拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有技術(shù)存在著穩(wěn)定性差的問(wèn)題。本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)包括吊板、水冷壓板、定盤支柱和進(jìn)水組件，上述水冷壓板用于與上盤密封連接，上述的吊板與水冷壓板平行設(shè)置，上述定盤支柱的兩端分別固連在吊板和水冷壓板上，所述的進(jìn)水組件上具有連接部一和連接部二，所述連接部一和連接部二軸向固連且能周向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述連接部一與連接部二之間具有能將水導(dǎo)入水冷壓板與上盤之間的間隙處。本機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性高。
【專利說(shuō)明】
拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]雙面拋光機(jī)在工業(yè)拋光作業(yè)中能起到良好的拋光效果。但是，有些材質(zhì)的工件需要長(zhǎng)時(shí)間的拋光才能達(dá)到表面度要求?，F(xiàn)有的拋光機(jī)遇到這一情況就會(huì)產(chǎn)生致命的問(wèn)題，就是隨著拋光時(shí)間的延長(zhǎng)，拋光機(jī)自身的溫度也會(huì)升高。
[0003]這樣就會(huì)造成拋光機(jī)拋光盤變形，影響拋光精度，導(dǎo)致拋光產(chǎn)品達(dá)不到拋光要求。
[0004]中國(guó)專利其公開(kāi)號(hào)CN204094637U提供了一種用于給下拋光盤降溫的晶片拋光機(jī)中下拋光盤的冷卻裝置，包括:冷卻盤，冷卻盤的中央開(kāi)設(shè)有進(jìn)水孔和出水孔，冷卻盤的背面上設(shè)置有與進(jìn)水孔相通的進(jìn)水管和與出水孔相通的出水管，冷卻盤的冷卻面上由外而內(nèi)依次設(shè)置有一圈周向布置的安裝通孔和第一環(huán)形密封槽，冷卻盤的冷卻面上在第一環(huán)形密封槽的里側(cè)設(shè)置有一對(duì)迂回的冷卻槽、以及一對(duì)將相應(yīng)冷卻槽的外端與出水孔相連的連接槽，冷卻槽的里端與進(jìn)水孔相連通;進(jìn)水管套設(shè)在出水管中，出水孔與出水管中的出水通道相連通，進(jìn)水管的相應(yīng)端密封設(shè)置在所述的進(jìn)水孔中，出水管的相應(yīng)端通過(guò)安裝法蘭密封固定在冷卻盤的背面上。本冷卻裝置尤其適用于冷卻拋光機(jī)中的下拋光盤。
[0005]可以看出，上述裝置結(jié)構(gòu)過(guò)于復(fù)雜。
[0006]現(xiàn)有的其它裝置也都存在著類似的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題，提供一種能有效提高拋光機(jī)穩(wěn)定性的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)。
[0008]本實(shí)用新型的目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0009]—種拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括吊板、水冷壓板、定盤支柱和進(jìn)水組件，上述水冷壓板用于與上盤密封連接，上述的吊板與水冷壓板平行設(shè)置，上述定盤支柱的兩端分別固連在吊板和水冷壓板上，所述的進(jìn)水組件上具有連接部一和連接部二，所述連接部一和連接部二軸向固連且能周向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述連接部一與連接部二之間具有能將水導(dǎo)入水冷壓板與上盤之間的間隙處。
[0010]在進(jìn)水組件與吊板之間具有軸承，拋光機(jī)工作過(guò)程中帶動(dòng)水冷壓板轉(zhuǎn)動(dòng)，水冷壓板與拋光機(jī)中的上盤是密封連接的在兩者之間具有供水進(jìn)入的間隙。
[0011 ]水冷壓板隨著上盤一同轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，冷卻水依次由進(jìn)水組件的連接部一、連接部二進(jìn)入上述的間隙處。冷卻水的進(jìn)入降低了上盤的溫度，有效的起到冷卻作用。
[0012]由于連接部一與連接部二是軸向固定的，因此，連接部二能隨著水冷壓板移動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，而連接部一保持固定不動(dòng)。
[0013]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述定盤支柱的數(shù)量為若干根且均布在吊板和水冷壓板之間。
[0014]多根定盤支柱能將吊板與水冷壓板牢固的連接在一起。
[0015]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述連接部一包括呈圓柱狀的吊耳，所述吊耳的上部具有上擋沿，所述吊耳下部具有下?lián)跹?，所述吊板上具有貫穿的連接孔，上述吊耳位于連接孔處且上擋沿抵靠在吊板的上部，所述下?lián)跹氐挚吭诘醵虏刻帯?br>[0016]上擋沿和下?lián)跹胤謩e抵靠在吊板的上部和下部，這樣的結(jié)構(gòu)能將吊耳牢固的連接在吊板上。
[0017]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述下?lián)跹嘏c吊耳為分體式結(jié)構(gòu)且兩者通過(guò)緊固件相聯(lián)。
[0018]分體式結(jié)構(gòu)的下?lián)跹乇阌谡麄€(gè)機(jī)構(gòu)組裝。
[0019]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述連接部二包括呈柱狀的接頭，所述接頭上端軸向固連在吊耳下部。
[0020]呈圓柱狀的接頭能穩(wěn)定的與吊耳下部軸向固連。
[0021]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述的接頭下端處側(cè)部具有出水接口，所述接頭上沿其軸向設(shè)置有進(jìn)水通道，上述下?lián)跹厣暇哂羞M(jìn)水接口，上述進(jìn)水通道的兩端分別與出水接口和進(jìn)水接口相聯(lián)通。
[0022]進(jìn)水接口用于連接外部水源，出水接口用于與水冷壓板相聯(lián)。進(jìn)水通道用于將上述的進(jìn)水接口與出水接口相聯(lián)通。
[0023]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述下?lián)跹嘏c接頭上端之間具有密封圈。
[0024]通過(guò)密封圈能有效提高下?lián)跹嘏c接頭之間的密封性。
[0025]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，還包括進(jìn)水管，上述進(jìn)水管上端伸出吊耳用于與水源相聯(lián)，所述進(jìn)水管下端與進(jìn)水接口相聯(lián)。
[0026]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，還包括出水管，上述出水管上端與出水接口相聯(lián)，所述水冷壓板上具有入水孔，上述出水管下端與入水孔相聯(lián)。
[0027]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述進(jìn)水管和出水管均為軟管。
[0028]軟管材質(zhì)的進(jìn)水管和出水管能提高其適用性。
[0029]在上述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中，所述上擋沿具有定位孔，上述的進(jìn)水管穿設(shè)在定位孔處。
[0030]進(jìn)水管穿設(shè)在定位孔處，從而能使進(jìn)水管與上擋沿能穩(wěn)定連接在一起，對(duì)進(jìn)水管起到定位作用。
[0031]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)由于在拋光作業(yè)過(guò)程中能提供給上盤足夠的制冷水，因此，它能有效的降低本拋光機(jī)工作時(shí)的溫度，提高穩(wěn)定性以及拋光精度。
[0032]同時(shí)，本機(jī)構(gòu)創(chuàng)造性的將進(jìn)水組件分為連接部一和連接部二，使得水冷壓板隨著轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，制冷水也能穩(wěn)定的進(jìn)入，其穩(wěn)定性比較高，具有很高的實(shí)用價(jià)值。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0034]圖2是本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]圖3是本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)中進(jìn)水組件處的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0036]圖中，1、吊板;2、水冷壓板;2a、入水孔;3、定盤支柱;4、上盤;5、吊耳;5a、上擋沿；5al、定位孔;5b、下?lián)跹?5b 1、進(jìn)水接口； 6、接頭;6a、出水接口 ； 7、進(jìn)水通道;8、進(jìn)水管;9、
出水管。
【具體實(shí)施方式】
[0037]如圖1和圖2和圖3所示，本拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)包括吊板1、水冷壓板2、定盤支柱3和進(jìn)水組件，上述水冷壓板2用于與上盤4密封連接，上述的吊板I與水冷壓板2平行設(shè)置，上述定盤支柱3的兩端分別固連在吊板I和水冷壓板2上，所述的進(jìn)水組件上具有連接部一和連接部二，所述連接部一和連接部二軸向固連且能周向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述連接部一與連接部二之間具有能將水導(dǎo)入水冷壓板2與上盤之間的間隙處。
[0038]所述定盤支柱3的數(shù)量為若干根且均布在吊板I和水冷壓板2之間。
[0039]所述連接部一包括呈圓柱狀的吊耳5，所述吊耳5的上部具有上擋沿5a，所述吊耳5下部具有下?lián)跹?b，所述吊板I上具有貫穿的連接孔，上述吊耳5位于連接孔處且上擋沿5a抵靠在吊板I的上部，所述下?lián)跹?b抵靠在吊耳5下部處。
[0040]所述下?lián)跹?b與吊耳5為分體式結(jié)構(gòu)且兩者通過(guò)緊固件相聯(lián)。
[0041]所述連接部二包括呈柱狀的接頭6，所述接頭6上端軸向固連在吊耳5下部。
[0042]所述的接頭6下端處側(cè)部具有出水接口6a，所述接頭6上沿其軸向設(shè)置有進(jìn)水通道7，上述下?lián)跹?b上具有進(jìn)水接口 5b I，上述進(jìn)水通道7的兩端分別與出水接口 6a和進(jìn)水接P 5b I相聯(lián)通。
[0043]所述下?lián)跹?b與接頭6上端之間具有密封圈。
[0044]還包括進(jìn)水管8，上述進(jìn)水管8上端伸出吊耳5用于與水源相聯(lián)，所述進(jìn)水管8下端與進(jìn)水接口 5b I相聯(lián)。
[0045]還包括出水管9，上述出水管9上端與出水接口 6a相聯(lián)，所述水冷壓板2上具有入水孔2a，上述出水管9下端與入水孔2a相聯(lián)。
[0046]所述進(jìn)水管8和出水管9均為軟管。
[0047]所述上擋沿5a具有定位孔5al，上述的進(jìn)水管8穿設(shè)在定位孔5al處。
[0048]在進(jìn)水組件與吊板I之間具有軸承，拋光機(jī)工作過(guò)程中帶動(dòng)水冷壓板2轉(zhuǎn)動(dòng)，水冷壓板2與拋光機(jī)中的上盤4是密封連接的在兩者之間具有供水進(jìn)入的間隙。
[0049]水冷壓板2隨著上盤4一同轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，冷卻水依次由進(jìn)水組件的連接部一、連接部二進(jìn)入上述的間隙處。冷卻水的進(jìn)入降低了上盤4的溫度，有效的起到冷卻作用。
[0050]由于連接部一與連接部二是軸向固定的，因此，連接部二能隨著水冷壓板2移動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，而連接部一保持固定不動(dòng)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括吊板、水冷壓板、定盤支柱和進(jìn)水組件，上述水冷壓板用于與上盤密封連接，上述的吊板與水冷壓板平行設(shè)置，上述定盤支柱的兩端分別固連在吊板和水冷壓板上，所述的進(jìn)水組件上具有連接部一和連接部二，所述連接部一和連接部二軸向固連且能周向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述連接部一與連接部二之間具有能將水導(dǎo)入水冷壓板與上盤之間的間隙處。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定盤支柱的數(shù)量為若干根且均布在吊板和水冷壓板之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接部一包括呈圓柱狀的吊耳，所述吊耳的上部具有上擋沿，所述吊耳下部具有下?lián)跹?，所述吊板上具有貫穿的連接孔，上述吊耳位于連接孔處且上擋沿抵靠在吊板的上部，所述下?lián)跹氐挚吭诘醵虏刻帯?.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下?lián)跹嘏c吊耳為分體式結(jié)構(gòu)且兩者通過(guò)緊固件相聯(lián)。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接部二包括呈柱狀的接頭，所述接頭上端軸向固連在吊耳下部。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述的接頭下端處側(cè)部具有出水接口，所述接頭上沿其軸向設(shè)置有進(jìn)水通道，上述下?lián)跹厣暇哂羞M(jìn)水接口，上述進(jìn)水通道的兩端分別與出水接口和進(jìn)水接口相聯(lián)通。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下?lián)跹嘏c接頭上端之間具有密封圈。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括進(jìn)水管，上述進(jìn)水管上端伸出吊耳用于與水源相聯(lián)，所述進(jìn)水管下端與進(jìn)水接口相聯(lián)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括出水管，上述出水管上端與出水接口相聯(lián)，所述水冷壓板上具有入水孔，上述出水管下端與入水孔相聯(lián)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的拋光研磨機(jī)的上盤水冷機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)水管和出水管均為軟管。
【文檔編號(hào)】B24B55/02GK205415324SQ201620216781
【公開(kāi)日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2016年3月21日
【發(fā)明人】鄭勇, 魏永利, 周萍, 高敬帥
【申請(qǐng)人】浙江森永光電設(shè)備有限公司