專利名稱：甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過烷氧基硅烷的歧化反應(yīng)來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法。
背景技術(shù)：
甲硅烷作為高純度的揮發(fā)性硅材料是有用的，廣泛用于制造太陽能電池、半導(dǎo)體、 無定形硅感光材料、各種陶瓷材料。甲硅烷的制造方法迄今為止已知有各種方法，已知使用硅化鎂與酸或溴化銨反應(yīng)的方法、用LiAlH4還原氯化硅的方法、用CaH2還原四氟化硅的方法、采用烷氧基硅烷進(jìn)行的歧化反應(yīng)的方法。上述烷氧基硅烷的歧化反應(yīng)通常使用三烷氧基硅烷作為起始物質(zhì)，根據(jù)下式來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷。4HSi (OR) 3 — SiH4+3Si (OR) 4與甲硅烷同樣地，四烷氧基硅烷也是作為用于生產(chǎn)光纖、光掩模、IC用密封材料的不同硅化合物的純硅前體材料有用的化學(xué)物質(zhì)。使用三乙氧基硅烷和三甲氧基硅烷作為上述歧化反應(yīng)的起始物質(zhì)，如以下式所示那樣，四乙氧基硅烷和四甲氧基硅烷與甲硅烷一起分別被生產(chǎn)出。4HSi (OMe) 3 — SiH4+3Si (OMe) 44HSi (OEt) 3 — SiH4+3Si (OEt) 4在進(jìn)行上述反應(yīng)時(shí)，可以使用金屬鈉作為歧化反應(yīng)的催化劑。然而，該反應(yīng)的收率較低，因此，該方法在實(shí)用上是沒有用的。在專利文獻(xiàn)1中記載了使用堿金屬醇鹽或堿金屬硅酸鹽作為催化劑的方法。然而，在液相中反應(yīng)非常慢，反應(yīng)時(shí)間大于10小時(shí)，因此不適合工業(yè)制造。在專利文獻(xiàn)2中公開了一種甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法，是使通式艮51(( )4_11[式中，11是1、2或3，1 表示烷基或環(huán)烷基。]所示的烷氧基硅烷進(jìn)行歧化，來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法，包括如下工序(i)使烷氧基硅烷在催化劑的存在下在溶劑中進(jìn)行歧化反應(yīng)，來獲得甲硅烷和四烷氧基硅烷的反應(yīng)工序，(ii)從反應(yīng)工序中取出含有催化劑和四烷氧基硅烷的溶劑的一部分的工序，(iii)通過蒸餾從取出的含有催化劑和四烷氧基硅烷的溶劑中分離出四烷氧基硅烷的一部分或全部的工序。然而，該方法也是在溶液中進(jìn)行歧化反應(yīng)，存在與溶劑難以分離的問題和反應(yīng)速度不夠高的問題。專利文獻(xiàn)1 第4016188號(hào)美國專利說明書專利文獻(xiàn)2 日本特開2001-19418號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種通過烷氧基硅烷的歧化反應(yīng)來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法，其可以解決上述那樣的與溶劑難以分離的問題和由于反應(yīng)非常慢而不適合工業(yè)制造的問題。本發(fā)明者為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過使下述通式(1)所示的烷氧基硅烷在包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑(catalyst activator)的存在下、在氣相中進(jìn)行歧化反應(yīng)可以解決上述課題，HnSi(OR)4-n(1)式中，R表示碳原子數(shù)1 6的烷基，η是1 3的整數(shù)。即，本發(fā)明涉及以下事項(xiàng)。[1], 一種甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法，其特征在于，使通式⑴所示的烷氧基硅烷在包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑的存在下、在氣相中進(jìn)行歧化反應(yīng)，HnSi(OR)4^n(1)式中，R表示碳原子數(shù)1 6的烷基，η是1 3的整數(shù)。[2],根據(jù)上述[1]所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀。[3],根據(jù)上述[2]所述的方法，所述氟化鉀是氟化鉀二水合物。[4],根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式(2)所示的四(二烷基氨基)鹵化鎮(zhèn)，(R1R2N) 4Ρ1Γ(2)式中，R1和R2彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或F。[5],根據(jù)上述[4]所述的方法，所述四(二烷基氨基)鹵化禱是四(二乙基氨基)溴化翁。[6],根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是1，4_ 二氮雜二環(huán)[2. 2. 2]辛烷。[7],根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式(3)所示的六烷基商化胍，[(R3R4N)2CNR5R6JT(3)式中，R3、R4、R5和R6彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或F。[8],根據(jù)上述[7]所述的方法，所述六烷基鹵化胍是六乙基氯化胍。[9],根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式⑷所示的四烷基氯化銨，R7R8R9R10NXF(4)式中，R7、R8、R9和Rw彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 4的烷基。[10].根據(jù)上述[9]所述的方法，所述四烷基氯化銨是四丁基氯化銨。[11].根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是氟化鈣。[12].根據(jù)上述[2]所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀，所述催化劑活化劑是氟化鈣，所述氟化鉀與所述氟化鈣形成三氟化鈣鉀，從而催化劑與催化劑活化劑成為一體。[13].根據(jù)上述[11]所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀，所述催化劑活化劑是氟化鈣，所述氟化鉀與所述氟化鈣形成三氟化鈣鉀，從而催化劑與催化劑活化劑成為一體。[14].根據(jù)上述[1] [3]的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式(5)所示的低聚乙二醇二甲醚，H3C-O- (CH2CH2O)m-CH3 (5)式中，m是2 8的整數(shù)。[15].根據(jù)上述[1]所述的方法，所述通式(1)的η是1。[16].根據(jù)上述[15]所述的方法，所述通式(1)中的η是1的烷氧基硅烷是三甲
氧基硅烷。本發(fā)明的方法是通過烷氧基硅烷的歧化來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法，使用特定的催化劑和催化劑活化劑，在氣相中進(jìn)行反應(yīng)，從而可以解決與溶劑難以分離的問題和反應(yīng)速度不夠高的問題。
具體實(shí)施例方式以下，對本發(fā)明涉及的甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明是甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法，其特征在于，使下述通式(1)所示的烷氧基硅烷在包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑的存在下、在氣相中進(jìn)行歧化反應(yīng)。HnSi(OR)4^n(1)(式中，R表示碳原子數(shù)1 6的烷基，η是1 3的整數(shù)。)作為本發(fā)明的歧化反應(yīng)的起始物質(zhì)的通式(1)所示的烷氧基硅烷，可以列舉單烷氧基硅烷、二烷氧基硅烷或三烷氧基硅烷。R是碳原子數(shù)1 6的烷基，優(yōu)選為碳原子數(shù)1 2的烷基。作為特別優(yōu)選的烷氧基硅烷，可以列舉單甲氧基硅烷、二甲氧基硅烷、三甲氧基硅烷、單乙氧基硅烷、二乙氧基硅烷和三乙氧基硅烷。其中，最優(yōu)選為三甲氧基硅烷和三乙氧基娃焼。本發(fā)明方法的歧化反應(yīng)中需要由至少2種成分，即包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑構(gòu)成的催化劑組合物。催化劑組合物的第1成分是堿金屬氟化物，選自MeF。此處，Me是指堿金屬。具體而言，堿金屬氟化物可以包括LiF、NaF、KF或CsF。其中，優(yōu)選為氟化鈉、氟化鉀和氟化銫。作為催化劑組合物的第2成分的催化劑活化劑選自以下有機(jī)或無機(jī)的化合物。首先，作為第1種催化劑活化劑，可以使用下述通式( 所示的四(二烷基氨基) 鹵化善作為催化劑活化劑。(R1R2N) 4P+X"(2)(式中，R1和R2彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或F。)特別是，可以優(yōu)選使用四(二乙基氨基)溴化禱(化學(xué)式(Et2N)4PBr15以下有時(shí)記為TDAPB。)作為催化劑活化劑。通式(2)所示的四(二烷基氨基)鹵化禱優(yōu)選相對于 100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合0. 1 20質(zhì)量份。作為第2種催化劑活化劑，可以列舉1，4_ 二氮雜二環(huán)[2. 2. 2]辛烷(以下有時(shí)記為DABC0。)。在該情況下，不僅是DABC0，與DABCO相關(guān)的芳香族和脂肪族結(jié)構(gòu)的環(huán)狀叔胺(例如，N，N’ - 二烷基哌嗪、N，N’ - 二烷基-2，5-二氮雜二環(huán)[2. 2. 1]庚烷、1，5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]壬-5-烯、吡嗪)也是有效的有機(jī)催化劑活化劑。例如，可以使用使DABCO溶液浸漬在市售的氟化氫鉀(KF HF)中，然后干燥并進(jìn)行熱處理而得的催化劑活化劑。DABCO 優(yōu)選相對于100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合0. 01 20質(zhì)量份。作為第3種催化劑活化劑，可以列舉下述通式(3)所示的六烷基鹵化胍。[(R3R4N)2CNR5R6JT(3)(式中，R3、R4、R5和R6彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或 F。)具體而言，可以優(yōu)選使用[(Et2N)2CNEtJCl所示的六乙基氯化胍(以下有時(shí)記為 HEGC。)。通式(3)所示的六烷基鹵化胍優(yōu)選相對于100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合0. 5 30質(zhì)量份。作為第4種催化劑活化劑，可以列舉下述通式(4)所示的四烷基氯化銨。R7R8R9R10N+CF(4)(式中，R7、R8、R9和Rki彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 4的烷基。)特別是，作為上述四烷基氯化銨，優(yōu)選為四丁基氯化銨(以下有時(shí)記為TBAC。)。特別是，在堿金屬氟化物為氟化鉀二水合物的情況下，優(yōu)選在該氟化鉀二水合物中添加TBAC 添加物。該類型的催化劑組合物可以如下調(diào)制在乙腈溶液中，將市售的TBAC與氟化鉀二水合物進(jìn)行攪拌，通過干燥來調(diào)制。通式(4)所示的四烷基氯化銨優(yōu)選相對于100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合0. 6 40質(zhì)量份。作為第5種催化劑活化劑，可以列舉氟化鈣。在使用氟化鉀作為堿金屬氟化物，使用氟化鈣作為催化劑活化劑的催化劑組合物的情況下，優(yōu)選使用由氟化鉀和氟化鈣形成三氟化鈣鉀(化學(xué)式為KCaF3),從而催化劑與催化劑活化劑成為一體的催化劑組合物。三氟化鈣鉀可以通過將氟化鉀與氟化鈣劇烈地進(jìn)行機(jī)械粉碎而活化來獲得?；蛘撸ㄟ^在氟化鈣(化學(xué)式為CaF2)的粒子表面擔(dān)載氟化鉀并進(jìn)行退火，從而可以在表面形成KCaF3來調(diào)制。氟化鈣優(yōu)選相對于100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合30 150質(zhì)量份。作為第6種催化劑活化劑，可以列舉下述通式( 所示的低聚乙二醇二甲醚(以下有時(shí)記為甘醇二甲醚(glyme)作為簡稱。)。H3C-O- (CH2CH2O)m-CH3 (5)(式中，m是2 8的整數(shù)。)作為使用了該催化劑活化劑的情況下的催化劑組合物，可以如下獲得例如在加熱到60°C的情況下，在六乙二醇二甲醚(六甘醇二甲醚)即通式(5)中的m = 6的化合物中直接浸漬氟化鉀粒子，從而獲得。通式( 所示的低聚乙二醇二甲醚優(yōu)選相對于100質(zhì)量份堿金屬氟化物配合40 1000質(zhì)量份。本發(fā)明方法中的催化劑組合物基本上以固體的形式使用。包含堿金屬氟化物和上述有機(jī)催化劑活化劑的催化劑組合物可以通過幾種適當(dāng)?shù)姆椒▉碚{(diào)制。用于調(diào)制催化劑組合物的一般步驟是，將分散的堿金屬氟化物和添加的催化劑活化劑進(jìn)行混合，根據(jù)需要繼續(xù)進(jìn)行處理。一般方法是使催化劑活化劑的極性有機(jī)溶劑溶液滲透到堿金屬氟化物的固體分散體的表面，來擔(dān)載催化劑活化劑的方法。
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調(diào)制催化劑組合物的另一方法是，用催化劑活化劑對粒狀堿金屬氟化物進(jìn)行處理，然后進(jìn)行熱處理。作為其它調(diào)制方法的例子，在使用市售的二氟化鈣的片劑作為催化劑活化劑的情況下，該片劑可以作為擔(dān)載堿金屬氟化物的載體使用。這樣獲得的催化劑組合物相對于100質(zhì)量份起始物質(zhì)的烷氧基硅烷使用至少 0. 02質(zhì)量份的量是有效的。該催化劑組合物通常使用0. 02 50質(zhì)量份，優(yōu)選為0. 1 20
質(zhì)量份。歧化反應(yīng)可以通過間歇式和連續(xù)流通式兩者來實(shí)施。作為起始原料使用的通式 (1)所示的烷氧基硅烷和催化劑組合物的化學(xué)反應(yīng)性不高，因此，可以在對裝置的材料沒有特別限制的情況下實(shí)施該工藝。因此，由于可以使用各種不同類型的反應(yīng)器，因而也可以說是適合工業(yè)制造工藝的催化劑系統(tǒng)。歧化反應(yīng)的反應(yīng)溫度優(yōu)選在加熱下進(jìn)行反應(yīng)。優(yōu)選的溫度根據(jù)使用的起始物質(zhì)的烷氧基硅烷不同，在100 200°C的范圍。歧化反應(yīng)的反應(yīng)壓力可以在0. 2 10大氣壓的范圍進(jìn)行，由于不顯著依賴于壓力，因此優(yōu)選在大氣壓下實(shí)施工藝。已知反應(yīng)產(chǎn)物的甲硅烷一旦與空氣接觸就會(huì)起火。因此，為了防止包含甲硅烷的反應(yīng)介質(zhì)與空氣氧氣接觸而起火，反應(yīng)優(yōu)選在氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w氣氛中進(jìn)行。通過反應(yīng)而生成的甲硅烷的沸點(diǎn)為-111. 9°C，將其從反應(yīng)器中取出之后，以氣狀被捕集。在間歇式的情況下，四烷氧基硅烷殘留在反應(yīng)器內(nèi)。在使用流通式反應(yīng)器的情況下，四烷氧基硅烷與未反應(yīng)的三烷氧基硅烷通過反應(yīng)器，四烷氧基硅烷被冷凝，三烷氧基硅烷回到催化反應(yīng)器中。本發(fā)明中使用的催化劑在起始物質(zhì)和反應(yīng)產(chǎn)物兩者中為不溶性，因而可以長期使用。
實(shí)施例以下，通過實(shí)施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。比較例1 活性型氟化鉀如下調(diào)制通過將氟化鉀和干燥甲醇溶液(1 13 20質(zhì)量份)在減壓下使溶劑慢慢地蒸發(fā)，來進(jìn)行氟化鉀的重結(jié)晶，然后一邊使其升溫一邊進(jìn)行干燥。純化中使用的甲醇優(yōu)選不僅適合純度大于99. 9%的美國藥典試驗(yàn)(A.C.S.)，而且利用干燥氮?dú)鈿夥?。在使甲醇蒸發(fā)的階段，優(yōu)選25 35°C的溫度。接下來在真空中的干燥要在75 120°C的溫度下進(jìn)行至少5 6小時(shí)。氟化鉀擔(dān)載氧化鋁按照如下方法來調(diào)制。將粒徑為0. 3 1. Omm的中性氧化鋁 30g和氟化鉀20g與200ml去離子水進(jìn)行混合。一邊微弱脫氣一邊使溶劑在50 60°C下蒸發(fā)。將殘留的產(chǎn)物一邊脫氣一邊干燥3小時(shí)。調(diào)制甲硅烷和四烷氧基硅烷的工藝如下實(shí)施。在具備電爐的Pyrex(注冊商標(biāo))玻璃制反應(yīng)管中填充1. Og氟化鉀擔(dān)載氧化鋁， 加熱到120°C。將蒸發(fā)出的三甲氧基硅烷(流速為3. 5ml/分鐘)和氦氣(流速為35ml/分鐘)的混合物在預(yù)熱器中加熱到120°C，然后供給到反應(yīng)管中，在120°C下實(shí)施歧化反應(yīng)。每隔20分鐘通過氣相色譜(GC)對從反應(yīng)管出來的氣狀反應(yīng)混合物進(jìn)行分析。
在反應(yīng)開始10分鐘后，未反應(yīng)的三甲氧基硅烷、甲硅烷和四甲氧基硅烷的比例在反應(yīng)產(chǎn)物中實(shí)質(zhì)上恒定。二甲氧基硅烷和單甲氧基硅烷在經(jīng)過最初的1小時(shí)后在反應(yīng)中檢測不到。進(jìn)行5小時(shí)流通反應(yīng)之后的分析結(jié)果如下所示。即，三甲氧基硅烷的轉(zhuǎn)化率為63%，甲硅烷相對于被供給的三甲氧基硅烷的收率為63% (甲硅烷相對于轉(zhuǎn)化了的三甲氧基硅烷的收率為100% )、四甲氧基硅烷相對于被供給的三甲氧基硅烷的收率為63% (四甲氧基硅烷相對于轉(zhuǎn)化了的三甲氧基硅烷的收率為 100% )0通過GC也檢測不到任何副產(chǎn)物。實(shí)施例1 6 對使用了表1所示各種催化劑活化劑的、以氟化鉀為基礎(chǔ)的催化劑組合物的活性進(jìn)行試驗(yàn)，其結(jié)果示于表1。三甲氧基硅烷的歧化反應(yīng)和產(chǎn)物的分析采用與比較例同樣的方法來實(shí)施。關(guān)于催化劑的調(diào)制方法的特點(diǎn)也示于表1。氟化鉀與比較例同樣地進(jìn)行調(diào)制。在表1中記載的全部實(shí)施例中，通過氣相色譜分析，結(jié)果檢測不到除甲硅烷和四甲氧基硅烷以外的產(chǎn)物，在反應(yīng)混合物中未發(fā)現(xiàn)醇和/或六甲氧基二硅氧烷的二聚體等其它反應(yīng)產(chǎn)物。因此，工藝的選擇率是，轉(zhuǎn)化了的三甲氧基硅烷為100%。使用了的全部催化劑在起始物質(zhì)和反應(yīng)產(chǎn)物中都是不溶的。在反應(yīng)期間也未發(fā)現(xiàn)催化劑的質(zhì)量減少。在5小時(shí)反應(yīng)期間也未發(fā)現(xiàn)催化活性降低。由表1所示的結(jié)果可知，本發(fā)明的催化劑的效率較高。這些結(jié)果是通過流通式的反應(yīng)而獲得的，可以容易地適用于以連續(xù)工業(yè)規(guī)模來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷。比較例2:不使用堿金屬氟化物，對單獨(dú)催化劑活化劑的催化活性進(jìn)行比較實(shí)驗(yàn)。這些比較實(shí)驗(yàn)在比較例1中記載的條件下進(jìn)行。采用與比較例1同樣的方法將催化劑活化劑涂布在氧化鋁載體上。其結(jié)果是，催化劑活化劑本身的催化活性較低，三甲氧基硅烷的轉(zhuǎn)化率小于14%。 只有氧化鋁擔(dān)載TBAC，其三甲氧基硅烷的轉(zhuǎn)化率為沈％，選擇率為66%。因此，明確了催化劑活化劑本身的催化活性較低。實(shí)施例7 12:對其它催化劑組合物的催化活性進(jìn)行試驗(yàn)，其結(jié)果示于表1。對三甲氧基硅烷的歧化反應(yīng)和產(chǎn)物，與比較例同樣地進(jìn)行試驗(yàn)。在催化劑活化劑與實(shí)施例1 6中使用的催化劑活化劑相同的情況下，采用同樣的方法來調(diào)制催化劑組合物。氟化鉀等堿金屬氟化物采用與比較例1同樣的方法來調(diào)制。對于選擇率，以摩爾％來計(jì)算四烷氧基硅烷相對于單、二、三和四烷氧基硅烷的合計(jì)量的比例。在反應(yīng)產(chǎn)物中檢測不到醇或硅氧烷二聚體等其它雜質(zhì)。由表1可知，試驗(yàn)的催化劑組合物的效率較高。另外，如果氣狀反應(yīng)混合物與反應(yīng)器中的催化劑的接觸時(shí)間延長，則轉(zhuǎn)化率有提高的傾向。例如在實(shí)施例3中，在使氦氣的流速從35ml/分鐘分別變成70ml/分鐘、150ml/ 分鐘的情況下，三甲氧基硅烷的轉(zhuǎn)化率由89%變成52%、33%。即，如果催化劑與反應(yīng)混合物的接觸時(shí)間縮短，則轉(zhuǎn)化率會(huì)降低。
[表1]
權(quán)利要求
1.一種甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法，其特征在于，使通式(1)所示的烷氧基硅烷在包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑的存在下、在氣相中進(jìn)行歧化反應(yīng)，HnSi(OR)4^n (1)式中，R表示碳原子數(shù)1 6的烷基，η是1 3的整數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，所述氟化鉀是氟化鉀二水合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式( 所示的四 (二烷基氨基)鹵化禱，(R1R2N) 4PX (2)式中，R1和R2彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或F。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，所述四(二烷基氨基)鹵化禱是四(二乙基氨基)溴化轔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是1，4_二氮雜二環(huán) [2. 2. 2]辛烷。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式( 所示的六烷基商化胍，[(R3R4N)2CNR5R6JT(3)式中，R3、R4、R5和R6彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 3的烷基，X表示Br、Cl或F。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，所述六烷基鹵化胍是六乙基氯化胍。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式(4)所示的四烷基氯化銨，R7R8R9R10NXr (4)式中，R7、R8、R9和Rki彼此獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1 4的烷基。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述四烷基氯化銨是四丁基氯化銨。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是氟化鈣。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀，所述催化劑活化劑是氟化鈣，所述氟化鉀與所述氟化鈣形成三氟化鈣鉀，從而催化劑與催化劑活化劑成為一體。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，所述堿金屬氟化物是氟化鉀，所述催化劑活化劑是氟化鈣，所述氟化鉀與所述氟化鈣形成三氟化鈣鉀，從而催化劑與催化劑活化劑成為一體。
14.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的方法，所述催化劑活化劑是通式(5)所示的低聚乙二醇二甲醚，H3C-O- (CH2CH2O)m-CH3 (5) 式中，m是2 8的整數(shù)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，所述通式(1)中的η是1。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，所述通式(1)中的η是1的烷氧基硅烷是三甲氧基娃焼。
全文摘要
本發(fā)明涉及使通式(1)所示的烷氧基硅烷在包含堿金屬氟化物的催化劑和催化劑活化劑的存在下、在氣相中進(jìn)行歧化反應(yīng)的甲硅烷和四烷氧基硅烷的制造方法，HnSi(OR)4-n(1)(式中，R表示碳原子數(shù)1～6的烷基，n是1～3的整數(shù)。)。根據(jù)本發(fā)明的制造方法，通過液相中的烷氧基硅烷的歧化反應(yīng)來制造甲硅烷和四烷氧基硅烷的方法，可以解決與溶劑難以分離的問題和由于反應(yīng)非常慢而不適合工業(yè)制造的問題。
文檔編號(hào)C01B33/04GK102203104SQ20098014330
公開日2011年9月28日 申請日期2009年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月31日
發(fā)明者F·馬赫穆托夫, 伊藤晴明, 大井敏夫, 大野博基 申請人:昭和電工株式會(huì)社