專利名稱:一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩堝平臺的制作方法
【專利摘要】本申請涉及SiC生產(chǎn)技術(shù)領域，具體為一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩堝平臺。該裝置通過螺栓將兩塊石墨平臺連接在一起，并將坩堝固定于兩塊石墨平臺之間，當石墨受熱膨脹時，由于螺栓的固定，石墨平臺不會發(fā)生位置平移，從而保障了坩堝位置的穩(wěn)定性。另外，該坩堝平臺具有結(jié)構(gòu)簡單，使用方便等優(yōu)點。
【專利說明】
一種穩(wěn)定性能好的S i C生長坩堝平臺
技術(shù)領域
[0001]本申請涉及SiC生產(chǎn)技術(shù)領域，具體為一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]人造SiC通常是在坩禍中進行生產(chǎn)的，坩禍是通過石墨平臺進行支撐的，石墨平臺起到均熱作用，在SiC生長過程中，需要反復對坩禍進行加熱和冷卻，石墨平臺也需要經(jīng)歷反復不斷的膨脹和收縮，石墨平臺的膨脹和收縮會導致坩禍的中心位置發(fā)生偏移，使得坩禍在使用過程中不穩(wěn)定，容易晃動，一旦坩禍在使用過程中發(fā)生晃動，極易導致坩禍內(nèi)的溫場不均勻，嚴重影響SiC的質(zhì)量。
[0003]基于上述問題，設計發(fā)明一種新型的SiC生長坩禍平臺就顯得尤為必要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本申請?zhí)峁┝艘环N新型的SiC生長坩禍平臺，該裝置通過螺栓將兩塊石墨平臺連接在一起，并將坩禍固定于兩塊石墨平臺之間，當石墨受熱膨脹時，由于螺栓的固定，石墨平臺不會發(fā)生位置平移，從而保障了坩禍位置的穩(wěn)定性。另外，該坩禍平臺具有結(jié)構(gòu)簡單，使用方便等優(yōu)點。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本申請采取的技術(shù)方案如下:
[0006]—種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺，包括第一石墨平臺和第二石墨平臺，所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺通過兩個螺栓連接在一起，兩根螺栓分別貫穿第一石墨平臺和第二石墨平臺的兩側(cè)，在第二石墨平臺的一側(cè)為螺帽，在第一石墨平臺的一側(cè)為螺母;在螺帽與第二石墨平臺之間設有彈簧；
[0007]所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺放置在不銹鋼底座上，且不銹鋼底座上開設有通氣孔，通氣孔起到通風散熱的作用；
[0008]所述的第一石墨平臺和第二石墨平臺相對的一側(cè)，在每個平臺上分別設有半圓，兩半圓大小及相對位置為對應的，兩個半圓正好形成放置坩禍的空間；
[0009]所述的坩禍上設置有通電鈕，用于通電而對坩禍加熱；
[0010]由于兩個石墨平臺通過螺栓連接在一起，對石墨平臺起到了固定作用，而第二石墨平臺外側(cè)彈簧的設置，使得石墨平臺受熱膨脹時，會想著外側(cè)移動，而彈簧能緩沖這種壓力，而避免了螺帽對石墨平臺的擠壓，也避免了石墨平臺對坩禍的擠壓，避免了坩禍由于受壓過大而破碎；
[0011]在不銹鋼底座上設置通風孔，起到通風散熱的作用。
[0012]綜上所述，本申請?zhí)峁┑腟iC生長坩禍，具有穩(wěn)定性好，通風散熱性能優(yōu)良，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便等優(yōu)點。
【附圖說明】

[0013]圖1為一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺主視示意圖；
[0014]圖2為一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺俯視示意圖；
[0015]附圖標記
[0016]圖中I為第一石墨平臺，2為螺栓，3為第二石墨平臺，4為螺帽，5為彈簧，6為不銹鋼底座，7為通風孔，8為i甘禍，9為通電鈕。
具體實施例
[0017]實施例1
[0018]—種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺，包括第一石墨平臺I和第二石墨平臺3，所述的第一石墨平臺I和第二石墨平臺3通過兩個螺栓2連接在一起，兩根螺栓2分別貫穿第一石墨平臺I和第二石墨平臺3的兩側(cè)，在第二石墨平臺3的一側(cè)為螺帽4，在第一石墨平臺I的一側(cè)為螺母;在螺帽4與第二石墨平臺3之間設有彈簧5;
[0019]所述的第一石墨平臺I和第二石墨平臺3放置在不銹鋼底座6上，且不銹鋼底座6上開設有通氣孔7，通氣孔7起到通風散熱的作用；
[0020]所述的第一石墨平臺I和第二石墨平臺3相對的一側(cè)，在每個平臺上分別設有半圓，兩半圓大小及相對位置為對應的，兩個半圓正好形成放置坩禍8的空間；
[0021]所述的坩禍8上設置有通電鈕9，用于通電而對坩禍加熱；
[0022]由于兩個石墨平臺通過螺栓連接在一起，對石墨平臺起到了固定作用，而第二石墨平臺外側(cè)彈簧的設置，使得石墨平臺受熱膨脹時，會想著外側(cè)移動，而彈簧能緩沖這種壓力，而避免了螺帽對石墨平臺的擠壓，也避免了石墨平臺對坩禍的擠壓，避免了坩禍由于受壓過大而破碎；
[0023]在不銹鋼底座上設置通風孔，起到通風散熱的作用。
[0024]綜上所述，本申請?zhí)峁┑腟iC生長坩禍，具有穩(wěn)定性好，通風散熱性能優(yōu)良，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便等優(yōu)點。
【主權(quán)項】
1.一種穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺，其特征在于，包括第一石墨平臺(I)和第二石墨平臺(3)，所述的第一石墨平臺(I)和第二石墨平臺(3)通過兩個螺栓(2)連接在一起，兩根螺栓(2)分別貫穿第一石墨平臺(I)和第二石墨平臺(3)的兩側(cè)，在第二石墨平臺(3)的一側(cè)為螺帽(4)，在第一石墨平臺(I)的一側(cè)為螺母;在螺帽(4)與第二石墨平臺(3)之間設有彈簧(5);所述的第一石墨平臺(I)和第二石墨平臺(3)相對的一側(cè)，在每個平臺上分別設有半圓，兩半圓大小及相對位置為對應的，兩個半圓正好形成放置坩禍(8)的空間。2.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺，其特征在于，所述的第一石墨平臺(I)和第二石墨平臺(3)放置在不銹鋼底座(6)上，且不銹鋼底座(6)上開設有通氣孔(7)。3.如權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性能好的SiC生長坩禍平臺，其特征在于，所述的坩禍(8)上設置有通電鈕(9)。
【文檔編號】C30B23/00GK205711033SQ201620382505
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月29日
【發(fā)明人】宗艷民
【申請人】山東天岳晶體材料有限公司