可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,包括若干首尾可拆分連接的彎曲件,所述彎曲件組合時(shí),若干彎曲件的內(nèi)表面平滑連接且連接后內(nèi)表面的側(cè)向投影呈單向彎曲螺旋線(xiàn)。本實(shí)用新型的石英支架便于制造及清洗,可用于大面積石墨烯薄膜的制備。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種石英支架,尤其是涉及一種可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯目前的制備方法主要有:(I)微機(jī)械剝離法。這種方法只能生產(chǎn)數(shù)量極少的小面積石墨烯。(2)外延法。這種方法的主要缺點(diǎn)是成本較高且因硅片較小的尺寸限制了其大規(guī)模應(yīng)用。(3)氧化還原法。該方法制備的石墨烯缺陷較多。(4)化學(xué)氣相沉積法?;瘜W(xué)氣相沉積法是將一種或多種氣態(tài)物質(zhì)導(dǎo)入進(jìn)反應(yīng)室中發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并在基底沉積出薄膜。該方法能夠制備大面積的高質(zhì)量石墨烯,而且容易轉(zhuǎn)移到各種目標(biāo)基底,因此成為工業(yè)生產(chǎn)中的典型制備方法。
[0003]在化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)石墨烯的過(guò)程中,通常采用銅鎳等金屬作為襯底,襯底貼附于石英支架內(nèi)部。以氣體提供碳源,在高溫爐內(nèi)分解出碳原子并在金屬襯底上沉積并逐漸生長(zhǎng)成連續(xù)的石墨烯薄膜。目前生產(chǎn)中使用的石英支架的一般程舟狀,金屬襯底置于石英舟底部,然而受到設(shè)備加熱空間的限制,通常制備的石墨烯薄膜面積有限?,F(xiàn)有技術(shù)中,申請(qǐng)?zhí)枮?01110442121.8的專(zhuān)利“一種生長(zhǎng)石墨烯的支架及方法”,采用卷繞石英結(jié)構(gòu)突破了石墨烯生長(zhǎng)尺寸的限制,但其加工困難,精度難以保證;而申請(qǐng)?zhí)枮?01420421678.2的專(zhuān)利“一種新型石英舟”提供了一種可拆裝的新型石英舟,解決了現(xiàn)有石英舟放置在擴(kuò)散爐中不穩(wěn)定的問(wèn)題,但石英舟兩側(cè)壁皇的阻擋作用會(huì)影響氣流與金屬襯底的均勻接觸,同時(shí)其通過(guò)增加金屬襯底的數(shù)量來(lái)擴(kuò)展產(chǎn)能,但是單片金屬襯底的尺寸也受到石英舟凹槽的限制。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提供了一種可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,解決制備石墨烯薄膜時(shí)受到石英舟舟體面積及加熱空間限制,難以制得大面積石墨烯薄膜的問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型技術(shù)方案如下:一種可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,包括若干首尾可拆分連接的彎曲件,所述彎曲件組合時(shí),若干彎曲件的內(nèi)表面平滑連接且連接后內(nèi)表面的側(cè)向投影呈單向彎曲螺旋線(xiàn)。
[0006]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例中,所述相鄰的彎曲件的連接端卡接。
[0007]優(yōu)選的,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有相匹配的T型槽和T型頭。
[0008]優(yōu)選的,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有相匹配的燕尾槽和燕尾榫。
[0009]在本實(shí)用新型的另一個(gè)具體實(shí)施例中,所述相鄰的彎曲件的連接端采用銷(xiāo)釘連接。
[0010]優(yōu)選的,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有沿連接端長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)的相匹配槽和凸臺(tái),所述槽的兩端設(shè)有通孔,所述凸臺(tái)的長(zhǎng)度方向設(shè)有銷(xiāo)孔,所述凸臺(tái)嵌入所述槽后以銷(xiāo)釘插入所述通孔和銷(xiāo)孔。
[0011]優(yōu)選的,所述連接后內(nèi)表面的側(cè)向投影呈阿基米德螺旋線(xiàn)。
[0012]進(jìn)一步的,包括用于承載所述彎曲件的底座。
[0013]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)在于:利用本支架,可以在有限的加熱設(shè)備空間內(nèi)增加單片石墨烯薄膜制備面積,提高生產(chǎn)效率;支架本身可拆分,一方面便于支架本身的制造,利于提高組裝后內(nèi)表面連接精度使其平滑,另一方面,石墨烯薄膜制備后,通過(guò)拆解支架可以更為方便的取出石墨烯薄膜,也便于支架本身的清洗,使用成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖2為相鄰彎曲件以燕尾槽和燕尾榫形式卡接示意圖;
[0016]圖3為相鄰彎曲件采用銷(xiāo)釘連接示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明,但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
[0018]如圖1所示,本實(shí)施例所涉及可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架包括四個(gè)彎曲件I和底座2,四個(gè)彎曲件I首尾連接構(gòu)成一個(gè)內(nèi)表面3平滑的單向彎曲的螺旋通道,內(nèi)表面3的側(cè)向投影呈阿基米德螺旋線(xiàn)。請(qǐng)結(jié)合圖2,本實(shí)施例所采用的彎曲件I與彎曲件I的連接端連接方式為卡接,具體的,相鄰的兩個(gè)彎曲件I中的一個(gè)彎曲件I的連接端沿其長(zhǎng)度方向,即側(cè)向設(shè)置了燕尾槽4,與其對(duì)應(yīng)的另一個(gè)彎曲件I的連接端則設(shè)置了與燕尾槽匹配的燕尾榫5。將燕尾榫5從側(cè)向推入燕尾槽4即完成組裝,四個(gè)彎曲件I組裝完成后放置在底座2上以平穩(wěn)置于加熱設(shè)備中??梢韵氲降氖牵瑥澢蘒的個(gè)數(shù)可以根據(jù)實(shí)際需要增減,而獨(dú)立的底座2也并非必須的,將位于螺旋線(xiàn)外圈的彎曲件I的外表面6加工為平面也可以達(dá)到平穩(wěn)支撐整個(gè)可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架的目的。
[0019]上述實(shí)施例為相鄰的彎曲件I的連接端進(jìn)行卡接的一種方式,但不限于上述實(shí)施例所使用的方式,例如將相匹配的燕尾槽4和燕尾榫5更改為T(mén)型槽和T型頭,安裝方式與上述實(shí)施例一樣,也可達(dá)到穩(wěn)固拼合連接各彎曲件I的目的。
[0020]結(jié)合圖3所示,另一實(shí)施例所涉及的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架包括四個(gè)彎曲件和底座,四個(gè)彎曲件首尾連接構(gòu)成一個(gè)內(nèi)表面平滑的單向彎曲的螺旋通道,內(nèi)表面的側(cè)向投影呈阿基米德螺旋線(xiàn),彎曲件與彎曲件的連接端連接方式為卡接。具體的,相鄰的兩個(gè)彎曲件I中的一個(gè)彎曲件I的連接端沿連接端長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)了矩形槽7,另一彎曲件I的連接端設(shè)置了與矩形槽7匹配的矩形凸臺(tái)8。矩形槽7并非貫穿整個(gè)連接端的長(zhǎng)度方向,在矩形槽7的兩端設(shè)至通孔9,矩形凸臺(tái)8的長(zhǎng)度方向設(shè)至銷(xiāo)孔10,矩形凸臺(tái)8嵌入矩形槽7后由銷(xiāo)釘11插入通孔9和銷(xiāo)孔10完成連接。同樣地,四個(gè)彎曲件組裝完成后放置在底座上以平穩(wěn)置于加熱設(shè)備中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,包括若干首尾可拆分連接的彎曲件,所述彎曲件組合時(shí),若干彎曲件的內(nèi)表面平滑連接且連接后內(nèi)表面的側(cè)向投影呈單向彎曲螺旋線(xiàn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述相鄰的彎曲件的連接端卡接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有相匹配的T型槽和T型頭。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有相匹配的燕尾槽和燕尾榫。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述相鄰的彎曲件的連接端采用銷(xiāo)釘連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述相鄰的彎曲件的連接端分別設(shè)有沿連接端長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)的相匹配槽和凸臺(tái),所述槽的兩端設(shè)有通孔,所述凸臺(tái)的長(zhǎng)度方向設(shè)有銷(xiāo)孔,所述凸臺(tái)嵌入所述槽后以銷(xiāo)釘插入所述通孔和銷(xiāo)孔。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,所述連接后內(nèi)表面的側(cè)向投影呈阿基米德螺旋線(xiàn)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可拆分石墨烯生長(zhǎng)用石英支架,其特征在于,包括用于承載所述彎曲件的底座。
【文檔編號(hào)】C23C16/26GK205473970SQ201620237748
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年3月28日
【發(fā)明人】況亞偉, 楊希峰, 邵振廣, 劉玉申, 洪學(xué)鹍, 張德寶, 馮金福
【申請(qǐng)人】常熟理工學(xué)院