一種化學(xué)氣相成膜裝置的制造方法
【專利摘要】一種化學(xué)氣相成膜裝置，包括：工藝腔本體，所述工藝腔本體內(nèi)間隔設(shè)置基座，并在相鄰基座之間的分隔板底側(cè)設(shè)置與前級管道相連通的泵抽口；蓋體，所述蓋體之于所述基座內(nèi)的隔離部全封閉位于所述分隔板底側(cè)之泵抽口。本實(shí)用新型化學(xué)氣相成膜裝置通過在位于所述分隔板底側(cè)之泵抽口端面設(shè)置蓋體，使得所述蓋體在例行保養(yǎng)維護(hù)時呈全封閉狀態(tài)，不僅有效避免異物落入，而且使用方便，結(jié)構(gòu)簡單，無需額外的增加電氣連接等。
【專利說明】
_種化學(xué)氣相成膜裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)氣相成膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)氣相成膜工藝是在工藝腔室內(nèi)的高溫環(huán)境下，通過對特定的工藝氣體在等離子體增強(qiáng)條件下，在硅基襯底表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積形成薄膜?；瘜W(xué)氣相成膜具有成膜速度快，薄膜均勻性好等特性。
[0003]但是，由于化學(xué)氣相成膜工藝腔體較大，每個腔體內(nèi)設(shè)置四個基座，并在基座之間設(shè)置一個4寸大小的栗抽孔，以達(dá)到相應(yīng)制程的真空度要求。然而，在化學(xué)氣相成膜裝置進(jìn)行例行保養(yǎng)時，由于所述栗抽孔上無網(wǎng)狀上蓋，所以在腔體進(jìn)行濕法清洗時，容易因疏忽導(dǎo)致保養(yǎng)工件及其它零部件落入栗抽孔，即使小心謹(jǐn)慎，栗抽孔落物的風(fēng)險(xiǎn)亦相對較大。
[0004]明顯地，當(dāng)栗抽孔落物事情發(fā)生后，不僅需要拆解栗抽系統(tǒng)進(jìn)行取物，耗時耗力，而且因其負(fù)載過重，拆解難度較大。另一方面，若栗抽孔落物事情未被及時發(fā)現(xiàn)，則異物勢必影響栗抽單元的抽氣速率，使得工藝腔室達(dá)不到工藝要求，影響生產(chǎn)和產(chǎn)品良率。更嚴(yán)重地，若異物吸入導(dǎo)致栗抽單元故障，其維修成本更不容小覷。
[0005]尋求一種使用簡單，并可有效避免栗抽孔落物的化學(xué)氣相成膜裝置已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。
[0006]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本實(shí)用新型一種化學(xué)氣相成膜裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)化學(xué)氣相成膜裝置之栗抽孔上無網(wǎng)狀上蓋，在腔體進(jìn)行濕法清洗時，容易因疏忽導(dǎo)致保養(yǎng)工件及其它零部件落入栗抽孔，即使小心謹(jǐn)慎，栗抽孔落物的風(fēng)險(xiǎn)亦相對較大等缺陷提供一種化學(xué)氣相成膜裝置。
[0008]為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型之目的，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相成膜裝置，所述化學(xué)氣相成膜裝置，包括:一種化學(xué)氣相成膜裝置，所述化學(xué)氣相成膜裝置，包括:工藝腔本體，所述工藝腔本體內(nèi)間隔設(shè)置基座，并在相鄰基座之間的分隔板底側(cè)設(shè)置與前級管道相連通的栗抽口；蓋體，所述蓋體之于所述基座內(nèi)的隔離部全封閉位于所述分隔板底側(cè)之栗抽口。
[0009]可選地，所述蓋體呈馬鞍狀設(shè)置，并跨騎設(shè)置在所述基座之間的分隔板上。
[0010]可選地，所述蓋體之異于所述栗抽口的一側(cè)設(shè)置急停裝置。
[0011]可選地，所述急停裝置為外凸于所述工藝腔本體之水平面的急停凸起。
[0012]可選地，所述急停凸起為外凸于所述工藝腔本體之水平面的手柄。
[0013]可選地，所述蓋體以其跨騎的分隔板呈對稱設(shè)置。
[0014]可選地，所述蓋體之于所述基座內(nèi)的隔離部全覆蓋位于所述分隔板底側(cè)，且外露于所述基座的栗抽口之端面。
[0015]可選地，所述蓋體為金屬鋁材質(zhì)制備。
[0016]綜上所述，本實(shí)用新型化學(xué)氣相成膜裝置通過在位于所述分隔板底側(cè)之栗抽口端面設(shè)置蓋體，使得所述蓋體在例行保養(yǎng)維護(hù)時呈全封閉狀態(tài)，不僅有效避免異物落入，而且使用方便，結(jié)構(gòu)簡單，無需額外的增加電氣連接等。
【附圖說明】
[0017]圖1所示為本發(fā)明化學(xué)氣相成膜裝置之工藝腔本體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2(a)?2(b)所示為本發(fā)明化學(xué)氣相成膜裝置之蓋體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。
[0020]化學(xué)氣相成膜工藝是在工藝腔室內(nèi)的高溫環(huán)境下，通過對特定的工藝氣體在等離子體增強(qiáng)條件下，在硅基襯底表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積形成薄膜?；瘜W(xué)氣相成膜具有成膜速度快，薄膜均勻性好等特性。
[0021]但是，由于化學(xué)氣相成膜工藝腔體較大，每個腔體內(nèi)設(shè)置四個基座，并在基座之間設(shè)置一個4寸大小的栗抽孔，以達(dá)到相應(yīng)制程的真空度要求。然而，在化學(xué)氣相成膜裝置進(jìn)行例行保養(yǎng)時，由于所述栗抽孔上無網(wǎng)狀上蓋，所以在腔體進(jìn)行濕法清洗時，容易因疏忽導(dǎo)致保養(yǎng)工件及其它零部件落入栗抽孔，即使小心謹(jǐn)慎，栗抽孔落物的風(fēng)險(xiǎn)亦相對較大。
[0022]明顯地，當(dāng)栗抽孔落物事情發(fā)生后，不僅需要拆解栗抽系統(tǒng)進(jìn)行取物，耗時耗力，而且因其負(fù)載過重，拆解難度較大。另一方面，若栗抽孔落物事情未被及時發(fā)現(xiàn)，則異物勢必影響栗抽單元的抽氣速率，使得工藝腔室達(dá)不到工藝要求，影響生產(chǎn)和產(chǎn)品良率。更嚴(yán)重地，若異物吸入導(dǎo)致栗抽單元故障，其維修成本更不容小覷。
[0023]請參閱圖1，圖2(a)?2(b)，圖1所示為本發(fā)明化學(xué)氣相成膜裝置之工藝腔本體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2(a)?2(b)所示為本發(fā)明化學(xué)氣相成膜裝置之蓋體結(jié)構(gòu)示意圖。所述化學(xué)氣相成膜裝置I，包括:工藝腔本體11，所述工藝腔本體11內(nèi)間隔設(shè)置基座12，并在相鄰基座12之間的分隔板13底側(cè)設(shè)置與前級管道(未圖示)相連通的栗抽口 14;蓋體15，所述蓋體15之于所述基座內(nèi)的隔離部151全封閉位于所述分隔板13底側(cè)之栗抽口 14。
[0024]作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，容易理解地，所述蓋體15之于所述基座內(nèi)的隔離部151全封閉位于所述分隔板13底側(cè)之栗抽口，即所述蓋體15之隔離部151可以有效的避免外界異物通過所述栗抽口 14落入所述前級管道。
[0025]為了更直觀的揭露本實(shí)用新型之技術(shù)方案，凸顯本實(shí)用新型之有益效果，現(xiàn)結(jié)合【具體實(shí)施方式】，對所述化學(xué)氣相成膜裝置和原理進(jìn)行闡述。在【具體實(shí)施方式】中，所述化學(xué)氣相成膜裝置之各功能部件的具體結(jié)構(gòu)、形狀、數(shù)量等僅為列舉，不應(yīng)視為對本實(shí)用新型技術(shù)方案的限制。在本實(shí)用新型中，為了避免工藝腔本體內(nèi)之金屬污染，所述蓋體采用金屬鋁材質(zhì)制備。
[0026]請繼續(xù)參閱圖1，并結(jié)合參閱圖2(a)?2(b)，作為【具體實(shí)施方式】，非限制性地，例如所述蓋體15呈馬鞍狀設(shè)置，并跨騎設(shè)置在所述基座之間的分隔板13上。更具體地，所述蓋體15以其跨騎的分隔板13呈對稱設(shè)置。所述蓋體15之于所述基座12內(nèi)的隔離部151全覆蓋位于所述分隔板13底側(cè)，且外露于所述基座12的栗抽口 14之端面。
[0027]在本實(shí)用新型中，為了防止蓋腔時用于全封閉所述栗抽口14的蓋體15遺留在所述工藝腔本體11內(nèi)，優(yōu)選地，所述蓋體15之異于所述栗抽口 14的一側(cè)設(shè)置急停裝置16。進(jìn)一步地，為了保證所述化學(xué)氣相成膜裝置I之結(jié)構(gòu)簡單，減少電氣連接，所述急停裝置16為外凸于所述工藝腔本體11之水平面的急停凸起。從使用方便角度而言，更具體地，所述急停凸起為外凸于所述工藝腔本體之水平面的手柄。
[0028]綜上所述，本實(shí)用新型化學(xué)氣相成膜裝置通過在位于所述分隔板底側(cè)之栗抽口端面設(shè)置蓋體，使得所述蓋體在例行保養(yǎng)維護(hù)時呈全封閉狀態(tài)，不僅有效避免異物落入，而且使用方便，結(jié)構(gòu)簡單，無需額外的增加電氣連接等。
[0029]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時，認(rèn)為本實(shí)用新型涵蓋這些修改和變型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述化學(xué)氣相成膜裝置，包括: 工藝腔本體，所述工藝腔本體內(nèi)間隔設(shè)置基座，并在相鄰基座之間的分隔板底側(cè)設(shè)置與前級管道相連通的栗抽口； 蓋體，所述蓋體之于所述基座內(nèi)的隔離部全封閉位于所述分隔板底側(cè)之栗抽口。2.如權(quán)利要求1所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述蓋體呈馬鞍狀設(shè)置，并跨騎設(shè)置在所述基座之間的分隔板上。3.如權(quán)利要求2所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述蓋體之異于所述栗抽口的一側(cè)設(shè)置急停裝置。4.如權(quán)利要求3所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述急停裝置為外凸于所述工藝腔本體之水平面的急停凸起。5.如權(quán)利要求4所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述急停凸起為外凸于所述工藝腔本體之水平面的手柄。6.如權(quán)利要求2所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述蓋體以其跨騎的分隔板呈對稱設(shè)置。7.如權(quán)利要求1所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述蓋體之于所述基座內(nèi)的隔離部全覆蓋位于所述分隔板底側(cè)，且外露于所述基座的栗抽口之端面。8.如權(quán)利要求1?7任一權(quán)利要求所述化學(xué)氣相成膜裝置，其特征在于，所述蓋體為金屬鋁材質(zhì)制備。
【文檔編號】C23C16/513GK205669064SQ201620571345
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年6月14日
【發(fā)明人】黃彪, 劉濤, 張欣
【申請人】上海華力微電子有限公司