一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，包括鍍膜機(jī)真空室殼體，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的底端連接有底座，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的內(nèi)腔中設(shè)有一空腔，該空腔中安裝有控制器和溫度傳感器，且溫度傳感器電連接控制器，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的內(nèi)腔中由下至上分別設(shè)有第一加熱器、第二加熱器和第三加熱器。該鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置通過(guò)在每個(gè)第一加熱器、第二加熱器、第三加熱器和轉(zhuǎn)架上都安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置，使得控制器能自動(dòng)控制加熱器的加熱效率，從而對(duì)工件的不同溫度進(jìn)行調(diào)控。
【專利說(shuō)明】
一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及真空活塞環(huán)鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]溫度對(duì)薄膜厚度的影響，隨著控制溫度的增加，膜層厚度呈緩慢上升趨勢(shì)，溫度對(duì)膜以及基材結(jié)合力的影響，高能離子對(duì)表面的轟擊造成表層區(qū)的高密度缺陷，如空位、間隙原子、位錯(cuò)等，從這個(gè)意義上講，溫度越高，離子轟擊能量越大，更有利于獲得高的結(jié)合力，并且溫度太低，膜層的厚度減小且致密性差，溫度對(duì)薄膜硬度的影響，涂層的硬度與薄膜生長(zhǎng)的組織形態(tài)有密切關(guān)系，原子排列更加規(guī)則、孔隙減小和晶界強(qiáng)化等原因都可以提高涂層的表面硬度，沉積溫度過(guò)低，轟擊能量較低，涂層形核不充分，而溫度過(guò)高則晶粒粗大，只有溫度適宜才能獲得致密柱狀晶并進(jìn)而獲得高的硬度，溫度對(duì)涂層的成分、組織與形貌的影響，過(guò)渡層的形成表明，在離子轟擊下，增強(qiáng)了擴(kuò)散行為，高能離子的轟擊造成表層區(qū)的高密度晶體缺陷如空位、間隙原子等，在汽車活塞環(huán)行業(yè)里，要想保障鍍出優(yōu)質(zhì)的活塞環(huán)膜層，必然要有一種具有高精度、高均勻性溫度自動(dòng)控制功能的真空鍍膜機(jī)，為此，我們提出一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，以解決上述【背景技術(shù)】中提出的問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，包括鍍膜機(jī)真空室殼體，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的底端連接有底座，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的內(nèi)腔中設(shè)有一空腔，該空腔中安裝有控制器和溫度傳感器，且溫度傳感器電連接控制器，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的內(nèi)腔中由下至上分別設(shè)有第一加熱器、第二加熱器和第三加熱器，所述第一加熱器、第二加熱器和第三加熱器分別電連接控制器，且第一加熱器、第二加熱器和第三加熱器的上側(cè)均設(shè)有轉(zhuǎn)架，所述第一加熱器、第二加熱器、第三加熱器和轉(zhuǎn)架的上表面均安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置，所述熱偶溫度檢測(cè)裝置電連接控制器。
[0005]優(yōu)選的，所述鍍膜機(jī)真空室殼體的空腔內(nèi)安裝有功率調(diào)節(jié)器，功率調(diào)節(jié)器電連接控制器。
[0006]優(yōu)選的，所述功率調(diào)節(jié)器的輸入端的直流電流為A毫安，其中4< A < 20。
[0007]優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)架由伺服電機(jī)提供轉(zhuǎn)動(dòng)力。
[0008]優(yōu)選的，所述第一加熱器、第二加熱器和第三加熱器加熱時(shí)的溫度為T攝氏度，其
ψ0<Τ< 600ο
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:該鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置通過(guò)第一加熱器、第二加熱器、第三加熱器和轉(zhuǎn)架的相互結(jié)合的方式，使得該裝置內(nèi)上、中、下的溫度均勻;通過(guò)在每個(gè)第一加熱器、第二加熱器、第三加熱器和轉(zhuǎn)架上都安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置，使得各部位的溫度都能在熱偶溫度檢測(cè)裝置的檢測(cè)下將信號(hào)傳輸給溫度傳感器，通過(guò)設(shè)定溫度傳感器的溫度范圍，從而將得到的溫度數(shù)據(jù)傳輸給控制器，使得控制器能自動(dòng)控制加熱器的加熱效率，從而對(duì)工件的不同溫度進(jìn)行調(diào)控。
【附圖說(shuō)明】
[00?0]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)不意圖。
[0011]圖中:I鍍膜機(jī)真空室殼體、2底座、3第一加熱器、4第二加熱器、5第三加熱器、6熱偶溫度檢測(cè)裝置、7控制器、8轉(zhuǎn)架、9溫度傳感器、10功率調(diào)節(jié)器。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0013]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，包括鍍膜機(jī)真空室殼體I，所述鍍膜機(jī)真空室殼體I的底端連接有底座2，所述鍍膜機(jī)真空室殼體I的內(nèi)腔中設(shè)有一空腔，該空腔中安裝有控制器7和溫度傳感器9，且溫度傳感器9電連接控制器7，所述溫度傳感器9的溫度設(shè)定范圍為0-800攝氏度，所述鍍膜機(jī)真空室殼體I的空腔內(nèi)還安裝有功率調(diào)節(jié)器10，功率調(diào)節(jié)器10電連接控制器7，所述功率調(diào)節(jié)器10的輸入端的直流電流為A毫安，其中4 SAS 20，所述鍍膜機(jī)真空室殼體I的內(nèi)腔中由下至上分別設(shè)有第一加熱器3、第二加熱器4和第三加熱器5，所述第一加熱器3、第二加熱器4和第三加熱器5表面溫度控制誤差為5攝氏度，所述第一加熱器3、第二加熱器4和第三加熱器5分別電連接控制器7，所述第一加熱器3、第二加熱器4和第三加熱器5加熱時(shí)的溫度為T攝氏度，其ψ0<Τ< 600,且第一加熱器3、第二加熱器4和第三加熱器5的上側(cè)均設(shè)有轉(zhuǎn)架8，所述轉(zhuǎn)架8由伺服電機(jī)提供轉(zhuǎn)動(dòng)力，該鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置通過(guò)第一加熱器3、第二加熱器
4、第三加熱器5和轉(zhuǎn)架8的相互結(jié)合的方式，使得該裝置內(nèi)上、中、下的溫度均勻，所述第一加熱器3、第二加熱器4、第三加熱器5和轉(zhuǎn)架8的上表面均安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置6，所述熱偶溫度檢測(cè)裝置6電連接控制器7，通過(guò)在每個(gè)第一加熱器3、第二加熱器4、第三加熱器5和轉(zhuǎn)架8上都安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置6，使得各部位的溫度都能在熱偶溫度檢測(cè)裝置6的檢測(cè)下將信號(hào)傳輸給溫度傳感器9，通過(guò)設(shè)定溫度傳感器9的溫度范圍，從而將得到的溫度數(shù)據(jù)傳輸給控制器7，使得控制器7能自動(dòng)控制加熱器的加熱效率，從而對(duì)工件的不同溫度進(jìn)行調(diào)控。
[0014]盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，包括鍍膜機(jī)真空室殼體(I)，所述鍍膜機(jī)真空室殼體(I)的底端連接有底座(2)，其特征在于:所述鍍膜機(jī)真空室殼體(I)的內(nèi)腔中設(shè)有一空腔，該空腔中安裝有控制器(7)和溫度傳感器(9)，且溫度傳感器(9)電連接控制器(7)，所述鍍膜機(jī)真空室殼體(I)的內(nèi)腔中由下至上分別設(shè)有第一加熱器(3)、第二加熱器(4)和第三加熱器(5)，所述第一加熱器(3)、第二加熱器(4)和第三加熱器(5)分別電連接控制器(7)，且第一加熱器(3)、第二加熱器(4)和第三加熱器(5)的上側(cè)均設(shè)有轉(zhuǎn)架(8)，所述第一加熱器(3)、第二加熱器(4)、第三加熱器(5)和轉(zhuǎn)架(8)的上表面均安裝有熱偶溫度檢測(cè)裝置(6)，所述熱偶溫度檢測(cè)裝置(6)電連接控制器(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，其特征在于:所述鍍膜機(jī)真空室殼體(I)的空腔內(nèi)安裝有功率調(diào)節(jié)器(10)，功率調(diào)節(jié)器(10)電連接控制器(7)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，其特征在于:所述功率調(diào)節(jié)器(1 )的輸入端的直流電流為A毫安，其中4 < A < 20。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，其特征在于:所述轉(zhuǎn)架(8 )由伺服電機(jī)提供轉(zhuǎn)動(dòng)力。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機(jī)真空室溫度自動(dòng)控制裝置，其特征在于:所述第一加熱器(3)、第二加熱器(4)和第三加熱器(5)加熱時(shí)的溫度為T攝氏度，其中O < T < 600。
【文檔編號(hào)】C23C14/54GK205443440SQ201521109816
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2015年12月29日
【發(fā)明人】劉野, 韓登科
【申請(qǐng)人】大連維鈦克科技股份有限公司