一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，包括腔體本體，所述腔體的一側(cè)設(shè)有連接管道，另一側(cè)設(shè)有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側(cè)壁為多邊形結(jié)構(gòu)，側(cè)壁處設(shè)有蒸發(fā)源過(guò)渡法蘭，其頂部設(shè)有方向校正過(guò)渡法蘭，腔體的內(nèi)部設(shè)有壓力感應(yīng)器，腔體的外壁設(shè)有數(shù)顯屏，數(shù)顯屏與壓力感應(yīng)器相連接，改善設(shè)備結(jié)構(gòu)，形狀為“多邊形圓形”，從而縮短抽空時(shí)間和空間利用率。
【專利說(shuō)明】
一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，鍍膜技術(shù)一般分為干式鍍膜與濕式鍍膜兩種方法。干式鍍膜主要利用氣相沉積的方法，包括真空蒸鍍，真空濺鍍等。濕式鍍膜主要利用液相沉積的方法，是指將待鍍的基板置于電解質(zhì)溶液中，通過(guò)電鍍法或化學(xué)鍍法，使其表面形成膜層。其中，濕式鍍膜制程具有制程設(shè)備簡(jiǎn)單、便宜、沉積速率快、易控制沉積厚度、制程溫度低、不受限于形狀復(fù)雜之基板、適用于多樣性材料、更可在軟性基材上鍍膜等優(yōu)點(diǎn)。
[0003]但是現(xiàn)有鍍膜設(shè)備腔體多為圓形結(jié)構(gòu)，空間大，使用效率低，空間大，抽空時(shí)間長(zhǎng)?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，以解決現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)致的上述多項(xiàng)缺陷。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供以下的技術(shù)方案:一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，包括腔體本體，所述腔體的一側(cè)設(shè)有連接管道，另一側(cè)設(shè)有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側(cè)壁為多邊形結(jié)構(gòu)，側(cè)壁處設(shè)有蒸發(fā)源過(guò)渡法蘭，其頂部設(shè)有方向校正過(guò)渡法蘭，腔體的內(nèi)部設(shè)有壓力感應(yīng)器，腔體的外壁設(shè)有數(shù)顯屏，數(shù)顯屏與壓力感應(yīng)器相連接。
[0006]優(yōu)選的，所述多邊形結(jié)構(gòu)的剖面為梯形結(jié)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選的，所述腔門與腔體鉸接處通過(guò)鉸接合頁(yè)相連接。
[0008]優(yōu)選的，所述腔體的頂部設(shè)有透氣孔。
[0009]優(yōu)選的，所述透氣孔處設(shè)有蓋板。
[0010]采用以上技術(shù)方案的有益效果是:本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，改善設(shè)備結(jié)構(gòu)，形狀為“多邊形圓形”，從而縮短抽空時(shí)間和空間利用率。
[0011]腔體內(nèi)設(shè)有壓力感應(yīng)器，可以檢測(cè)出腔體內(nèi)的壓力，并通過(guò)數(shù)顯屏顯示出來(lái)，可以將蓋板打開調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的氣壓。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中，I一腔體、2--連接管道、3--腔門、4--蒸發(fā)源過(guò)渡法蘭、5--方向校正過(guò)渡法蘭、6—壓力感應(yīng)器、7—數(shù)顯屏、8—鉸接合頁(yè)、9一透氣孔、10-蓋板。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0015]圖1出示本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】:一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體I，包括腔體I本體，所述腔體I的一側(cè)設(shè)有連接管道2，另一側(cè)設(shè)有腔門3，腔門3與腔體I鉸接，腔體I的外側(cè)壁為多邊形結(jié)構(gòu)，側(cè)壁處設(shè)有蒸發(fā)源過(guò)渡法蘭4，其頂部設(shè)有方向校正過(guò)渡法蘭5，腔體I的內(nèi)部設(shè)有壓力感應(yīng)器6，腔體I的外壁設(shè)有數(shù)顯屏7，數(shù)顯屏7與壓力感應(yīng)器6相連接。
[0016]多邊形結(jié)構(gòu)的剖面為梯形結(jié)構(gòu);腔門3與腔體I鉸接處通過(guò)鉸接合頁(yè)8相連接;腔體I的頂部設(shè)有透氣孔9 ；透氣孔9處設(shè)有蓋板10。
[0017]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，改善設(shè)備結(jié)構(gòu)，形狀為“多邊形圓形”，從而縮短抽空時(shí)間和空間利用率。
[0018]腔體內(nèi)設(shè)有壓力感應(yīng)器，可以檢測(cè)出腔體內(nèi)的壓力，并通過(guò)數(shù)顯屏顯示出來(lái)，可以將蓋板打開調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的氣。
[0019]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，包括腔體本體，其特征在于，所述腔體的一側(cè)設(shè)有連接管道，另一側(cè)設(shè)有腔門，腔門與腔體鉸接，腔體的外側(cè)壁為多邊形結(jié)構(gòu)，側(cè)壁處設(shè)有蒸發(fā)源過(guò)渡法蘭，其頂部設(shè)有方向校正過(guò)渡法蘭，腔體的內(nèi)部設(shè)有壓力感應(yīng)器，腔體的外壁設(shè)有數(shù)顯屏，數(shù)顯屏與壓力感應(yīng)器相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，其特征在于，所述多邊形結(jié)構(gòu)的剖面為梯形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，其特征在于，所述腔門與腔體鉸接處通過(guò)鉸接合頁(yè)相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，其特征在于，所述腔體的頂部設(shè)有透氣孔。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多邊圓形鍍膜設(shè)備腔體，其特征在于，所述透氣孔處設(shè)有蓋板。
【文檔編號(hào)】C23C14/22GK205676529SQ201620441930
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年5月14日 公開號(hào)201620441930.5, CN 201620441930, CN 205676529 U, CN 205676529U, CN-U-205676529, CN201620441930, CN201620441930.5, CN205676529 U, CN205676529U
【發(fā)明人】武文全
【申請(qǐng)人】佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司