半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)。以檢測(cè)向加熱器發(fā)熱線圈及接地配線流入的RF信號(hào)為基準(zhǔn)，在診斷部與正常信號(hào)范圍進(jìn)行比較，并判斷加熱器是否異常，選擇性由RF濾波器傳送來的累積誤差數(shù)據(jù)和設(shè)定的誤差范圍信號(hào)進(jìn)行比較，也可判斷加熱器是否異常。加熱器驅(qū)動(dòng)電壓是由電源供應(yīng)部通過RF濾波器，施加給加熱器上可供應(yīng)穩(wěn)定的電壓。
【專利說明】
半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
:
[0001]本實(shí)用新型屬于加熱器監(jiān)控領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
:
[0002]隨著半導(dǎo)體設(shè)備越來越精細(xì)化，在半導(dǎo)體薄膜的生產(chǎn)工藝上，要求高效率的同時(shí)也要保證高質(zhì)量。半導(dǎo)體用沉積設(shè)備CVD(Chemical Vapor Deposit1n)時(shí)，對(duì)反應(yīng)影響最大的參數(shù)是原料氣、溫度、RF電力、壓力等，尤其是溫度在薄膜沉積設(shè)備中，能左右分辨能力的核心要素。為此，在chamber下部安裝加熱器能調(diào)節(jié)溫度。半導(dǎo)體用沉積設(shè)備，在chamber的上部施加13.56MHz和370KHz的RF電壓。加熱系統(tǒng)裝在chamber下部，對(duì)與尺連接的加熱器(發(fā)熱)線圈施加電源。
[0003]因?yàn)榧訜徇^程中產(chǎn)生副產(chǎn)物的高負(fù)荷，導(dǎo)致加熱器開裂，或因反復(fù)受到熱沖擊而產(chǎn)生的熱負(fù)荷導(dǎo)致開裂。對(duì)此利用RF濾波器，需要對(duì)加熱器實(shí)際能承受的損害進(jìn)行監(jiān)控。
[0004]公開于該【背景技術(shù)】部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，從而克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，包括:RF供應(yīng)部、工序室、RF濾波器、電源供應(yīng)部、診斷部;所述工序室內(nèi)設(shè)置有花灑、加熱器，所述花灑與RF供應(yīng)部連接，所述加熱器內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈，所述加熱線圈與RF濾波器連接;所述RF濾波器與電源供應(yīng)部連接，所述電源供應(yīng)部通過RF濾波器為加熱器供電；所述診斷部與RF濾波器連接，所述診斷部判斷加熱器是否正常。
[0007]優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中，RF濾波器包括用于消除RF信號(hào)噪音的消音濾波器、用于將信號(hào)傳遞至診斷部的帶通濾波器，所述消音濾波器分別與加熱線圈、電源供應(yīng)部連接，所述帶通濾波器與診斷部連接，所述消音濾波器與帶通濾波器連接。
[0008]優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中，診斷部包括信號(hào)處理部、判斷部、報(bào)警器;所述信號(hào)處理部與帶通濾波器連接，用于將通過帶通濾波器的RF信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較，或累積的誤差數(shù)據(jù)和設(shè)定的容許誤差范圍進(jìn)行比較;所述判斷部與信號(hào)處理部連接，用于接收信號(hào)處理部的信號(hào)，則判斷加熱器是否異常;所述報(bào)警器與判斷部連接，用于在加熱器上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將加熱器上發(fā)生異常的信息向外界報(bào)警。
[0009]優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中，加熱器選用Al、AIN、BN材質(zhì)中的一種。
[0010]半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，包括:RF供應(yīng)部、工序室、RF濾波器、感應(yīng)電流傳感器、電源供應(yīng)部、診斷部;所述工序室內(nèi)設(shè)置有花灑、加熱器，所述花灑與RF供應(yīng)部連接，所述加熱器內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈，所述加熱線圈與RF濾波器連接;所述RF濾波器與電源供應(yīng)部連接，所述電源供應(yīng)部通過RF濾波器為加熱器供電;所述加熱器本體與感應(yīng)電流傳感器連接，所述診斷部與感應(yīng)電流傳感器連接，所述感應(yīng)電流傳感器傳輸感應(yīng)電流感知信號(hào)至判斷部，所述診斷部判斷加熱器是否正常。
[0011]優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中，診斷部包括信號(hào)處理部、判斷部、報(bào)警器;所述信號(hào)處理部與感應(yīng)電流傳感器連接，用于將通過感應(yīng)電流傳感器的感應(yīng)電流感知信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較;所述判斷部與信號(hào)處理部連接，用于接收信號(hào)處理部的信號(hào)，則判斷加熱器是否異常;所述報(bào)警器與判斷部連接，用于在加熱器上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將加熱器上發(fā)生異常的信息向外界報(bào)警。
[0012]優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中，加熱器選用Al、AIN、BN材質(zhì)中的一種。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0014]感知向加熱器流入的電流，通過判斷加熱裝置是否異常，可周期管理和更換加熱器，進(jìn)而提高設(shè)備的生產(chǎn)效率。利用積累的誤差數(shù)據(jù)，可以判斷加熱器的更換時(shí)間，按更換加熱器可以提前管理制造啟動(dòng)率，進(jìn)而提高制造流程的管理。
[0015]圖1為本實(shí)用新型半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]【附圖說明】:
[0017]圖2為圖1中RF濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為圖1中診斷部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為本實(shí)用新型半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)的動(dòng)作流程圖；
[0020]圖5為本實(shí)用新型半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)的另一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6為圖5中診斷部的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖標(biāo)記為:1-RF供應(yīng)部、2-花灑、3-工序室、10-加熱器、11-加熱器本體、12-加熱線圈、20-RF濾波器、21-消音濾波器、22-帶通濾波器、30-電源供應(yīng)部、40-診斷部、41-信號(hào)處理部、42-判斷部、43-報(bào)警器、50-感應(yīng)電流傳感器。
【具體實(shí)施方式】
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[0023]下面對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)描述，但應(yīng)當(dāng)理解本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不受【具體實(shí)施方式】的限制。
[0024]除非另有其它明確表示，否則在整個(gè)說明書和權(quán)利要求書中，術(shù)語(yǔ)“包括”或其變換如“包含”或“包括有”等等將被理解為包括所陳述的元件或組成部分，而并未排除其它元件或其它組成部分。
[0025]如圖1所示，一種半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，包括:RF供應(yīng)部1、工序室3、RF濾波器20、電源供應(yīng)部30、診斷部40;所述工序室3內(nèi)設(shè)置有花灑2、加熱器10，所述花灑2與RF供應(yīng)部I連接，加熱器本體11用鋁材質(zhì)制造，所述加熱器10內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈12，所述加熱線圈12與RF濾波器20連接;所述RF濾波器20與電源供應(yīng)部30連接，所述電源供應(yīng)30部通過RF濾波器20為加熱器10供電；所述診斷部40與RF濾波器20連接，所述診斷部40判斷加熱器10是否正常。
[0026]如圖2所示，RF濾波器20包括用于消除RF信號(hào)噪音的消音濾波器21、用于將信號(hào)傳遞至診斷部40的帶通濾波器22，所述消音濾波器21分別與加熱線圈12、電源供應(yīng)部30連接，所述帶通濾波器22與診斷部40連接，所述消音濾波器21與帶通濾波器22連接。
[0027]如圖3所示，診斷部40包括信號(hào)處理部41、判斷部42、報(bào)警器43;所述信號(hào)處理部41與帶通濾波器22連接，用于將通過帶通濾波器22的RF信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較，或累積的誤差數(shù)據(jù)和設(shè)定的容許誤差范圍進(jìn)行比較;所述判斷部42與信號(hào)處理部41連接，用于接收信號(hào)處理部41的信號(hào)，則判斷加熱器10是否異常;所述報(bào)警器43與判斷部42連接，用于在加熱器10上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將該信息向外界報(bào)警。
[0028]如圖4所示，加熱器10的加熱線圈11和向接地配線流入的實(shí)時(shí)信號(hào)(RF信號(hào))將通過RF濾波器20的帶通濾波器22，傳輸?shù)皆\斷部40的信號(hào)處理部。在信號(hào)處理部41中，由RF濾波器20傳輸來的實(shí)時(shí)信號(hào)，在比較器的判斷部42中處理為容易判斷，在信號(hào)處理部41中處理的實(shí)時(shí)信號(hào)是在判斷部42與正常信號(hào)進(jìn)行比較，該比較動(dòng)作是累積的誤差數(shù)據(jù)與設(shè)定的容許范圍內(nèi)誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行比較的動(dòng)作來可以代替。在判斷部42中進(jìn)行比較的結(jié)果，如果實(shí)時(shí)信號(hào)在正常信號(hào)范疇時(shí)，則判斷為加熱器10是在正常驅(qū)動(dòng)中，如果實(shí)時(shí)信號(hào)未在正常信號(hào)范疇時(shí)，則判斷為在加熱器10上發(fā)生異常，并且從警報(bào)器43中發(fā)出報(bào)警，提示管理人員即可便知。
[0029]如圖5所示，半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，包括:RF供應(yīng)部1、工序室3、RF濾波器20、電源供應(yīng)部30、診斷部40、感應(yīng)電流傳感器50;所述工序室3內(nèi)設(shè)置有花灑2、加熱器10，所述花灑2與RF供應(yīng)部I連接，加熱器本體11用鋁材質(zhì)制造，所述加熱器10內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈12，所述加熱線圈12與RF濾波器20連接;所述RF濾波器20與電源供應(yīng)部30連接，所述電源供應(yīng)30部通過RF濾波器20為加熱器10供電；所述加熱器本體11與感應(yīng)電流傳感器50連接，所述診斷部40與感應(yīng)電流傳感器50連接，所述感應(yīng)電流傳感器50傳輸感應(yīng)電流感知信號(hào)至判斷部40，所述診斷部40判斷加熱器10是否正常。
[0030]如圖6所示，診斷部40包括信號(hào)處理部41、判斷部42、報(bào)警器43;所述信號(hào)處理部41與感應(yīng)電流傳感器50連接，用于將通過感應(yīng)電流傳感器50的感應(yīng)電流感知信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較;所述判斷部42與信號(hào)處理部41連接，用于接收信號(hào)處理部41的信號(hào)，則判斷加熱器10是否異常;所述報(bào)警器43與判斷部42連接，用于在加熱器10上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將該信息向外界報(bào)警。
[0031]前述對(duì)本實(shí)用新型的具體示例性實(shí)施方案的描述是為了說明和例證的目的。這些描述并非想將本實(shí)用新型限定為所公開的精確形式，并且很顯然，根據(jù)上述教導(dǎo)，可以進(jìn)行很多改變和變化。對(duì)示例性實(shí)施例進(jìn)行選擇和描述的目的在于解釋本實(shí)用新型的特定原理及其實(shí)際應(yīng)用，從而使得本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)并利用本實(shí)用新型的各種不同的示例性實(shí)施方案以及各種不同的選擇和改變。本實(shí)用新型的范圍意在由權(quán)利要求書及其等同形式所限定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:包括，RF供應(yīng)部、工序室、RF濾波器、電源供應(yīng)部、診斷部;所述工序室內(nèi)設(shè)置有花灑、加熱器，所述花灑與RF供應(yīng)部連接，所述加熱器內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈，所述加熱線圈與RF濾波器連接;所述RF濾波器與電源供應(yīng)部連接，所述電源供應(yīng)部通過RF濾波器為加熱器供電；所述診斷部與RF濾波器連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述RF濾波器包括用于消除RF信號(hào)噪音的消音濾波器、用于將信號(hào)傳遞至診斷部的帶通濾波器，所述消音濾波器分別與加熱線圈、電源供應(yīng)部連接，所述帶通濾波器與診斷部連接，所述消音濾波器與帶通濾波器連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述診斷部包括信號(hào)處理部、判斷部、報(bào)警器;所述信號(hào)處理部與帶通濾波器連接，用于將通過帶通濾波器的RF信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較，或累積的誤差數(shù)據(jù)和設(shè)定的容許誤差范圍進(jìn)行比較;所述判斷部與信號(hào)處理部連接，用于接收信號(hào)處理部的信號(hào)，則判斷加熱器是否異常；所述報(bào)警器與判斷部連接，用于在加熱器上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將加熱器上發(fā)生異常的信息向外界報(bào)警。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述加熱器選用A1、AIN、BN材質(zhì)中的一種。5.半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:包括:RF供應(yīng)部、工序室、RF濾波器、感應(yīng)電流傳感器、電源供應(yīng)部、診斷部;所述工序室內(nèi)設(shè)置有花灑、加熱器，所述花灑與RF供應(yīng)部連接，所述加熱器內(nèi)部設(shè)置有加熱線圈，所述加熱線圈與RF濾波器連接;所述RF濾波器與電源供應(yīng)部連接，所述電源供應(yīng)部通過RF濾波器為加熱器供電；所述加熱器本體與感應(yīng)電流傳感器連接，所述診斷部與感應(yīng)電流傳感器連接，所述感應(yīng)電流傳感器傳輸感應(yīng)電流感知信號(hào)至判斷部。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述診斷部包括信號(hào)處理部、判斷部、報(bào)警器;所述信號(hào)處理部與感應(yīng)電流傳感器連接，用于將通過感應(yīng)電流傳感器的感應(yīng)電流感知信號(hào)與正常信號(hào)進(jìn)行比較;所述判斷部與信號(hào)處理部連接，用于接收信號(hào)處理部的信號(hào)，則判斷加熱器是否異常;所述報(bào)警器與判斷部連接，用于在加熱器上發(fā)生異常時(shí)，運(yùn)用聽覺和視覺的手段將加熱器上發(fā)生異常的信息向外界報(bào)警。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備用加熱器監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于:所述加熱器選用A1、AIN、BN材質(zhì)中的一種。
【文檔編號(hào)】C23C16/52GK205501419SQ201620023544
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年1月11日
【發(fā)明人】尹勝永
【申請(qǐng)人】無(wú)錫銀星科技有限公司