎo)輪軸向分別固定在弧形邊兩端，在所述固定板上靠近直角的位置設(shè)置有一第二腰形孔，所述固定板可通過第二腰形孔調(diào)節(jié)與硅錠固定裝置間距離。
[0010]其中，所述導(dǎo)輪架的數(shù)量為三個。
[0011]其中，所述研磨盤為一圓形磨盤，所述研磨盤上設(shè)置有縱橫交錯的槽。
[0012]本實用新型具有如下有益效果:
[0013]1、本實用新型成本低、安裝簡便、使用簡單、易操作；
[0014]2、本實用新型的導(dǎo)輪架可以根據(jù)需要在研磨盤圓周上設(shè)置若干個，能夠更好地起到固定效果，以至于研磨時不會承受過大的磨削力而導(dǎo)致硅錠表面破碎；
[0015]3、本實用新型當(dāng)需要增加研磨速度時，可通過重力調(diào)節(jié)裝置在硅錠上調(diào)節(jié)來實現(xiàn)，從而使硅錠和研磨盤達到最佳貼合狀態(tài)，提高研磨效率；
[0016]4、本實用新型研磨盤設(shè)置在下方，能夠節(jié)省設(shè)備占用的空間和材料損耗，并且能夠減少在研磨過程中產(chǎn)生的振動和噪聲，提高研磨質(zhì)量。
【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)一種單晶硅片研磨機的研磨盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2是本實用新型娃錠研磨裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3是本實用新型硅錠研磨裝置的硅錠固定裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4是本實用新型娃錠研磨裝置的導(dǎo)輪架結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖中附圖標(biāo)記表示為:
[0022]1-重力調(diào)節(jié)裝置、2-硅錠、3-硅錠固定裝置、31-方形通孔、32-擋板、321-第一腰形孔、4-導(dǎo)輪架、41-固定板、42-導(dǎo)輪、43-第二腰形孔、5-研磨盤、6-基盤、7-球墨鑄鐵研磨層、8-底盤、9-動力輸出設(shè)備。
具體實施例
[0023]下面結(jié)合附圖和具體實施例來對本實用新型進行詳細的說明。
[0024]參見圖1、圖2、圖3，一種硅錠研磨裝置，包括重力調(diào)節(jié)裝置1、硅錠固定裝置3、導(dǎo)輪架4和研磨盤5構(gòu)成;所述重力調(diào)節(jié)裝置I設(shè)置于硅錠固定裝置3的上方，所述導(dǎo)輪架4設(shè)置于硅錠固定裝置3的邊緣位置，所述研磨盤5設(shè)置于硅錠固定裝置3的下方。
[0025]所述重力調(diào)節(jié)裝置I為一壓塊;所述硅錠固定裝置3為一圓形底板，所述硅錠固定裝置3中部設(shè)置有一方形通孔31，所述方形通孔31的四周分別設(shè)置有擋板32，所述硅錠固定裝置3上表面上設(shè)置有螺孔，所述擋板32為立式L型板，在其水平面上設(shè)置有一第一腰形孔321，當(dāng)不同規(guī)格的硅錠2放入方形通孔31時，可通過調(diào)節(jié)擋板32，使用螺釘穿過所述螺孔和第一腰形孔321以固定住擋板32，從而將硅錠2固定在硅錠固定裝置3的中間位置，再向硅錠2上方放置所述壓塊;所述導(dǎo)輪架4包括固定板41和兩導(dǎo)輪42，所述固定板41為一直角三角形板，所述直角三角形板的斜邊為內(nèi)凹弧形邊，所述兩個導(dǎo)輪42軸向分別固定在弧形邊兩端，在所述固定板41上靠近直角的位置設(shè)置有一第二腰形孔43，所述固定板41可通過第二腰形孔43調(diào)節(jié)與硅錠固定裝置3間距離，所述導(dǎo)輪架4的數(shù)量優(yōu)選為三個;所述研磨盤5為一圓形磨盤，所述研磨盤5上設(shè)置有縱橫交錯的槽。
[0026]本實用新型的工作原理:當(dāng)研磨盤5按一個方向轉(zhuǎn)動后，會帶動娃錠固定裝置3—起轉(zhuǎn)，硅錠固定裝置3在遇到導(dǎo)輪架4的導(dǎo)輪42后會固定在兩導(dǎo)輪42之間，同時由于離心力的作用，硅錠固定裝置3會通過導(dǎo)輪42轉(zhuǎn)動起來。硅錠2被固定在硅錠固定裝置3中間并隨硅錠固定裝置3—起轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)研磨。
[0027]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種硅錠研磨裝置，其特征在于:包括重力調(diào)節(jié)裝置(1)、硅錠固定裝置(3)、導(dǎo)輪架(4)和研磨盤(5)構(gòu)成;所述重力調(diào)節(jié)裝置(I)設(shè)置于硅錠固定裝置(3)的上方，所述導(dǎo)輪架(4)設(shè)置于硅錠固定裝置(3)的邊緣位置，所述研磨盤(5)設(shè)置于硅錠固定裝置(3)的下方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅錠研磨裝置，其特征在于:所述重力調(diào)節(jié)裝置(I)為一壓塊。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅錠研磨裝置，其特征在于:所述硅錠固定裝置(3)為一圓形底板，所述硅錠固定裝置(3)中部設(shè)置有一方形通孔(31)，所述方形通孔(31)的四周分別設(shè)置有擋板(32)，所述硅錠固定裝置(3)上表面上設(shè)置有螺孔，所述擋板(32)為立式L型板，在其水平面上設(shè)置有一第一腰形孔(321)，螺釘穿過所述螺孔和第一腰形孔(321)以固定住擋板(32)，從而將硅錠(2)固定在硅錠固定裝置(3)的中間位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅錠研磨裝置，其特征在于:所述導(dǎo)輪架(4)包括固定板(41)和兩導(dǎo)輪(42)，所述固定板(41)為一直角三角形板，所述直角三角形板的斜邊為內(nèi)凹弧形邊，所述兩個導(dǎo)輪(42)軸向分別固定在弧形邊兩端，在所述固定板(41)上靠近直角的位置設(shè)置有一第二腰形孔(43)，所述固定板(41)可通過第二腰形孔(43)調(diào)節(jié)與硅錠固定裝置(3)間距離。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅錠研磨裝置，其特征在于:所述導(dǎo)輪架(4)的數(shù)量為三個。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅錠研磨裝置，其特征在于:所述研磨盤(5)為一圓形磨盤，所述研磨盤(5)上設(shè)置有縱橫交錯的槽。
【專利摘要】本實用新型涉及一種研磨裝置，具體涉及一種硅錠研磨裝置，屬于機械技術(shù)領(lǐng)域。一種硅錠研磨裝置，包括重力調(diào)節(jié)裝置、硅錠固定裝置、導(dǎo)輪架和研磨盤構(gòu)成；所述重力調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于硅錠固定裝置的上方，所述導(dǎo)輪架設(shè)置于硅錠固定裝置的邊緣位置，所述研磨盤設(shè)置于硅錠固定裝置的下方。該硅錠研磨裝置能夠節(jié)省設(shè)備占用的空間和材料損耗，并且能夠減少在研磨過程中產(chǎn)生的振動和噪聲，操作簡單，研磨效果好。
【IPC分類】B24B37/34, B24B37/10, B24B37/30, B24B37/32
【公開號】CN205271692
【申請?zhí)枴緾N201521124662
【發(fā)明人】陳欽忠, 鄧全清
【申請人】福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2015年12月31日