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一種多晶硅氫化爐用u型c/c發(fā)熱體的制作方法

文檔序號:3442345閱讀:158來源:國知局
專利名稱:一種多晶硅氫化爐用u型c/c發(fā)熱體的制作方法
技術領域
本實用新型涉及一種C/C發(fā)熱體,尤其是涉及一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱 體。
背景技術
目前,多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的整體厚度是相同的,其在使用過程中經常 發(fā)生開口端與石墨電極連接位置處斷裂現(xiàn)象,造成發(fā)熱體報廢,嚴重影響了多晶硅氫化爐 的生產效率,增加了多晶硅的生產成本。究其原因是因為U型C/C發(fā)熱體的底部與石墨電 極連接部位上下溫差較大,熱應力不均勻。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題在于針對上述現(xiàn)有技術中的不足,提供一種多晶 硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其結構簡單、設計合理且局部強度高,能有效解決開口端與石 墨電極連接位置處易斷裂的問題,同時延長了使用壽命。為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是一種多晶硅氫化爐用U型 C/C發(fā)熱體,包括U型架體,所述U型架體的開口端均勻布設有通孔一,其特征在于所述 U型架體的開口端外側且與石墨電極連接位置處設置有直角梯形體,所述直角梯形體上設 置有通孔二,所述通孔二與所述通孔一大小相同且互相連通,所述直角梯形體的高度H為 2mm 8mm,所述直角梯形體的上表面長度L為60mm 200mm,所述直角梯形體的斜面與U 型架體的豎直面之間的夾角α為30° 60°,所述直角梯形體與U型架體一體成型。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直角梯形體的高度 H 為 5mm。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直角梯形體的上表 面長度L為130mm。上述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直角梯形體的斜面 與U型架體的豎直面之間的夾角α為45°。本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點1、結構簡單,設計合理,其通過在U型架體的開口端外側且與石墨電極連接位置 處設置有與U型架體一體成型的直角梯形體,因此大大提高了 U型C/C發(fā)熱體的局部強度, 使得應力均勻分散,且解決開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題,同時延長了使用
壽命O2、由于直角梯形體的斜面存在,即直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間有 一定夾角,因此增加了應力的分散面積,避免了應力集中,進一步延長了 U型C/C發(fā)熱體的 使用壽命。下面通過附圖和實施例,對本實用新型做進一步的詳細描述。
圖1為本實用新型的整體結構示意圖。附圖標記說明I-通孔二。
具體實施方式
如圖1所示的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,包括U型架體,所述U型架體 的開口端均勻布設有通孔一,所述U型架體的開口端外側且與石墨電極連接位置處設置有 直角梯形體,所述直角梯形體上設置有通孔二 1,所述通孔二 1與所述通孔一大小相同且互 相連通,所述直角梯形體的高度H為2mm 8mm,所述直角梯形體的上表面長度L為60mm 200mm,所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30° 60°,所述直 角梯形體與U型架體一體成型。本實用新型中,所述直角梯形體的高度H為5mm。本實用新型中,所述直角梯形體的上表面長度L為130mm。本實用新型中,所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為 45°。下面以三個實施例來對本實用新型做具體說明實施例1多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為1000mm,寬度為 80mm,厚度為7mm,其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 5mm,該直角梯形體的上表 面長度L為60mm 200mm,經使用測試可延長使用壽命約50%。實施例2多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為1592mm,寬度為 95mm,厚度為8mm,其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 7mm,該直角梯形體的上表 面長度L為60mm 200mm,經使用測試可延長使用壽命約40%。實施例3多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體的直線長度即豎直面長度為2000mm,寬度為 80mm,厚度為10mm,其開口端增加的直角梯形體的高度H為2mm 8mm,該直角梯形體的上 表面長度L為60mm 200mm,經使用測試可延長使用壽命約40%。通過以上三個實施例可見,設置在開口端外側且與U型架體一體成型的直角梯形 體,可將應力均勻分散,有效解決其開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題,同時使得 U型C/C發(fā)熱體的平均使用壽命提高約40%。以上所述,僅是本實用新型的較佳實施例,并非對本實用新型作任何限制,凡是根 據(jù)本實用新型技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化,均仍 屬于本實用新型技術方案的保護范圍內。
權利要求一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,包括U型架體,所述U型架體的開口端均勻布設有通孔一,其特征在于所述U型架體的開口端外側且與石墨電極連接位置處設置有直角梯形體,所述直角梯形體上設置有通孔二(1),所述通孔二(1)與所述通孔一大小相同且互相連通,所述直角梯形體的高度H為2mm~8mm,所述直角梯形體的上表面長度L為60mm~200mm,所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30°~60°,所述直角梯形體與U型架體一體成型。
2.按照權利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直 角梯形體的高度H為5mm。
3.按照權利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直 角梯形體的上表面長度L為130mm。
4.按照權利要求1所述的一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,其特征在于所述直 角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為45°。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅氫化爐用U型C/C發(fā)熱體,包括U型架體,所述U型架體的開口端均勻布設有通孔一,所述U型架體的開口端外側且與石墨電極連接位置處設置有直角梯形體,所述直角梯形體上設置有通孔二,所述通孔二與所述通孔一大小相同且互相連通,所述直角梯形體的高度H為2mm~8mm,所述直角梯形體的上表面長度L為60mm~200mm,所述直角梯形體的斜面與U型架體的豎直面之間的夾角α為30°~60°,所述直角梯形體與U型架體一體成型。本實用新型結構簡單、設計合理且局部強度高,能有效解決開口端與石墨電極連接位置處易斷裂的問題,同時延長了使用壽命。
文檔編號C01B33/03GK201737706SQ201020292480
公開日2011年2月9日 申請日期2010年8月13日 優(yōu)先權日2010年8月13日
發(fā)明者侯衛(wèi)權, 李永軍, 肖志超, 蘇君明 申請人:西安超碼科技有限公司
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