專利名稱：纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體和使用該集合體的粘合部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體及其用途。更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及兼?zhèn)鋬?yōu) 異的機(jī)械特性和高比表面積的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體及使用該集合體的粘合部件。
背景技術(shù)：
在產(chǎn)業(yè)用途中，使用著具有各種用途的粘合劑。但是，這些材料基本都是柔軟的塊 狀設(shè)計(jì)的粘彈性體。由粘彈性體形成的粘合劑，其模量低，所以使附著體濕潤而充分表現(xiàn)粘 合力。另一方面，作為新型的粘合劑，已知具有微細(xì)直徑的柱狀纖維結(jié)構(gòu)體顯示粘合特 性。已知由于具有微米級、納米級的直徑，隨著附著體的表面凹凸而通過范德華力表達(dá)粘合 力。作為將具有微細(xì)直徑的纖維結(jié)構(gòu)體作為粘合劑使用的方法，例如，可以列舉(1) 在具有柱狀孔的過濾器中填充樹脂之后除去過濾器而得到粘合劑的技術(shù)，和(2)在Si基板 上通過化學(xué)氣相沉積法(CVD法)使具有微細(xì)直徑的柱狀的纖維結(jié)構(gòu)體生長而制成粘合劑 的技術(shù)(專利文獻(xiàn)1 3)。但是，上述(1)的技術(shù)中，由于能夠使用的過濾器存在限制，因此存在能夠制作的 柱狀纖維結(jié)構(gòu)體的長度不充分、粘合力低的問題。另外，上述(2)的技術(shù)中，一根柱狀的纖維結(jié)構(gòu)體的粘合力高，如果換算為每單位 面積的粘合力，則可以得到與通用的粘合劑同等的值，但是，按照一般進(jìn)行的粘合劑的粘合 評價方法(專利文獻(xiàn)3)，以Icm2左右的粘合面積進(jìn)行粘合力的評價時，存在其剪切粘合力 低、與現(xiàn)有通用的粘合劑相比很微弱的問題。另外，粘合劑所要求的特性根據(jù)用途而不同。其中，在高溫度條件下所使用的粘 合劑必須具有耐熱性。但是，一般使用的通用的粘合劑是以丙烯酸酯類樹脂、橡膠類樹脂、 苯乙烯_ 丁二烯共聚物類樹脂等作為原料的粘合劑，這些樹脂的分解溫度低，因此存在在 200°C以上的溫度下分解的問題。另外，對于以上述樹脂以外的材料作為原料的粘合劑而 言，在高溫度條件下模量與室溫相比變化很大，因此存在比室溫時的粘合力劣化的問題、和 由粘合劑殘留等引起的污染的問題。另外，在多個附著體上重復(fù)粘合剝離的粘合劑需要不具有附著體選擇性。但是，一 般所使用的通用的粘合劑是以丙烯酸酯類樹脂、橡膠類樹脂、苯乙烯_ 丁二烯共聚物類樹 脂等作為原料的粘合劑，這些樹脂的粘合力依賴于附著體的表面自由能，因此，存在對于表 面自由能差異很大的附著體，粘合力也大幅改變的問題。專利文獻(xiàn)1 美國專利第6737160號專利文獻(xiàn)2 美國專利申請公開第2004/0071870號專利文獻(xiàn)3 美國專利申請公開第2006/0068195號

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種具有優(yōu)異的機(jī)械特性、高比表面積、優(yōu)異的粘合特性 的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。還提供一種具有優(yōu)異的耐熱性、高比表面積、在從室溫至高溫 的溫度條件下具有優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。還提供一種具有高比表面 積、對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的纖 維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。還提供一種使用這樣的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的粘合部件。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)具備具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的分布寬度為IOnm以上，該直 徑分布的最頻值的相對頻度為30%以下。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述直徑分布的最頻值存在于5nm至15nm的范圍內(nèi)。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體沿長度方向取向。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)還具備基材，上述 纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的一端固定于該基材上。根據(jù)本發(fā)明的其它方面，還提供作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體⑵。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻 值的相對頻度為25%以下。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述層數(shù)分布的最頻值存在于層數(shù)2層至層數(shù)10層的范圍 內(nèi)。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)還具備基材，上述 碳納米管的一端固定于該基材上。根據(jù)本發(fā)明的其它方面，還提供作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體 ⑶。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻 值的相對頻度為25%以下，250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0.8 1.2 倍。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述層數(shù)分布的最頻值存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層的范圍 內(nèi)。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)還具備基材，上述 碳納米管的一端固定于該基材上。根據(jù)本發(fā)明的其它方面，還提供作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體 ⑷。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻 值的相對頻度為25%以下，以對表面自由能a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的 差為25mJ/m2以上的表面自由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B (其中，a > b)時的 B/A的值為0.8 1.2。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述層數(shù)分布的最頻值存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層的范圍 內(nèi)。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)還具備基材，上述 碳納米管的一端固定于該基材上。根據(jù)本發(fā)明的其它方面，還提供一種粘合部件。本發(fā)明的粘合部件使用本發(fā)明的 纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種具有優(yōu)異的機(jī)械特性、高比表面積、優(yōu)異的粘合特性的 纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。另外，能夠提供一種具有優(yōu)異的耐熱性、高比表面積、在從室溫 至高溫的溫度條件下具有優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。另外，能夠提供一 種具有高比表面積、對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性) 的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。還能夠提供使用這樣的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體 的粘合部件。另外，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的耐熱保持力優(yōu)異，例如，壓接在載 玻片上，即使放置在350°C、2小時等的高溫下之后也難以發(fā)生錯位。


圖1是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的簡略截面圖。圖2是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式中碳納米管集合體制造裝置的簡略截面圖。
圖3是表示實(shí)施例1中得到的碳納米管集合體(1)的層數(shù)分布的圖。圖4是表示實(shí)施例2中得到的碳納米管集合體(2)的層數(shù)分布的圖。圖5是表示比較例1中得到的碳納米管集合體(Cl)的層數(shù)分布的圖。圖6是表示實(shí)施例3中得到的碳納米管集合體(3)的直徑分布的圖。圖7是表示實(shí)施例4中得到的碳納米管集合體(4)的直徑分布的圖。圖8是表示比較例2中得到的碳納米管集合體(C2)的直徑分布的圖。圖9是表示比較例3中得到的碳納米管集合體(C3)的直徑分布的圖。圖10是表示實(shí)施例5中得到的碳納米管集合體(5)的層數(shù)分布的圖。圖11是表示實(shí)施例6中得到的碳納米管集合體(6)的層數(shù)分布的圖。符號說明10纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體1 基材2纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體
具體實(shí)施例方式圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的簡略截面圖(為 了明確表示各構(gòu)成部分，比例尺沒有正確記載)。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體10具備基材1 和纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體2。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的一端2a固定于基材1上。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體 2沿長度方向L取向。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體2優(yōu)選沿相對于基材1大致垂直的方向取向。即 使當(dāng)與本圖所示例的不同，纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體不具備基材時，纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體也 可以相互通過范德華力而作為集合體存在，因此，本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體也可 以是不具備基材的集合體。[纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)]本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)具備具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體， 該具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的分布寬度為IOnm以上，該直徑分布的 最頻值的相對頻度為30%以下。作為上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的材料，可以采用任意適當(dāng)?shù)牟牧稀＠?，可以列舉 鋁、鐵等金屬；硅等無機(jī)材料；碳納米纖維、碳納米管等碳材料；工程塑料、超級工程塑料等 高模量的樹脂等。作為樹脂的具體例子，可以列舉聚亞酰胺、聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸 乙二醇酯、醋酸纖維素、聚碳酸酯、聚酰胺等。在能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)，樹脂的分 子量等各種物性可以采用任意適當(dāng)?shù)奈镄?。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的寬度幅度為IOnm以上，優(yōu)選為10 30nm，更優(yōu)選 為10 25nm，進(jìn)一步優(yōu)選為10 20nm。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的“分布寬度”，是指纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑 的最大值與最小值的差。本發(fā)明中，通過使纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的分布寬度處于 上述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠兼具優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀 柱狀結(jié)構(gòu)體能夠形成顯示優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。其中，本發(fā)明中，纖 維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑、直徑分布可以通過任意適當(dāng)?shù)难b置進(jìn)行測定。優(yōu)選通過掃描電子 顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)進(jìn)行測定。例如，可以通過SEM或TEM測定來自纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的至少10根、優(yōu)選20根以上的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，評價直徑和直徑 分布。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑的最大值優(yōu)選為5 30nm，更優(yōu)選10 30nm，進(jìn)一 步優(yōu)選15 30nm，特別優(yōu)選15 25nm。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑的最小值優(yōu)選為 1 15nm，更優(yōu)選5 15nm。本發(fā)明中，通過使纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑的最大值和最小值 處于上述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且， 該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。上述直徑分布的最頻值的相對頻度為30%以下，優(yōu)選1 25%，更優(yōu)選5 25%， 進(jìn)一步優(yōu)選10 25%，特別優(yōu)選15 25%。本發(fā)明中，通過使直徑分布的最頻值的相對頻 度處于上述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而 且，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。上述直徑分布的最頻值優(yōu)選存在于直徑5nm至15nm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選存在于直徑 5nm至IOnm的范圍內(nèi)。本發(fā)明中，通過使直徑分布的最頻值處于上述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠得到 顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。作為上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的形狀，其橫截面可以具有任意適當(dāng)?shù)男螤?。例如，?橫截面可以列舉大致圓形、橢圓形、η邊形(η為3以上的整數(shù))等。另外，上述纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體可以是中空的，也可是填充材料。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的長度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)拈L度。纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的 長度優(yōu)選為300 μ m,更優(yōu)選為300 10000 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為300 1000 μ m,特別優(yōu)選為 300 900 μ m。本發(fā)明中，通過使纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的長度處于上述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠得到 顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)中，上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體中的長度為 300 μ m以上的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的含有比例優(yōu)選為80 100%，更優(yōu)選為90 100%，進(jìn) 一步優(yōu)選為95 100%，特別優(yōu)選為98 100%，最優(yōu)選實(shí)質(zhì)上為100%。這里，所謂“實(shí) 質(zhì)上為100%”，意指在測定儀器的檢測限度內(nèi)為100%。本發(fā)明中，通過使上述纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體中的長度為300μπι以上的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的含有比例處于上述范圍內(nèi)，該纖維 狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能 夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)在室溫中對玻璃面的剪切粘合力優(yōu)選為 15N/cm2以上。更優(yōu)選為20 500N/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為30 lOON/cm2，特別優(yōu)選為30 80N/cm2，特別優(yōu)選為35 50N/cm2。這里，本發(fā)明中的“室溫”是指溫度為25°C的條件。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的比表面積、密度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)中，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該 碳納米管是具有多層的碳納米管時，優(yōu)選該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的的分布寬度 為10層以上，優(yōu)選該層數(shù)分布的最頻值的相對頻度為25%以下。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度更優(yōu)選為10 30層，進(jìn)一步優(yōu) 選為10 25層，特別優(yōu)選為10 20層。
上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的“分布寬度”是指具有多層的碳納米管的 層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)的差。本發(fā)明中，通過使具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分 布寬度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該 碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。其中，本發(fā)明中，碳納米管 的層數(shù)、層數(shù)分布可以通過任意適當(dāng)?shù)难b置進(jìn)行測定。優(yōu)選通過掃描電子顯微鏡(SEM)和 透射電子顯微鏡(TEM)進(jìn)行測定。例如，可以通過SEM或TEM測定來自碳納米管集合體的 至少10根、優(yōu)選20根以上的碳納米管，評價層數(shù)和層數(shù)分布。上述最大層數(shù)優(yōu)選為5 30層，更優(yōu)選為10 30層，進(jìn)一步優(yōu)選為15 30層， 特別優(yōu)選為15 25層。上述最小層數(shù)優(yōu)選為1 10層，更優(yōu)選為1 5層。本發(fā)明中， 通過使碳納米管的層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加 優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳 納米管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值的相對頻度優(yōu)選為1 25%，更優(yōu)選5 25%，進(jìn)一步優(yōu) 選10 25%，特別優(yōu)選15 25%。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值的相對頻度處于 上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能 夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值優(yōu)選存在于層數(shù)2層至層數(shù)10層，進(jìn)一步優(yōu)選存在于層數(shù) 3層至層數(shù)10層。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼 具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特 性的碳納米管集合體。[纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)碳納米管集合體]本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)具備多個纖維狀 柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有 多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的相對頻度為 25%以下。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布寬度為10層以上，優(yōu)選為10 30層，更優(yōu) 選為10 25層，進(jìn)一步優(yōu)選為10 20層。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的“分布寬度”是指具有多層的碳納米管的 層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)的差。本發(fā)明中，通過使具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分 布寬度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該 碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳納米管。其中，本發(fā)明中，碳納米管的層 數(shù)、層數(shù)分布可以通過任意適當(dāng)?shù)难b置進(jìn)行測定。優(yōu)選通過掃描電子顯微鏡(SEM)和透射 電子顯微鏡(TEM)進(jìn)行測定。例如，可以通過SEM或TEM測定來自碳納米管集合體的至少 10根、優(yōu)選20根以上的碳納米管，評價層數(shù)和層數(shù)分布。上述最大層數(shù)優(yōu)選為5 30層，更優(yōu)選為10 30層，進(jìn)一步優(yōu)選為15 30層， 特別優(yōu)選為15 25層。上述最小層數(shù)優(yōu)選為1 10層，更優(yōu)選為1 5層。本發(fā)明中， 通過使碳納米管的層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加 優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳 納米管集合體。
上述層數(shù)分布的最頻值的相對頻度為25%以下，優(yōu)選為1 25%，更優(yōu)選5 25%，進(jìn)一步優(yōu)選10 25%，特別優(yōu)選15 25%。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值的 相對頻度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且， 該碳納米管能夠得到顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值優(yōu)選存在于層數(shù)2層至層數(shù)10層，更優(yōu)選存在于層數(shù)3層 至層數(shù)10層。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具 更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到顯示優(yōu)異的粘合特性的碳 納米管集合體。作為上述碳納米管的形狀，其橫截面可以具有任意適當(dāng)?shù)男螤?。例如，其橫截面可 以列舉大致圓形、橢圓形、η邊形(η為3以上的整數(shù))等。上述碳納米管的長度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)拈L度。具有多層的碳納米管優(yōu)選包含 長度為300 μ m以上的碳納米管。上述碳納米管的長度更優(yōu)選為300 10000 μ m,進(jìn)一步優(yōu) 選為300 1000 μ m,特別優(yōu)選為300 900 μ m。本發(fā)明中，通過使碳納米管的長度處于上 述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀柱狀結(jié) 構(gòu)體能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)中，上述具有多層 的碳納米管中的長度為300 μ m以上的碳納米管的含有比例優(yōu)選為80 100%，更優(yōu)選為 90 100 %，進(jìn)一步優(yōu)選為95 100 %，特別優(yōu)選為98 100 %，最優(yōu)選實(shí)質(zhì)上為100 %。 這里，所謂“實(shí)質(zhì)上為100%”，意指在測定儀器的檢測限度內(nèi)為100%。本發(fā)明的作為碳納 米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)中，通過使上述具有多層的碳納米管集合體中 的長度為300 μ m以上的碳納米管的含有比例處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加 優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到顯示更加優(yōu)異的粘合特性的碳 納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)在室溫中對玻璃 面的剪切粘合力優(yōu)選為15N/cm2以上。更優(yōu)選為20 500N/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為30 100N/ cm2，特別優(yōu)選為30 80N/cm2，特別優(yōu)選為35 50N/cm2。上述碳納米管的比表面積、密度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)優(yōu)選在250°C氛圍 下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0. 8 1. 2倍，優(yōu)選為0. 85 1. 15倍，進(jìn)一步優(yōu)選為0. 9 1. 1倍。通過使250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫 中對玻璃面的剪切粘合力的0.8 1.2倍，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)能夠具備優(yōu)異 的耐熱性，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異 的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)，優(yōu)選以對表面自 由能a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的 表面自由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B時的(其中，a > b)B/A的值為0. 8 1.2，更優(yōu)選為0.85 1. 15，進(jìn)一步優(yōu)選為0.9 1. 1。通過使以對表面自由能a的附著體 的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的表面自由能b的附 著體的室溫中的剪切粘合力為B (其中，a > b)時的B/A的值為0. 8 1. 2，該纖維狀柱狀
10結(jié)構(gòu)體集合體(2)可以得到對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選 擇性)的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)在壓接于半導(dǎo)體 晶片而粘合之后剝離時，殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選為30 個/4英寸晶片以下，更優(yōu)選為25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶片以 下。更具體而言，在4英寸晶片上以5kg輥?zhàn)訅航愚D(zhuǎn)印在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳 納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)而貼合之后，以180°剝離時，殘留于剝離后 的半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選為30個/4英寸晶片以下，更優(yōu)選為 25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶片以下。由于本發(fā)明的作為碳納米管 集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)優(yōu)選將該集合體如上所述在半導(dǎo)體晶片上壓接、粘 合之后剝離時，殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)如上所述為數(shù)量很 少，因此，非污染性極其優(yōu)異。其中，評價上述非污染性時的180°剝離，使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn) 印在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)(壓接 于半導(dǎo)體晶片而粘合的集合體)，壓接以5kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來回，以溫度23士2°C、濕度 65士5% RH、剝離速度300mm/min測定。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)固定于聚丙烯樹 脂基材(厚度30 μ m)時，180°剝離的值優(yōu)選為lN/20mm以下，更優(yōu)選為0. 001 lN/20mm， 進(jìn)一步優(yōu)選為0. 001 0. 7N/20mm,更優(yōu)選為0. 001 0. 5N/20mm,特別優(yōu)選為0. 001 0.4N/20mm。由于本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(2)優(yōu)選固定 于聚丙烯樹脂基材(厚度30 μ m)時的180°剝離的值如上所述較小，因此輕剝離性極其優(yōu) 異。通常的粘合劑的180°剝離的值大于lN/20mm。其中，評價上述輕剝離性時的180°剝離使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn) 印在寬度為20mm的聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集 合體(2)，使用硅晶片(裸晶片，P型，KST制)作為試驗(yàn)板，壓接以2kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來 回，以溫度23士2°C、濕度65士5% RH、剝離速度300mm/min測定。[纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)碳納米管集合體]本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)具備多個纖維狀 柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有 多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的相對頻度為 25 %以下，250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0. 8 1.2 倍。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布寬度優(yōu)選為10 30層，更優(yōu)選為10 25 層，進(jìn)一步優(yōu)選為10 20層。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的“分布寬度”是指具有多層的碳納米管的 層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)的差。本發(fā)明中，通過使具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分 布寬度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。其 中，本發(fā)明中，碳納米管的層數(shù)、層數(shù)分布可以通過任意適當(dāng)?shù)难b置進(jìn)行測定。優(yōu)選通過掃 描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)進(jìn)行測定。例如，可以通過SEM或TEM測定 來自碳納米管集合體的至少10根、優(yōu)選20根以上的碳納米管，評價層數(shù)和層數(shù)分布。上述最大層數(shù)優(yōu)選為1 30層，更優(yōu)選為1 25層，進(jìn)一步優(yōu)選為2 25層。 上述最小層數(shù)優(yōu)選為1 10層，更優(yōu)選為1 5層。本發(fā)明中，通過使碳納米管的層數(shù)的 最大層數(shù)和最小層數(shù)處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性和高比表面 積，而且，該碳納米管能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米 管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值的相對頻度優(yōu)選為1 25%，更優(yōu)選5 25%，進(jìn)一步優(yōu) 選10 25%，特別優(yōu)選15 25%。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值的相對頻度處于 上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠 得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值優(yōu)選存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層，更優(yōu)選存在于層數(shù)2層 至層數(shù)10層，進(jìn)一步優(yōu)選存在于層數(shù)3層至層數(shù)10層。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻 值處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性和高比表面積，而且，該碳納米 管能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。作為上述碳納米管的形狀，其橫截面可以具有任意適當(dāng)?shù)男螤睢＠?，其橫截面可 以列舉大致圓形、橢圓形、η邊形(η為3以上的整數(shù))等。上述碳納米管的長度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)拈L度。具有多層的碳納米管優(yōu)選包含 長度為300 μ m以上的碳納米管。上述碳納米管的長度更優(yōu)選為300 10000 μ m,進(jìn)一步優(yōu) 選為300 5000 μ m，特別優(yōu)選為300 2000 μ m。本發(fā)明中，通過使碳納米管的長度處于 上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性和高比表面積，而且，該碳納米管能夠 得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)中，上述具有多層 的碳納米管中的長度為300 μ m以上的碳納米管的含有比例優(yōu)選為80 100%，更優(yōu)選為 90 100 %，進(jìn)一步優(yōu)選為95 100 %，特別優(yōu)選為98 100 %，最優(yōu)選實(shí)質(zhì)上為100 %。這 里，所謂“實(shí)質(zhì)上為100%”，意指在測定儀器的檢測限度內(nèi)為100%。本發(fā)明的作為碳納米 管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)中，通過使上述具有多層的碳納米管中的長度為 300 μ m以上的碳納米管的含有比例處于上述范圍，該碳納米管能夠兼具更加優(yōu)異的耐熱性 和高比表面積，而且，該碳納米管能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合特 性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)在250°C氛圍下對 玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0. 8 1. 2倍，優(yōu)選為0. 85 1. 15 倍，更優(yōu)選為0. 9 1. 1倍。通過使在250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻 璃面的剪切粘合力的0. 8 1. 2倍，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)能夠具備優(yōu)異的耐熱 性，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯示優(yōu)異的粘合 特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)在室溫中對玻璃面的剪切粘合力優(yōu)選為15N/cm2以上。更優(yōu)選為20 500N/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為30 100N/ cm2，特別優(yōu)選為30 80N/cm2，特別優(yōu)選為35 50N/cm2。上述碳納米管的比表面積、密度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)，優(yōu)選以對表面自 由能a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的 表面自由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B時的(其中，a > b)B/A的值為0. 8 1.2，更優(yōu)選為0.85 1. 15，進(jìn)一步優(yōu)選為0.9 1. 1。通過使以對表面自由能a的附著體 的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的表面自由能b的附 著體的室溫中的剪切粘合力為B時的(其中，a > b)B/A的值為0. 8 1. 2，該纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體集合體(3)可以得到對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選 擇性)的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)在壓接于半導(dǎo)體 晶片而粘合之后進(jìn)行剝離時，殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選 為30個/4英寸晶片以下，更優(yōu)選為25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶 片以下。更具體而言，在4英寸晶片上以5kg輥?zhàn)訅航愚D(zhuǎn)印在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為 碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)而貼合之后，以180°進(jìn)行剝離時的殘留 于剝離后的半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選為30個/4英寸晶片以下， 更優(yōu)選為25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶片以下。由于本發(fā)明的作 為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)優(yōu)選將該集合體如上所述在半導(dǎo)體晶 片上壓接、粘合之后進(jìn)行剝離時殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)如 上所述為極少數(shù)，因此，非污染性極其優(yōu)異。其中，評價上述非污染性時的180°剝離使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn) 印在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)(壓接 于半導(dǎo)體晶片上而粘合)，壓接以5kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來回，以溫度23士2°C、濕度65士5% RH、剝離速度300mm/min測定。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)固定于聚丙烯樹 脂基材(厚度30 μ m)時，180°剝離的值優(yōu)選為lN/20mm以下，更優(yōu)選為0. 001 lN/20mm， 進(jìn)一步優(yōu)選為0. 001 0. 7N/20mm,更優(yōu)選為0. 001 0. 5N/20mm,特別優(yōu)選為0. 001 0.4N/20mm。由于本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(3)優(yōu)選固定 于聚丙烯樹脂基材(厚度30 μ m)時的180°剝離的值如上所述較小，因此輕剝離性極其優(yōu) 異。通常的粘合劑的180°剝離的值大于lN/20mm。其中，評價上述輕剝離性時的180°剝離使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn) 印在寬度為20mm的聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集 合體(3)，使用硅晶片(裸晶片，P型，KST制)作為試驗(yàn)板，壓接以2kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來 回，以溫度23士2°C、濕度65士5% RH、剝離速度300mm/min測定。[纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)碳納米管集合體]本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管，該具有 多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的相對頻度為 25%以下，以對表面自由能a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的 差為25mJ/m2以上的表面自由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B (其中，a > b)時的 B/A的值為0.8 1.2。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度優(yōu)選為10 30層，更優(yōu)選為 10 25層，進(jìn)一步優(yōu)選為10 20層。上述具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的“分布寬度”是指具有多層的碳納米管的 層數(shù)的最大層數(shù)和最小層數(shù)的差。本發(fā)明中，通過使具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分 布寬度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具有更高的比表面積，而且，該碳納米管能夠得到 具備對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的碳 納米管集合體。其中，本發(fā)明中，碳納米管的層數(shù)、層數(shù)分布可以通過任意適當(dāng)?shù)难b置進(jìn)行 測定。優(yōu)選通過掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)進(jìn)行測定。例如，可以通 過SEM或TEM測定來自碳納米管集合體的至少10根、優(yōu)選20根以上的碳納米管，評價層數(shù) 和層數(shù)分布。上述最大層數(shù)優(yōu)選為1 30層，更優(yōu)選為1 25層，進(jìn)一步優(yōu)選為2 25層。上 述最小層數(shù)，優(yōu)選為1 10層更優(yōu)選為1 5層。本發(fā)明中，通過使碳納米管的層數(shù)的最 大層數(shù)和最小層數(shù)處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具有更高的比表面積，而且，該碳納米 管能夠得到具有對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘 合特性的碳納米管集合體。上述層數(shù)分布的最頻值的相對頻度優(yōu)選為1 25%，更優(yōu)選5 25%，進(jìn)一步優(yōu) 選10 25%，特別優(yōu)選15 25%。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻值的相對頻度處于 上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具有更高的比表面積，而且，該碳納米管能夠得到具有對表面 自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的碳納米管集合 體。上述層數(shù)分布的最頻值優(yōu)選存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層，更優(yōu)選存在于層數(shù)2層 至層數(shù)10層，進(jìn)一步優(yōu)選存在于層數(shù)3層至層數(shù)10層。本發(fā)明中，通過使層數(shù)分布的最頻 值處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具有更高的比表面積，而且，該碳納米管能夠得到具有 對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的碳納米 管集合體。作為上述碳納米管的形狀，其橫截面可以具有任意適當(dāng)?shù)男螤?。例如，其橫截面可 以列舉大致圓形、橢圓形、η邊形(η為3以上的整數(shù))等。上述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的長度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)拈L度。具有多層的碳納米管 優(yōu)選包含長度為300 μ m以上的碳納米管。上述碳納米管的長度更優(yōu)選為300 10000 μ m, 進(jìn)一步優(yōu)選為300 5000 μ m，特別優(yōu)選為300 2000 μ m。本發(fā)明中，通過使碳納米管的 長度處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具有更高的比表面積，而且，該碳納米管能夠得到具 有對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的碳納 米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)中，上述具有多層
14的碳納米管中的長度為300 μ m以上的碳納米管的含有比例優(yōu)選為80 100%，更優(yōu)選為 90 100%，進(jìn)一步優(yōu)選為95 100%，特別優(yōu)選為98 100%，最優(yōu)選實(shí)質(zhì)上為100%。 這里，所謂“實(shí)質(zhì)上為100%”，意指在測定儀器的檢測限度內(nèi)為100%。本發(fā)明的作為碳納 米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)中，通過使上述具有多層的碳納米管中的長度 為300μπι以上的碳納米管的含有比例處于上述范圍內(nèi)，該碳納米管能夠具備更高的比表 面積，該碳納米管能夠得到具有對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著 體選擇性)的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)在室溫中對玻璃 面的剪切粘合力優(yōu)選為15N/cm2以上。更優(yōu)選為20 500N/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為30 100N/ cm2，特別優(yōu)選為30 80N/cm2，特別優(yōu)選為35 50N/cm2。上述碳納米管的比表面積、密度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)，以對表面自由能 a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的表面自 由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B時的(其中a > b)B/A的值為0. 8 1. 2，優(yōu)選 為0. 85 1. 15，更優(yōu)選為0. 9 1. 1。通過使以對表面自由能a的附著體的室溫中的剪切 粘合力為A，以對與表面自由能a的差為25mJ/m2以上的表面自由能b的附著體的室溫中的 剪切粘合力為B時的(其中a > b) B/A的值為0. 8 1. 2，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4) 可以得到具有對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合 特性的碳納米管集合體。上述碳納米管的比表面積、密度可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹?。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)優(yōu)選在250°C氛 圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0. 8 1. 2倍，更優(yōu)選為 0.85 1. 15倍，進(jìn)一步優(yōu)選為0.9 1. 1倍。通過使250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力 為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0.8 1.2倍，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)能夠具 備優(yōu)異的耐熱性，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)能夠得到在室溫至高溫的溫度條件下顯 示優(yōu)異的粘合特性的碳納米管集合體。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)在壓接于半導(dǎo)體 晶片而粘合之后進(jìn)行剝離時，殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選 為30個/4英寸晶片以下，更優(yōu)選為25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶 片以下。更具體而言，在4英寸晶片上以5kg輥?zhàn)訅航愚D(zhuǎn)印在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為 碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)而貼合之后，以180°進(jìn)行剝離時的殘留 于剝離后的半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)優(yōu)選為30個/4英寸晶片以下， 更優(yōu)選為25個/4英寸晶片以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20個/4英寸晶片以下。由于本發(fā)明的作 為碳納米管的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)優(yōu)選將該集合體如上所述在半導(dǎo)體晶片上壓 接、粘合之后進(jìn)行剝離時殘留于該半導(dǎo)體晶片上的大小為0. 28 μ m以上的顆粒數(shù)如上所述 為少數(shù)，因此，非污染性極其優(yōu)異。其中，評價上述非污染性時的180°剝離使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn)印 在聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)(壓接于半導(dǎo)體晶片而粘合)，壓接以5kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來回，以溫度23士2°C、濕度65士5% RH、 剝離速度300mm/min測定。本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)固定于聚丙烯樹 脂基材(厚度30 μ m)時，180°剝離的值優(yōu)選為lN/20mm以下，更優(yōu)選為0. 001 lN/20mm， 進(jìn)一步優(yōu)選為0. 001 0. 7N/20mm,更優(yōu)選為0. 001 0. 5N/20mm,特別優(yōu)選為0. 001 0.4N/20mm。由于本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(4)優(yōu)選固定 于聚丙烯樹脂基材(厚度30 μ m)時的180°剝離的值如上所述較小，因此輕剝離性極其優(yōu) 異。通常的粘合劑的180°剝離的值大于lN/20mm。其中，評價上述輕剝離性時的180°剝離使用拉伸壓縮試驗(yàn)機(jī)(MINEBEA生產(chǎn)的 “TG-lkN”)，以JIS C 2107的粘合力(180°剝離法)為基準(zhǔn)進(jìn)行測定。其中，試驗(yàn)片是轉(zhuǎn) 印在寬度為20mm的聚丙烯樹脂上的本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集 合體(4)，使用硅晶片(裸晶片，P型，KST制)作為試驗(yàn)板，壓接以2kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來 回，以溫度23士2°C、濕度65士5% RH、剝離速度300mm/min測定。[纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造方法]作為本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造方法，可以采用任意適當(dāng)?shù)姆椒ā?作為本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式的例子，說明作為碳納 米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造方法。作為本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造方法，可以 采用任意適當(dāng)?shù)姆椒?。例如，可以列舉如下方法在平滑的基板上構(gòu)成催化劑層，在利用熱、 等離子體等使催化劑活化的狀態(tài)下填充炭源，使碳納米管生長，通過上述這種化學(xué)氣相沉 積法(Chemical Vapor D印osition，CVD法)，制作沿著基本與基板垂直的方向取向的碳納 米管集合體。此時，取下基板，得到沿長度方向取向的碳納米管集合體。作為上述基板，可以采用任意適當(dāng)?shù)幕澹?，可以列舉具有平滑性、能夠承受 碳納米管制造的具有高溫耐熱性的材料。作為這樣的材料，例如，可以列舉石英玻璃、硅 (硅晶片等)、鋁等的金屬板等。作為用于制造本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的裝置， 可以采用任意適當(dāng)?shù)难b置。例如，作為熱CVD裝置，可以列舉如圖2所示的將筒狀的反應(yīng)容 器以電阻加熱式的電管狀爐包圍而構(gòu)成的熱壁型等。此時，作為反應(yīng)容器，例如，優(yōu)選使用 耐熱性的石英管等。作為本發(fā)明的作為碳納米管的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造中可以使用的催 化劑(催化層的材料)，可以使用任意適當(dāng)?shù)拇呋瘎＠?，可以列舉鐵、鈷、鎳、金、鉬、銀、 銅等金屬催化劑。制造本發(fā)明的作為碳納米管的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體時，根據(jù)需要，可以在基 板和催化劑層的中間設(shè)有氧化鋁/親水性膜。作為氧化鋁/親水性膜的制作方法，可以采用任意適當(dāng)?shù)姆椒ā＠纾梢酝ㄟ^在 基板上制作SiO2膜，蒸鍍Al之后，升溫至450°C使其氧化而得到。通過這樣的制作方法， Al2O3與親水性的SiO2膜相互作用，形成粒徑與直接蒸鍍Al2O3不同的Al2O3面。在基板上 不制作親水性膜，蒸鍍Al之后升溫至450°C使其氧化，則難以形成粒徑不同的Al2O3面。另 外，在基板上制作親水性膜，直接蒸鍍Al2O3，也難以形成粒徑不同的Al2O3面。
本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造中使用的催化 劑層的厚度，由于形成微粒，優(yōu)選為0. 01 20nm，更優(yōu)選為0. 1 lOnm。通過使本發(fā)明的 作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造中使用的催化劑層的厚度處于上 述范圍內(nèi)，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體能夠兼具優(yōu)異的機(jī)械特性和高比表面積，而且，該纖維狀柱 狀結(jié)構(gòu)體能夠形成顯示優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。催化劑層的形成方法 可以采用任意適當(dāng)?shù)姆椒?。例如，可以列舉將金屬催化劑通過EB(電子束)、濺射等進(jìn)行蒸 鍍的方法、在基板上涂布金屬催化劑微粒的懸濁液的方法等。作為本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造中可以使 用的炭源，可以使用任意適當(dāng)?shù)奶吭?。例如，可以列舉甲烷、乙烯、乙炔、苯等烴；甲醇、乙醇
等醇等。作為本發(fā)明的作為碳納米管集合體的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的制造中的制造 溫度，可以使用任意適當(dāng)?shù)臏囟?。例如，為了形成充分表現(xiàn)本發(fā)明的效果的催化劑顆粒，優(yōu) 選為400 1000°C，更優(yōu)選500 900°C，進(jìn)一步優(yōu)選600 800°C。[粘合部件]本發(fā)明的粘合部件是使用本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的粘合部件。本發(fā)明 的粘合部件優(yōu)選本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體具備基材，具體而言，可以列舉粘合片、 粘合膜。作為粘合部件的基材，可以列舉石英玻璃、硅(硅晶片等)、工程塑料、超級工程塑 料等。作為工程塑料和超級工程塑料的具體例子，可以列舉聚亞酰胺、聚乙烯、聚對苯二甲 酸乙二醇酯、乙酰纖維素、聚碳酸酯、聚丙烯、聚酰胺。在可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)， 可以采用任意適當(dāng)?shù)奈镄??；牡暮穸?，根?jù)目的，可以設(shè)定為任意適當(dāng)?shù)闹怠＠?，為硅基板時，優(yōu)選為 100 10000 μ m，更優(yōu)選為100 5000 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為100 2000 μ m。例如，為聚丙烯 基板時，優(yōu)選為1 1000 μ m,更優(yōu)選為1 500 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為5 100 μ m。為了提高上述基材的表面與鄰接的層的密合性、保持性等，可以實(shí)施慣用的表面 處理，例如，鉻酸處理、臭氧暴露、火焰暴露、高壓電擊暴露、離子化放射線處理等化學(xué)或者 物理處理、利用底涂劑(例如上述粘合性物質(zhì))實(shí)施涂布處理。上述基材可以為單層，也可以為多層體。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體固定于基材時，作為其方法，可以采取任意適 當(dāng)?shù)姆椒?。例如，可以原樣將纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的制造中使用的基板作為基材。另外，也可 以在基材上設(shè)有粘合層而固定。另外，基材為熱固性樹脂時，可以以反應(yīng)前的狀態(tài)制作薄 膜，將碳納米管的一端壓接在薄膜層上之后，進(jìn)行固化處理而固定。另外，基材為熱塑性樹 脂或金屬等時，可以以熔融狀態(tài)將纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的一端壓接之后，冷卻至室溫而固定。實(shí)施例以下，基于實(shí)施例說明本發(fā)明，但是本發(fā)明不受這些實(shí)施例所限定。其中，纖維狀 柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑、直徑分布的評價，纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集 合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的層數(shù)、層數(shù)分布的評價，纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的剪切粘 合力的測定，附著體的表面自由能的評價，通過以下方法進(jìn)行。<纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑、直徑分布的評價>
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本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑和直徑分布通 過掃描電子顯微鏡(SEM)和/或透射電子顯微鏡(TEM)而測定。利用SEM和/或TEM觀察 來自所得到的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的至少10根以上、優(yōu)選20根以上的纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體，研究各纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑，作出直徑分布。<纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的層數(shù)、層數(shù)分布的評價>本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的層數(shù)和層數(shù)分布通 過掃描電子顯微鏡(SEM)和/或透射電子顯微鏡(TEM)而測定。利用SEM和/或TEM觀察 來自所得到的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體中的至少10根以上、優(yōu)選20根以上的纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體，研究各纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的層數(shù)，作出層數(shù)分布。<纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的剪切粘合力的測定方法(A) >在玻璃(MATSUNAMI，載玻片，27mmX56mm)上載置切為Icm2單位面積的帶有基材 的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，使其前端接觸，使5kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來回而將纖維狀柱狀 結(jié)構(gòu)體的前端壓接于玻璃上。之后，放置30分鐘。用拉伸試驗(yàn)機(jī)(Instro Tensil Tester) 以拉伸速度50mm/min、以25°C或250°C進(jìn)行剪切試驗(yàn)，將得到的峰作為剪切粘合力。<纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體的剪切粘合力的測定方法(B)>在玻璃(MATSUNAMI，載玻片，27_X 56_，表面自由能=64. 4mJ/m2)和PP板(新 神戶電機(jī)(株)生產(chǎn)，Kobe Polysheet PP_N_AN，表面自由能=29. 8mJ/m2)上分別載置切 為Icm2單位面積的帶有基材的碳納米管集合體，使其前端接觸，使5kg的輥?zhàn)舆M(jìn)行一個來 回而將碳納米管的前端壓接于玻璃上。之后，放置30分鐘。用拉伸試驗(yàn)機(jī)(InstroTensil Tester)以拉伸速度50mm/min、以25°C進(jìn)行剪切試驗(yàn)，將得到的峰作為剪切粘合力。<附著體的表面自由能的評價>在附著體的表面滴下3種液體(水、甘油、二碘甲烷)之后，測定IOOms的接觸角， 使用該值由以下的方法求出表面自由能。表面自由能的計(jì)算方法
YL(l+cos0) =2(yLd· ysd)1/2+2(yLp. ysp)1/2....·· (1)
Y L 接觸角測定中使用的液體的表面自由能
Y Ld 液體的表面自由能的分散成分
Y Lp 液體的表面自由能的極性成分
Ys:欲求出的固體的表面自由能
Y sd 固體的表面自由能的分散成分
Ysp 固體的表面自由能的極性成分
將式(1)變形為(Y LP" Ld)1/2 和 YL(l+cos0)/2(yLd)1/2 的—々欠函數(shù)，
Y L(l+cos 0)/2(yLd)1/2 = (y sp)1/2 (yLp/y Ld)1/2+ ( Yd\ 1/2 5 / · · · ··· (2)
根據(jù)式⑵，分別將[傾斜度]平方，將[切片]平方，求出YΛ Υ Λ作為Y Sd+ Y Sp算出表面自由能。
[實(shí)施例1]
(碳納米管集合體的制作)
在表面具有SiO2膜的硅基板(帶有熱氧化膜的晶片，KST制，SiO2膜厚=
SiO2和硅基板的合計(jì)厚度=550 μ m)上，利用真空蒸鍍裝置(JE0L生產(chǎn)，JEE-4X VacuumEvaporator)形成Al薄膜(厚度為lOnm)之后，在450°C實(shí)施1小時氧化處理。這樣操作， 在硅基板上形成Al2O3膜。在該Al2O3膜上，使用濺射裝置(ULVAC生產(chǎn)，RFS-200)進(jìn)一步蒸 鍍Fe薄膜(厚度為2nm)而形成催化劑層。接著，切割帶有催化劑層的硅基板，載置于30mm φ的石英管內(nèi)，在石英管內(nèi)流通保 持水分率為350ppm的氦/氫(120/80sCCm)的混合氣體30分鐘，取代管內(nèi)氣體。之后，使 用電管狀爐將管內(nèi)以35分鐘階段升溫至765V，穩(wěn)定于765V。在765°C放置10分鐘之后， 保持溫度，在管內(nèi)填充氦/氫/乙烯(105/80/15sCCm，水分率350ppm)的混合氣體，放置30 分鐘使碳納米管在基板上生長，得到碳納米管集合體(1)。碳納米管集合體(1)具備的碳納米管的長度為638 μ m。碳納米管集合體(1)具備的碳納米管的層數(shù)分布如圖3所示。如圖3所示，最頻 值存在于4層和8層，相對頻度為20%。另外，也測定了碳納米管集合體(1)的直徑分布的分布寬度、直徑分布的最頻值 和該最頻值的相對頻度。結(jié)果總結(jié)于表1中。(剪切粘合力的測定)將聚丙烯樹脂(旭洋紙紙漿株式會社生產(chǎn)，厚度為30 μ m)在熱盤上加熱至200°C， 使其熔融。將上述在基板上垂直取向而形成的碳納米管的一端(上端)壓接于熔融的聚丙 烯樹脂上之后，冷卻至室溫而固定。這樣操作，得到帶有基材的碳納米管集合體(1)。以帶有基材的碳納米管集合體(1)作為樣品，在25°C測定剪切粘合力(測定方法 (A))。剪切粘合力為44.6N/cm2。結(jié)果總結(jié)于表1中。[實(shí)施例2]除了在管內(nèi)填充氦/氫/乙烯(105/80/15sCCm，水分率350ppm)的混合氣體，放置 20分鐘使碳納米管在基板上生長以外，與實(shí)施例1同樣地制作了碳納米管集合體(2)。碳納米管集合體(2)具備的碳納米管的長度為420 μ m。碳納米管集合體(2)具備的碳納米管的層數(shù)分布如圖4所示。如圖4所示，最頻 值存在于9層，相對頻度為20%。另外，也測定了碳納米管集合體(2)的直徑分布的分布寬度、直徑分布的最頻值 和該最頻值的相對頻度。與實(shí)施例1同樣操作，得到帶有基材的碳納米管集合體(2)。以帶有基材的碳納米管集合體(2)作為樣品，在25°C測定剪切粘合力(測定方法 (A)) 0剪切粘合力為36. lN/cm2。結(jié)果總結(jié)于表1中。[比較例1]在硅基板(ELECTRONICS AND生產(chǎn)，厚度為525 μ m)上，利用真空蒸鍍裝置(JE0L 生產(chǎn)，JEE-4X Vacuum Evaporator)形成Al薄膜(厚度為IOnm)之后，在450°C實(shí)施1小時 氧化處理。這樣操作，在硅基板上形成Al2O3膜。在該Al2O3膜上，使用濺射裝置(ULVAC生 產(chǎn)，RFS-200)進(jìn)一步蒸鍍Fe薄膜(厚度為0. 67nm)而形成催化劑層。接著，切割帶有催化劑層的硅基板，載置于30mm φ的石英管內(nèi)，在石英管內(nèi)流通保
19持水分率為350ppm的氦/氫(120/80sCCm)的混合氣體30分鐘，取代管內(nèi)氣體。之后，使 用電管狀爐將管內(nèi)以35分鐘階段升溫至765V，穩(wěn)定于765V。在765°C放置10分鐘之后， 保持溫度，在管內(nèi)填充氦/氫/乙烯(105/80/15sCCm，水分率350ppm)的混合氣體，放置30 分鐘使碳納米管在基板上生長，得到碳納米管集合體(Cl)。碳納米管集合體(Cl)具備的碳納米管的長度為799 μ m。碳納米管集合體(Cl)具備的碳納米管的層數(shù)分布如圖5所示。如圖5所示，最頻 值存在于4層，相對頻度為27%。另外，也測定了碳納米管集合體(Cl)的直徑分布的分布寬度、直徑分布的最頻值 和該最頻值的相對頻度。結(jié)果總結(jié)于表1中。(剪切粘合力的測定)將聚丙烯樹脂(旭洋紙紙漿株式會社生產(chǎn)，厚度為30 μ m)在熱盤上加熱至200°C， 使其熔融。將上述在基板上垂直取向而形成的碳納米管的一端(上端)壓接于熔融的聚丙 烯樹脂上之后，冷卻至室溫而固定。這樣操作，得到帶有基材的碳納米管集合體(Cl)。以帶有基材的碳納米管集合體(Cl)作為樣品，在25°C測定剪切粘合力(測定方法 (A))。剪切粘合力為7.9N/cm2。結(jié)果總結(jié)于表1中。[表1]
權(quán)利要求
1.一種纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 具備具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的分布寬度為IOnm以上，該直徑分 布的最頻值的相對頻度為30%以下。
2.如權(quán)利要求1所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述直徑分布的最頻值存在于5nm至15nm的范圍內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于所述具有多個直 徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體沿長度方向取向。
4.如權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 還具備基材，所述纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的一端固定于該基材上。
6.一種纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其是碳納米管集合體，其特征在于 具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管， 該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的 相對頻度為25%以下。
7.如權(quán)利要求6所述的碳納米管集合體，其特征在于 所述層數(shù)分布的最頻值存在于層數(shù)2層至層數(shù)10層的范圍內(nèi)。
8.如權(quán)利要求6或7所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于所述具有多層的 碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。
9.如權(quán)利要求6 8中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。
10.如權(quán)利要求6 9中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。
11.如權(quán)利要求6 10中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 還具備基材，所述碳納米管的一端固定于該基材上。
12.—種纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其是碳納米管集合體，其特征在于 具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管， 該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的 相對頻度為25%以下，250°C氛圍下對玻璃面的剪切粘合力為室溫中對玻璃面的剪切粘合力的0. 8 1. 2倍。
13.如權(quán)利要求12所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述具有多層的碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。
14.如權(quán)利要求12或13所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于所述層數(shù)分布 的最頻值存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層的范圍內(nèi)。
15.如權(quán)利要求12 14中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。
16.如權(quán)利要求12 15中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。
17.如權(quán)利要求12 16中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 還具備基材，所述碳納米管的一端固定于該基材上。
18.—種纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其是碳納米管集合體，其特征在于 具備多個纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體為碳納米管，該碳納米管是具有多層的碳納米管， 該具有多層的碳納米管的層數(shù)分布的分布寬度為10層以上，該層數(shù)分布的最頻值的 相對頻度為25%以下，以對表面自由能a的附著體的室溫中的剪切粘合力為A，以對與表面自由能a的差為 25mJ/m2以上的表面自由能b的附著體的室溫中的剪切粘合力為B，B/A的值為0. 8 1. 2， 其中，a > b。
19.如權(quán)利要求18所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述具有多層的碳納米管包含長度為300 μ m以上的碳納米管。
20.如權(quán)利要求18或19所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于所述層數(shù)分布 的最頻值存在于層數(shù)1層至層數(shù)10層的范圍內(nèi)。
21.如權(quán)利要求18 20中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 所述具有多層的碳納米管沿長度方向取向。
22.如權(quán)利要求18 21中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 室溫中對玻璃面的剪切粘合力為15N/cm2以上。
23.如權(quán)利要求18 22中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體，其特征在于 還具備基材，所述碳納米管的一端固定于該基材上。
24.一種粘合部件，其特征在于使用權(quán)利要求1 23中任一項(xiàng)所述的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有優(yōu)異的機(jī)械特性、高比表面積、優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。本發(fā)明還提供一種具有優(yōu)異的耐熱性、高比表面積、在從室溫至高溫的溫度條件下具有優(yōu)異的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。本發(fā)明還提供一種具有高比表面積、對表面自由能不同的附著體的粘合力不發(fā)生變化(無附著體選擇性)的粘合特性的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體。本發(fā)明還提供一種使用這樣的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體得到的粘合部件。本發(fā)明的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體集合體(1)具備具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體，該具有多個直徑的纖維狀柱狀結(jié)構(gòu)體的直徑分布的分布寬度為10nm以上，該直徑分布的最頻值的相對頻度為30％以下。
文檔編號C01B31/02GK102007071SQ20098011356
公開日2011年4月6日 申請日期2009年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月16日
發(fā)明者中山喜萬, 前野洋平, 平原佳織 申請人:日東電工株式會社